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《微纳电子技术》1995,(5)
从文献中摘出了6H碳化硅(6H~SiC)的重要材料参数并应用到2-D器件模拟程序PISCES和BREAKDOWN及1-D程序OSSI中。6H-SiCp-n结的模拟揭示了由于反向电流密度较低的缘故相应器件在高达1000K温度下应用的可能性。6H-SiC1200Vp-n ̄(-)-n ̄(+)二极管与相应硅(Si)二极管的比较说明6H-SiC二极管开关性能较高,同时由于6H-SiC p-n结内建电压较高,其正向功率损耗比Si略高。这种缺点可用6H-SiC肖特基二极管克服。Si、3C-SiC和6H-SiC垂直功率MOSFET的开态电阻通过解析计算进行了比较。在室温下,这种SiCMOSFET的开态电阻低于0.1Ωcm ̄2,可在高达5000V阻塞能力下工作,而SiMOSFET则限于500V以下。这一点通过用PISCES计算6H-SiC1200VMOS-FET的特性得以验证。在低于200V的电压区,由于硅的迁移率较高且阈值电压较低,故性能更优良。在上述的6H-SiCMOSFET的栅氧化层和用于钝化平面结的场板氧化层中存在着大约4×10 ̄6V/cm的电场。为了研究SiC器件的高频性能,提出了6H-SiC发射极的异质双极晶体管? 相似文献
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本文介绍一种高可靠的具有自动过流保护的智能高压大功率VDMOSFET,已研制出了漏源击穿电压大于200V,正常工作电源大于2A;自动保护保护过电流小于4A的器件。工艺完全与浣VDMOSFET一致;这种新颖VDMOSFET结构的应用能提高整机可靠性。 相似文献
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掺HCI栅氧化对MOS结构电特性的影响 总被引:1,自引:0,他引:1
研究了栅氧化时掺HCl的硅栅MOSFET的DDS-VGS特性,阈电压和界面态。结果发现,HCl掺入栅介质,可使IDS-VGS曲线正向漂移,PMOSFET阈电压绝对值减小,NMOSFET阈电压增大,Si/SiO2界面态密度下降,采用氯的负电中心和Si/SiO2界面硅悬挂键的键合模型对实验结果进行了解释。 相似文献
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为了实现50~500V的击穿电压范围,本文详细讨论了6H-SiC和3C-SiC肖特基整流器和功率MOSFET的漂移区性质。利用这些数据计算了器件的输出特性,并与Si器件做了比较,结果表明,由于其漂移区电阻非常低,故5000VSiC肖特基整流器和功率MOSFET在室温下能够处理100A/cm^2的导通电流密度,正向压降仅分别为3.85和2.95V。这些数值甚至优于Sipin整流器和门可关断晶闸管。这 相似文献
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研究了栅氧化时掺HCl的硅栅MOSFET的DDS-VGS特性、阈电压和界面态.结果发现,HCl掺入栅介质,可使IDS-VGS曲线正向漂移,PMOSFET阈电压绝对值减小,NMOSFET阈电压增大,Si/SiO2界面态密度下降。采用氯的负电中心和Si/SiO2界面硅悬挂键的键合模型对实验结果进行了解释。 相似文献
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《微纳电子技术》1995,(5)
为了实现50~500V的击穿电压范围,本文详细讨论了6H-SiC和3C-SiC肖特基整流器和功率MOSFET的漂移区性质。利用这些数值计算了器件的输出特性,并与Si器件做了比较,结果表明,由于其漂移区电阻非常低,故5000VSiC肖特基整流器和功率MOSFET在室温下能够处理100Alcm ̄2的导通电流密度,正向压降仅分别为3.85和2.95V。这些数值甚至优于Sipin整流器和门可关断晶闸管。这种SiC器件由于没有少于结,故可期望有优良的开关特性和坚固耐用性。此外,还基于峰值结温极限是由封装考虑来确定的观点,报道了热学分析结果。应用这种分析发现,5000V的6H-SiC和3C-SiCMOSFET和肖特基整流器将比相应的Si器件大约小20和18倍。对SiC的热学分析表明,这些器件能在比常规Si器件高的温度和击穿电压下工作。还有,在管芯尺寸上也期望有明显的减少,这将会补偿其材料成本较高的不足。本文报告的分析结果对SiC功率器件的制造将会起到强大的推动作用。 相似文献
