电离真空计用作真空保护系统传感器的响应时间的研究

介绍了以GH07X热阴极电离超高真空计为核心的双重真空保护模块的设计和应用.实验结果表明,GH07X对真空系统压力突变的快速报警响应时间可小于200μs,慢速报警响应时间小于100ms.实验数据还表明,快速报警响应时间与气体分子浓度和真空计规管灯丝的发射电流密切相关.分析比较了溅射离子泵、冷阴极电离超高真空计、热阴极电离超高真空计等作为真空保护传感器的不同电子学设计.与国内外报道的其它光束线真空保护模块设计相比,GH07X真空计独有的双重真空保护模块设计,使得光束线真空保护控制系统响应更快、更可靠.     

真空联锁保护用传感器及真空计的响应时间测试

本文介绍了合肥国家同步辐射实验室光束线真空联锁保护的控制原理，对控制用传感器（热规ＤＬ－７，冷规Ｍ０１４Ｂ）和ＤＬ－７程控真空计，ＺＪＲ－２１２０复合真空计的反应时间进行了精确的测试。给出了测试数据。     

电离计对真空系统的控制

本文介绍用单片机控制的电离计对真空系统的控制方法，由于有单片机，使控制非常灵活，控制信号可分为位控信号，BCD码输出信号及模拟量输出信号。     

BSRF 3W1高功率扭摆磁铁光束线真空控制保护系统的设计

本真空控制保护系统是为北京同步辐射装置（ＢＳＲＦ）上的３Ｗ１高功率（总功率为２．５４ｋＷ）扭摆磁铁（Ｗｉｇｇｌｅｒ）光束线（包括前端区、３Ｗ１Ａ和３Ｗ１Ｂ）而设计和建造的。主要建造目的是,保护北京正负电子对撞机（ＢＥＰＣ）电子储存环的超高真空系统和其它光束线不要受到的某一条光束线上突然发生的灾难性真空事故的破坏,以及保护无水冷却和冷却水意外中断了的光束线部件不要被扭摆磁铁发射出来的高功率同步辐射所损坏。此外,在活动水冷挡光罩关闭之前,为了防止快速阀的阀板因过热而被损坏,在快速阀中使用了一种熔点温度为１６８０℃的钛合金阀板,为了给扭摆磁铁光速线提供一个可靠的真空控制保护系统,系统设计是以Ｆ１－６０ＭＲ型可编程序控制器（ＰＬＣ）为基础的,ＰＬＣ负责管理系统的状态监测、真空联锁、控制、自动记录和故障报警等。本文叙述了     

真空校准系统及真空计的校准

综述了真空校准系统,对其设计方法提出了一些要求.并详细分析了常用真空计在校准中的注意事项.     

碳纳米管阴极电离真空计研制及其性能研究

碳纳米管阴极电离真空计在超高/极高真空测量中具有广阔应用前景,基于碳纳米管阴极研制了测量范围10^-9~10^-4 Pa的电离真空计,真空规管包括了碳纳米管阴极、门极、阳极、反射极和收集极,电路控制系统由高压电源、微弱离子流测量和控制电路组成。实验研究结果表明,不锈钢衬底上直接生长制备的碳纳米管阴极性能良好,开启场强和阈值场强分别为1.9 V/µm和3.9 V/µm,当阳极电流为42 µA时,碳纳米管阴极电离真空计本底干扰可降低到1.81×10^-9 Pa。     

真空发生器系统吸附响应时间的确定

真空发生器是一种重要的真空发生装置，广泛地应用于自动化生成领域。本的目的是确定真空发生器系统的吸附响应时间以实现过程的精密控制。中根据瞬变流理论和真空发生器的流量特性，建立了用于计算真空发生器吸附系统真空度时间变化以及吸附响应时间的数学模型，利用特征线方法进行了数值求解，数值模拟结果与实验值吻合得相当好，从而证明了所建立的真空发生器系统吸附响应时间模型的正确性。     

可编程控制器在光束线真空控制系统中的应用

光束线真空联锁保护与控制系统是保障同步辐射加速器与光束线、实验站安全、可靠运行的至关重要的必要设备。采用标准化、高质量的可编程控制器（PLC）为核心的光束线真空控制系统可以提高系统的可靠性、稳定性、抗干扰性和电磁兼容性。本文介绍了合肥同步辐射光源真空联锁保护与控制系统以及PLC在该控制系统中的应用。     

真空发生器系统吸附响应时间的确定

真空发生器是一种重要的真空发生装置 ,广泛地应用于自动化生成领域。本文的目的是确定真空发生器系统的吸附响应时间以实现过程的精密控制。文中根据瞬变流理论和真空发生器的流量特性 ,建立了用于计算真空发生器吸附系统真空度时间变化以及吸附响应时间的数学模型 ,利用特征线方法进行了数值求解 ,数值模拟结果与实验值吻合得相当好 ,从而证明了所建立的真空发生器系统吸附响应时间模型的正确性。     

