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为了解决目前计量圆光栅的玻璃基片无法适应振动强度大、冲击力强等恶劣环境的问题,提出了采取新型材料聚碳酸酯(PC)来替代玻璃作为计量圆光栅制作基片的方法。分析了PC光学树脂的透光特性、耐热性和耐化学性能,给出了清洗PC的具体配方;结合现有光刻复制工艺,研制出先胶后铬的新型复制工艺;最后,以PC作为计量圆光栅基片,在蒸镀真空度为1.2×10-3Pa,蒸发距离为150mm的条件下,采用蒸发源质量控制膜厚的镀铬工艺参数,制作出了PC光学树脂基片的计量圆光栅。在45×显微镜下观察光栅线条,结果显示,线条陡直,无龟裂,表明该新型工艺可行,工艺参数正确,为进一步研制以PC光学树脂计量圆光栅为核心元件的精密测角仪器等提供了试验基础。 相似文献
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《精密制造与自动化》1980,(3)
一、前言由于科学技术的发展,圆光栅作为精密测角元件也愈广泛。为了较快地得到高精度的圆光栅,人们采取措施,利用两片圆光栅形成的莫尔条纹作为圆分度的基准讯号,设计高精度和多功能的圆刻机,改进圆光栅的制造工艺。目前我国在高精度的圆光栅刻划上有刀刻和光刻两种方式。刀刻是一种间歇的刻划方 相似文献
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本文针对复帛晃栅过程中,温度不稳定造成复制品衍射波前失真的问题进行了分析,并通过反复实验确定了复制光栅最佳时间,从而提高复制光栅的一次成品率,母板利用率和使用寿命。 相似文献
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设计了一种基于干涉检验法的复制拼接光栅测量光路。针对光栅复制拼接光路中入射光角度难以精确测量的问题,分析了光栅拼接实验中入射光角度对光栅拼接的影响。建立了光栅拼接误差模型,分析了五维拼接误差的容限要求。按照光栅复制拼接光路的要求,设计了一种干涉仪角度调节装置。根据误差模型和拼接光路分析了500mm×500mm大尺寸中阶梯光栅复制拼接光路中入射光角度误差与拼接误差的关系。结果显示:入射光角度误差为1°,拼接光路中绕x轴,y轴的转动误差Δθx,Δθy和沿z轴的位移误差Δz的计算值与实际值之间分别相差0.002 1μrad,0.003 3μrad和0.348 2nm时,引起波前差为2.590 1nm。根据这一计算结果,给出了干涉仪角度调节装置的设计指标,即设置角度调节分度为0.1°时,可满足大尺寸光栅复制拼接要求。 相似文献
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圆光栅已经普遍用于高精度角度仪器作为定位基准,然而要研制得到超高精度圆光栅,必须要精度高,均匀性好,两者缺一不可[1],本文研究达到二者全优。 相似文献
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计量圆光栅超微粒乳剂的涂布工艺 总被引:1,自引:0,他引:1
本文讨论了计量圆光栅超微粒乳剂涂布的工艺问题。在大量实验的基础上,提出了一种有效的计量圆光栅超微粒乳剂涂布方法:“动态旋转定量涂布法”,并取得了理想的实用效果。为获得大直径、高精度、高分辨率的计量圆光栅的母板,提供了一条新的途径。该方法同样适用于其它各种圆形光学元件的涂布。 相似文献
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The paper describes an experimental program using externally pressurized gas bearings whose objective was to gain design information which would be applicable to operation at high speeds and high temperature. The objective was to maintain flow rates to some acceptable minimum while at the same time attaining requirements of load capacity, temperature, and stable operating conditions. The paper describes work that has been done on a variety of configurations in order to establish some nondimensional stability map. The bulk of the variations were observed at low temperatures as a function of nondimensional parameters which took into account temperature dependent variables. These results were later checked to temperatures of 1200 F and speeds to 60,000 rpm. In order to obtain results with regard to the parameters which were not influenced by certain geometry changes, care was taken to insure that isothermal conditions existed. Later work will be necessary to interject the variable of possible temperature gradients which will result in distortions and geometrical changes. 相似文献
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阐述了适合于输送易汽化介质的小流量高扬程高速离心泵的研制方案和结构设计特点,采用以效率为目标函数的优化水力设计方法,并采用开式叶轮或复合叶轮及双密封结构,保证了泵机组具有优越的性能指标和密封可靠性。 相似文献