共查询到20条相似文献,搜索用时 0 毫秒
1.
利用薄膜技术制作的半导体金属氧化物气体传感器阵列是由一个基底上的四个传感器单元组成的。基本结构是在4英寸的硅片上制作完成的。首先,沉积金属铂电极,加热棒和温度传感器。其次,沉积半导体金属氧化物SnO2。然后进行传感器阵列电极的焊接,封装。最后进行测量,测量结果显示了传感器阵列对不同气体甲烷(CH4),一氧化碳(CO),氢气(H2),二氧化氮(NO2)和氨气(NH3)的响应。 相似文献
2.
3.
4.
金属氧化物半导体电阻
型气敏传感器作用机理 总被引:6,自引:2,他引:4
根据实验所得规律,知金属氧化物表面发生的气—固、气—气反应及其相关的电子过程是气敏作用机理的基础.添加剂、表面处理、温度控制等都能够影响这些反应过程,可用来改善传感器的灵敏度和选择性. 相似文献
5.
本文简述了金属氧化物半导体—N- SnO2 半导体气敏传感器的加热电路,并根据实际应用对加热电路进行了一些改进。 相似文献
6.
金属氧化物半导体SnO2气敏传感器 总被引:2,自引:0,他引:2
SnO_2具有金红石型的晶体结构,禁带宽度约为 3.6 eV.由于Sn的电子亲合力不太强,晶态SnO_2都具有氧空位,故属于N型金属氧化物半导体.作为施主的氧空位,其能 相似文献
7.
金属氧化物气敏传感器 总被引:3,自引:0,他引:3
6结论与展望 6.1气敏传感器近年来的研究开发成果 以二氧化锡可燃性气体传感器为代表的金属氧化物半导体气敏传感器和以二氧化锆浓差电池氧气传感器为代表的金属氧化物固体电解质气敏传感器实用化以来的短短几十年,金属氧化物气敏传感器事业得到很大的发展,特别是近20年来,它引起了世界主要国 相似文献
8.
9.
11.
大多数实用气敏传感器是金属氧化物半导体或金属氧化物固体电解质材料制作的,所以,把它们分为氧化物半导体气敏传感器和氧化物固体电解质气敏传感器两类.前者利用待测气体与氧化物半导体的相互作用引起器件电导(或电阻)的变化来测定气体,后者
利用氧化物固体电解质制作的电池的电动势与气体浓度的关系来测定气体的. 相似文献
12.
13.
14.
主要介绍了国内外当前SO2 气体传感器的研究现状及其发展趋势 ,并着重介绍了声表面波 (SAW )SO2 气体传感器的应用前景 相似文献
15.
16.
集成技术在未来传感器制作中起重要作用。综述了与集成工艺兼容的半导体场效应气体传感器的研究现状与未来发展。 相似文献
17.
18.
日本知名化学传感器专家江頭诚教授应上海师范大学电化学研究室邀请,于1990年6月间来华访问、讲学,并与中科院上海硅酸盐研究所、上海冶金研究所及上海师大、复旦大学等单位的科技人员进行了座谈、交流。现由上海师大章宗穰同志将江頭诚教授提供的讲演提纲译成中文,并将江頭诚先生近期的有关工作摘要也附在文后,供本刊读者参阅。 相似文献
19.
半导体碳氟化合物气体传感器开发 总被引:1,自引:0,他引:1
碳氟化合物具有多种用途,如添加剂、冷冻剂、清洁剂等.对碳氟化合物的探测主要是两个方面的需要:探测电冰箱、空调器等中的碳氟化合物泄漏状况;控制碳氟化合物在大气中的含量. 相似文献
20.
金属氧化物气体传感器阵列参数的讨论 总被引:1,自引:0,他引:1
本文对金属氧化物气体传感器特性进行分析,提出传感器阵列的灵敏度矩阵与被测气体浓度矢量和传感器阵列中各传感器响应矢量间的夹角有关。从而得出气体传感器阵列的灵敏度为各气体浓度矢量与传感器输出矢量夹角余弦的关系。 相似文献