光束线真空保护联锁与控制系统研制

介绍了光束线前端区装置的组成及光束线真空保护联锁与控制要点。根据光束线真空保护联锁与控制的要求，本实验研制了真空传感器，快速关闭阀及快阀控制器等真空保护联锁与控制系统所需的关键部件，进一步提高了光束线真空保护联锁与控制系统的反应速度和可靠性。     

10-9~10-1Pa宽量程电离真空计研制与性能研究

热阴极电离真空计的压力测量范围可覆盖超高真空、高真空和中低真空,该真空计广泛应用于各类真空装备。依据电离真空计工作原理,对电离真空计的本底干扰离子流I_r⁺进行了理论分析,讨论了气体分子热脱附、软X射线效应、ESD效应等多个因素对I_r⁺的影响,优化了规管尺寸和制备工艺,研制了真空规管,将本底干扰降低到2×10^-9Pa以下,并研制了配套的电控单元,使微弱离子流测量下限达到0.1 pA量级。该宽量程电离真空计产品的实测范围达到1.26×10^-9～6.02×10^-1Pa,灵敏度波动小于±11%。     

光束线真空保护联锁与控制系统研制

介绍了光束线前端区装置的组成及光束线真空保护联锁与控制要点。根据光束线真空保护联锁与控制的要求，本实验室研制了真空传感器、快速关闭阀及快阀控制器等真空保护联锁与控制系统所需的关键部件，进一步提高了光束线真空保护联锁与控制系统的反应速度和可靠性。     

基于碳纳米管电子源的高稳定电离真空计的性能研究（英文）

文章将碳纳米管电子源应用于高稳定电离真空计,通过结构和电参数优化,研制了样机,并开展了样机计量特性的实验研究,研究结果表明,新型电离规在6.87×10^-6 Pa～6.45×10^-5 Pa的压力范围内,灵敏度在0.200 Pa^-1～0.245 Pa^-1的范围内波动,与仿真灵敏度0.250 Pa^-1的偏差最大为20%,灵敏度波动小于5.96%,证明该结构设计合理,有望应用于超高真空校准及精确测量领域。     

真空的激光电离测量技术的研究与发展

介绍了激光电离方法在真空测量方面的应用,总结了真空的激光电离测量技术的优点和面临的问题。     

基于氧化硅隧穿电子源的高压力微型电离真空传感器

微型电离真空传感器在微小空间和特殊范围的压力探测中有着非常重要的应用。然而,之前的微型电离真空传感器存在或体积大或工作电压高或能耗高等缺点。以新型氧化硅隧穿电子源为阴极制备了一种高压力微型电离真空传感器,该传感器结构紧凑、加工简单、体积微小,仅为15 mm×15 mm×2 mm（长×宽×高）,工作电压低、探测量程宽、探测压力上限高。实验结果显示,传感器在3.50×10^-2～1.02×10²Pa压力范围内具有很好的线性响应。研究为解决传统电离真空传感器和皮拉尼真空传感器在此压力范围内探测不准确的问题提供了一种可行的方案,有望推动电离真空传感器在更多重要领域应用。     

基于碳纳米管电子源的计量级电离真空计数值模拟研究

通过控制电离区域内的电子轨迹和电子能量,能够使计量级电离真空计实现高稳定的超高真空测量。设计了一种基于碳纳米管（CNT）电子源的计量级电离真空计,构建了物理模型,模拟计算了电子透过率、电子传输效率和灵敏度等关键参数,并分析了不同的电子发射分布、电极电压和制造安装公差对灵敏度稳定性等关键参数的影响。该真空计的理论计算灵敏度为0.251 7 Pa^-1,标准偏差为7.753 8×10^-5 Pa^-1。     

真空拾取器拾取动作响应时间与影响因素的研究

小型真空拾取器被广泛应用于轻质小型元器件的搬运机构之中。通常要求真空吸取器在执行搬运作业时其拾取动作尽可能迅速,其总响应时间为阀门动作、抽气降压和工件运动三部分响应时间之和。本文通过理论推导得到了工件运动响应时间的计算公式。借助fluent软件,模拟计算了抽气管道内的气体扩散降压流动过程,并讨论了真空管道长度与直径、储气罐容积等因素对抽气响应时间的影响。计算结论指出了提高真空拾取器响应速度的有效途径。     

极高真空电离规的校准实验研究

介绍了2支反磁控型冷阴极极高真空电离规和1支热阴极极高真空电离规的校准实验研究结果。实验设备是一台极高真空校准装置,实验范围为10^-9～10^-1Pa,实验气体为N2。实验结果表明,尽管2次校准结果的重复性较好,但就单次校准结果来看,每个规的灵敏度（修正因子）的最大值和最小值之间的偏差较大。因此,极高真空电离规要得到准确的测量结果,对其进行精确校准是非常必要的。     

高温传感器动态校准系统中激光器响应时间的测试分析

本文简单介绍了瞬态表面高温传感器动态校准系统,着重描述了对作为加热热源的激光器响应时间的测试。试验表明,用CO2激光器作为加热热源能够对亚毫秒量级的高温传感器进行动态校准。