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降低表面电场原理可大大提高LDMOST的器件性能。本文详细研究了用RESURF原理设计的LDMOST的开态电阻与击穿电压的理论分析模型,并根据这一模型对RESURF LDMOST的优化设计深入的讨论。最后评价了高压RESURF LDMOST在保持器件耐压不变时降低其开态电阻的几种方法。 相似文献
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飞兆半导体公司 (FairchildSemiconductor)推出七种新型高压平面型MOSFET ,具有更低的导通电阻、更低的门电荷值及更高的雪崩和转换模式能量密度。这些器件专用于满足先进开关电源 (SMPS)和DC/DC转换器的性能要求。器件的先进条件结构技术和较小封装为功率系统带来了许多益处 ,如减少功率损耗 ,提高系统效率和稳定系统质量。以飞兆半导体TO 2 2 0封装 5 0 0VFQP18N 5 0V2为例 ,其FOM较同类产品低 2 1%以上。此外 ,飞兆的 2 0 0VFQD18N2 0V2采用D PAK封装 ,其FOM (RDS(ON)… 相似文献
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三端电压控制型负阻器件(7)郭维廉(天津大学电子工程系300072)第八章电压控制负阻MOS器件[2’j电压控制负阻MOS器件(Voltage-ControlledNegati、ResistanceMOSDevice)也称作“A”微分负阻MOSFET... 相似文献
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MESFET和PHEMT大信号建模 总被引:2,自引:0,他引:2
分析了MESFET和PHEMT大信号建模的现状,提出了在DC和脉冲两种状态下通用于MESFET和PHEMT的有确I-V模型;提出了具有二维C-V模型精度的一维C-V模型格负载线S参数测量提取方法,提出了采用改进Cold FET测量与提取技术进行管壳封装器件建模的方法。本文的大信号模型具有很好的数值收敛性和标准的等效电路。提出了的模型精确地模拟了器件的DC I-V、脉冲I-V、偏置样在S参数、C-V 相似文献
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新的GHz级处理器要比前几 代需要更大的电流和更低的电压。由于Internet的急剧增长和对带宽的需求,促使功率器件要不断地满足DC-DC变换器具有更高的功率控制效率、功率密度和可靠性的要求。以下将讨论变换器的效率是如何立足于IC和MOSFET,而得以提高 3%以上性能的。新一代DC-DC空换器对 器件的要求 能提高DC-DC变换器效率的关键元器件、功率IC和MOSFET,可使变换器的性能指标有所改善。这些新产品现在已能为笔记本电脑中的下一代处理器和ASIC(专用集成电路)、服务器和宽带网络等提供电… 相似文献
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介绍了在宽禁带半导体6H-SiC材料上制作的反型沟道和掩埋沟道栅控二极管及MOSFET。器件的制作采用了热氧化和离子注入技术。因为6H-SiC禁带宽度为3eV,用MOS电容很难测量表面态,故利用栅控二极管在室温条件下来测量表面态。反型沟道器件中电子有效迁移率为20cm^2/V.s,而掩埋沟道MOSFET沟道中的体电子迁移率为180cm^2/V.s,掩埋沟道晶体管是第一只SiC离子注入沟道器件,也是 相似文献
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本文介绍用新型功率器件VMOSFET研制的输出直流24V、10A开关电源。该电源与双极型功率管开关电源相比,效率进一步提高,体积、重量进一步减小,电路大为简化,可靠性大大提高。与双极型功率管相比,VMOSFET具有两大突出优点:1)开关速度极快,可以在几ns到几十ns的时间内开关几A到几十A的电流,比同功率双极型开关管快1~2个数量级;2)VMOSFET为电压控制器件,几乎不需要驱动电流。因此,用VMOSFET代替双极型功率管可使管耗进一步下降、效率进一步提高;集成块可直接驱动,使驱功电路非常简单而可靠,功耗、体积也相应减小。有效地克服了双极型开关电源的缺点。 相似文献