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为了实现惯性约束聚变(ICF)靶丸几何尺寸的高精度、高效率检测,开展了靶丸X射线数字化成像系统的设计与研制。首先,分析了X射线直接投影成像和X射线透镜耦合显微成像的适用范围,根据ICF靶丸尺寸小、吸收衬度弱的特点,确定了基于X射线透镜耦合显微成像的技术路线。然后,分析了影响系统成像分辨率、图像衬度和测量效率的关键因素,确定了低几何放大成像,低电压、小焦点、高功率X射线源及高分辨CCD探测的总体技术方案,该方案能够有效抑制相衬效应和半影误差,解决了现有X射线数字成像设备测量靶丸时边缘扩展严重、尺寸测量误差大的问题。最后,对系统的性能进行了分析测试,实验结果表明,系统成像衬度良好,成像效率较高,分辨率优于0.5μm。靶丸几何尺寸的测量不确定度可达0.9μm(k=2),满足ICF靶丸几何尺寸高精度、高效率的检测需求。 相似文献
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为了精密检测靶丸X射线光学厚度均匀性,建立了基于精密轴系和光纤阵列探测的靶丸X射线光学厚度检测装置,开展了光学厚度轮廓仪光路精密调校技术的研究,应用白光共焦光谱技术和光学显微成像技术,解决了气浮转台精密调整、X射线光路对中的难题,实现了对塑料靶丸壳层缺陷、表面质量、壁厚均匀性、壳层材料成分均匀性等多种耦合扰动综合效应的表征。对系统的稳定性进行了测试,实验结果表明,该系统的测量重复性偏差可基本控制在0.01%以内,空间分辨率约为100μm,满足ICF靶物理研究对靶丸X射线光学厚度扰动的高精度检测需求。 相似文献
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软X射线多层膜的进展使正入射高分辨率成像系统从红外、可见和紫外扩展到软X射线波段。由于软X射线多层膜的反射率还不能像其它波段反射镜反射率那样高,因此由两块同心球面反射镜组成的Schwarzschild物镜在软X射线波段得到了广泛的应用。本文从多层膜带宽匹配条件、Schwarzschild显微物镜的几何尺寸和多层膜镀制设备的性能出发,研究了实现Schwarzschild显微物镜带宽匹配条件的镀膜过程,为实际制备Schwarzschild显微物镜用多层膜提供理论指导。 相似文献
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18.2nm Schwarzschild显微物镜用多层膜带宽匹配问题分析 总被引:1,自引:0,他引:1
软X射线多层膜的进展使正入射高分辨率成像系统从红外、可见和紫外扩展到软X射线波段.由于软X射线多层膜的反射率还不能像其它波段反射镜反射率那样高,因此由两块同心球面反射镜组成的Schwarzschild物镜在软X射线波段得到了广泛的应用.本文从多层膜带宽匹配条件、Schwarzschild显微物镜的几何尺寸和多层膜镀制设备的性能出发,研究了实现Schwarzschild显微物镜带宽匹配条件的镀膜过程,为实际制备Schwarzschild显微物镜用多层膜提供理论指导. 相似文献
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张家骏 《机械工人(热加工)》1993,(9):10-11
2.射线检测法 用于无损检测的射线主要是X射线和γ射线,两者的区别从本质上说主要是频率和波长不同。γ射线的波长更短,因此它的穿透能力更强。当然两者的产生机理完全不同,X射线是人为高速电子撞击金属靶产生的,而γ射线则是放射件物质自发产生的。 近年来用于检测的另一种射线是中子射线,具有很大的穿透能力,它与X射线和γ射线的不同之处是它在被穿透材料中的衰减主要取决于材料对中子的 相似文献
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由于激光等离子X射线源的光子通量显著低于同步辐射源的光子通量且射线为所有方向的各向同性辐射,所以,很需要具有大的集光立体角和高的积分反射率的光学元件,用热解石墨(PG)晶体作色散和聚焦元件可满足上述要求。由于PG晶体为嵌镶结构,所以可给出很高的积分反射率,而PG薄膜还可安装在任意形状的模具上构成任意形状的光学元件。此外,特殊形状的嵌镶聚焦使这些晶体甚至在弯曲的情况下,也可作为高分辨率X射线光学元件。基于上述元件特性,可以设计出有高集光效率的色散光学元件,用于激光等离子体源超快X射线光谱检测。文中描述了PG弯晶在一台改型的von HAMOS光谱仪中的应用,使用这台光谱仪,测量了飞秒激光器产生等离子体发射的X射线的光谱分布。讨论了产生的X射线在时间分辨扩展X射线吸收精细结构(EXAFS)分析中的应用。实验表明,通过优化晶体特性和光谱仪几何设置,可以实现对过渡金属K边的高分辨率EXAFS测量。 相似文献
