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用束衍生法研究了深亚微米同步辐射x射线光刻中掩模吸收体的光导波效应,并对x射线光刻后的光刻胶剖面进行了理论计算。采用面向对象技术,研制了一个取名为XLLS1.0的模拟软件。本文对这个软件进行了详细介绍。 相似文献
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目前看来, X 射线光刻技术能否真正应用到 013μm 及 013μm 以下的集成电路工业中去是光刻技术工作者很关心的一个问题。分别从光源、曝光系统、掩模、光刻胶、光刻机、光刻工艺、成本等七个方面对 X 射线光刻技术的现状进行了介绍,并对它的应用前景进行了简要分析。 相似文献
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本文介绍利用北京正负电子对撞机同步辐射软X射线光刻装置进行亚微米X射线光刻技术和深结构光刻的实验研究。通过对曝光剂量、掩模、抗蚀剂等工艺实验,初步得到适合于目前条件的较好的同步辐射X射线光刻工艺条件,并光刻出0.3μm的亚微米图形和抗蚀剂厚度为36μm深光刻图形。 相似文献
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目前看来,193nm与x射线光刻技术都很有希望应用到0.13μm及0.13μm以下的集成电路工业中去,而掩模制作对这两种光刻技术而言是非常重要的。本文对193nm光学掩模与x射线掩模制造技术进行了对比分析。 相似文献
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本文介绍X射线晶体衍射的测试原理,讨论了半导体薄片异质结构材料X射线晶体衍射测量中正、负失配,晶片微弯曲,摇摆曲线的对称性,复杂曲线的分解、干涉带等问题。指出了晶体衍射测试结果对MOCVD、LPE工艺调整的重要性。 相似文献
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X射线Bragg—Fresnel元件中衍射图形制作技术研究 总被引:3,自引:1,他引:2
本文研究X射线Bragg-Fresnel元件中衍射图形的制作技术。介绍了衍射图形制作技术方案的确定,金属吸收层厚度的计算,制作技术工艺流程及衍射图形测试结果。 相似文献
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阐述了等离子体的产生机理和影响软 X 射线产生的因素,利用产生软 x 射线的实验系统,分析了软x 射线转换效率与原子数的关系及其空间相干性。给出了等离子体的干涉诊断方法及几个重要的结论。 相似文献
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BSRF中的 3B1光束线与LIGA实验站过去使用的 3W 1光束线相比 ,其同步辐射X光光谱较软、光强较弱 ,但可实现专用光和兼用光两用。现在LIGA实验站移到 3B1光束线 ,为此必须进行新的LIGA掩模设计、制作。结合此研究目的 ,本文通过使用XOP和Origin两个软件进行设计、计算 ,分别得到了专用和兼用时 3B1光束线在传输过程中的各级能谱图和传输、吸收数据 ,并针对这两种不同的用光情况分别设计、研究了两种不同组合的掩模 :Au PI组合和Au Si组合。 相似文献
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Reversible and Rapid Laser Actuation of Liquid Crystalline Elastomer Micropillars with Inclusion of Gold Nanoparticles 下载免费PDF全文
Xiyang Liu Renbo Wei Phong Tran Hoang Xiaogong Wang Tao Liu Patrick Keller 《Advanced functional materials》2015,25(20):3022-3032
It is highly desirable for liquid crystal elastomer (LCE) based microactuators to activate and actuate in a highly controlled fashion without perturbing the surrounding environment. To reach this goal, in this study, a novel experimental protocol is developed to successfully incorporate gold nanosphere (AuNS) and gold nanorod (AuNR) into polyacrylate based LCE elastomer to fabricate LCE/AuNR and LCE/AuNS micropillars or microactuators. The effect of gold nanoparticle inclusion has been studied by spectroscopy (UV–vis‐near‐infrared), microscopy (transmission electron microscopy), thermal analysis (differential scanning calorimetry and thermogravimetric analysis), and x‐ray scattering (wide‐angle x‐ray scattering and small‐angle x‐ray scattering). Finite element analysis is performed to examine the feasibility of utilizing the photothermal effect of AuNR/AuNS to enable photothermal actuation of LCE/AuNR and LCE/AuNS micropillars. The comparative experimental studies on the thermal and photothermal actuation behavior of the LCE, LCE/AuNS, and LCE/AuNR micropillar suggested that AuNR is an excellent candidate for developing high‐performance LCE actuators with photothermal actuation capability. With inclusion of less than 1 wt% of AuNR, the very high maximum actuation strain (30%) and rapid response (a few seconds) have been achieved in LCE/AuNR micropillar actuators under 635 nm laser irradiation. 相似文献
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Rogers JG 《IEEE transactions on medical imaging》1995,14(1):146-150
A method is presented for correcting PET images for the blurring caused by variations in the depth-of-interaction in position-sensitive gamma ray detectors. The method uses an empirically determined, tabulated relationship between depth-of-interaction and most probable pulse-height to estimate the unknown depth from the measured pulse-height for each detected gamma ray. In the case of one fine-cut 50x50x30 mm BGO block detector, the method is shown to improve the detector resolution by 25%, averaged over the 50x50 mm face, measured in the geometry corresponding to detection at the edge of the field-of-view. Strengths and weaknesses of the method are discussed and its potential usefulness for improving the images of future PET cameras is assessed. 相似文献