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软X射线显微术和光谱显微术 总被引:3,自引:0,他引:3
X射线显微术可直接在水环境中对胶体颗粒尺寸范围内的颗粒进行高分辨率成像,将该项技术与高分辨率光谱相结合,还可用于光谱显微研究。其中,常用的两种X射线显微镜是透射显微镜和扫描透射显微镜,文中示出了它们的装置图。由于X射线显微镜能迅速拍下一物体的高分辨率图像,所以,作为一种分析仪器,扫描X射线显微镜更适合作光谱显微研究。作为形态学目视化的一个示例,本文用一台透射X射线显微镜拍摄了粘土和土壤样品的图像。根据X射线图像进行的低温层析实验所获得的图像得到了有关细菌构成的显微生存环境以及其它土壤胶状体的3D结构信息。对扫描透射X射线显微镜拍摄的一系列图像进行分析,得到了土壤样品的形貌特性和化学特性。 相似文献
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现代核分析技术在生命科学中的应用 总被引:1,自引:1,他引:0
本文叙述了近几年来现代核分析技术中,中子活化分析,同步辐射X射线荧光分析,扫描质子微探针,质子激发X射线荧光分析和扫描隧道显微技术的发展及其在生命科学研究中的应用。 相似文献
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超精密加工的应用日益广泛,其加工精度和表面质量要求都很高,需要相应的超精密检测手段予以保证.激光干涉仪、光栅、X射线干涉仪、扫描探针显微术、电容电感传感器及F-P干涉仪等可以实现纳米测量并已经商品化;电容传感器、X射线干涉仪、F-P干涉仪等少数仪器分辨率可达或接近皮米级,但因其测量范围通常较小,在应用中受一定限制.文中针对几种实际应用比较成熟的激光干涉仪,就其应用领域、技术参数、功能特点等予以介绍. 相似文献
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无损检测新技术——X射线数字成像研究与应用 总被引:2,自引:0,他引:2
X射线数字成像是一项新兴的无损检测技术。本文概述了X射线数字成像技术的发展、特点、设备、成像技术、检测工艺和可行性分析以及应用情况。 相似文献
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利用X射线衍射,是目前国际上对超薄多层膜进行检测常用的方法之一,但只局限于双晶或小角衍射仪。本文利用的方法解决了广角衍射仪在低角区测量时由于样品放置误差所造成的衍射峰偏移和得不到衍射曲线的问题,从而使广角衍射仪得以应用在小角区测量。文中重点对测量曲线进行了分析,准确计算了多层膜的周期和单层膜厚度,并与测量值进行了比较,结果表明利用广角衍射仪测量膜厚是切实可行的。在目前我国X射线波段反射率测量装置还没有完善的条件下,利用X射线衍射仪对超薄膜的检测更显得格外重要。 相似文献
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面向SMT的的微焦X射线精密检测技术是电子组装工艺缺陷检测的关键技术。着重论述了2.5D微焦X射线设备的构成与原理以及国内外微焦2.5DX射线检测设备的现状.归纳了该类设备的关键技术.并展望了面向SMT的X射线检测技术的发展趋势。 相似文献
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在RoHS检测中大显身手的能量色散X射线荧光光谱仪 总被引:1,自引:0,他引:1
介绍能量色散X射线荧光光谱仪(EDXRF)与波长色散X射线荧光光谱仪(WDXRF)的区别,能量色散X射线荧光光谱仪的结构、工作原理及其特色,阐述能量色散X射线荧光光谱仪在RoHS检测中的应用。 相似文献
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质子交换膜燃料电池水含量实验测量方法综述 总被引:3,自引:0,他引:3
水管理是质子交换膜燃料电池的一个重要研究课题,水含量的测定方法是水管理实验研究过程中的难点问题。通过文献研究分析了水含量的实验测量任务及要求,总结目前燃料电池水含量的实验测试手段和方法,包括间接测量方法和可视化测量方法,即积分法、热重量分析法、高频阻抗法、核磁共振法、中子成像法、X射线扫描成像、电子扫描成像、光学成像法、共焦显微成像和荧光显微成像法。通过比较各类方法的特点,认为可视化测量技术是发展趋势,中子成像法和光学成像法将会在水管理研究实验中得到更多的应用。 相似文献