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本文报道了一种用无掩模腐蚀技术加工对称梁岛结构的微机械加工技术。根据硅台阶在KOH无掩模腐下形状和尺寸的变化规律,可以设计制造出一般掩模腐蚀难以形成的微机械对称当今岛结构。由于该技术工艺简单,易于控制,为制作对称梁岛结构的硅 速度传感器提供了新的加工手段。 相似文献
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形成硅多层微机械结构的“掩模-无掩模”腐蚀新技术 总被引:1,自引:0,他引:1
本文介绍了一种制作硅多层微结构的体微机械加工新技术.基于KOH溶液的无掩模腐蚀特性,仅用一层掩模进行一次从有掩模到无掩模的连续腐蚀工序,可在(100)硅片上制作各种以(311)晶面为侧面且进棱沿(110)晶向的多层次立体结构,原则上层面数不受限制,各个层面的位置和深度都可由一块掩模的设计和相应的腐蚀深度确定,该技术突破了传统各向异性腐蚀的局限性,使体微机械技术的加工能力大为扩展,可望在微电子机械系统的结构制作中广泛应用. 相似文献
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本文介绍了一种新结构的硅一体化微加速度传感器,理论和实验结果表明,这种传感器与传统硅微机械结构加速度传感器相经具有温度特性好,工艺简单和成品率高等优点,这种结构特别适合制作谐振传感器。 相似文献
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大有作为的硅微传感器微(机械)加工技术的问世。把传感器推向一个新的发展阶段,传感器已从昨天的笨重机械结构发展成用传统半导体加工技术制作的硅集成智能器件。可以认为,硅传感器将取代机械传感器.而且将开辟目前用机械传感器不可能开辟的崭新市场。同机械传感器相... 相似文献
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当前流行的硅基做加工技术主要有体微加工(bulkmieromachining)和表面做加工(sutheemic。achini。)两种。它们之间的主要区别为:前者将微机械的运动部件制作在硅衬底里,后者则将微机械运动部件制作在硅衬底表面上的薄膜里”健体微加工技术目前用体微加工技术制作的主要产品有:某些压力传感器、加速度传感器。微泵、微阀、微沟槽等微传感器、微机械和微机械零件等,这些产品的微结构的显著特点是它们都有可运动的悬臂梁或桥、可振动的膜或硅衬底里的沟槽。这些微结构的形成主要利用腐蚀技术和光刻技术相结合,有选择地从硅衬底上挖去… 相似文献
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集成硅微机械光压力传感器 总被引:2,自引:1,他引:1
介绍了一种新颖的集成硅微机械光压力传感器的结构、工作原理、制造工艺和实验结果。该传感器是利用半导体集成电路微细加工技术和各向异性腐蚀相结合的方法,将传输、获取信息的光波导,敏感弹性硅膜和光电探测器集成在一块三维硅基片上得到的。它具有灵敏度高、抗干扰能力强、自身无需电源、防爆、成本低和可靠性高等优点。 相似文献
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本文对频率输出的硅微机械结构电容压力传感器进行了研究。利用有限元程序和解析方式对岛-膜硅电容膜片进行了分析。采用硅体型微机械加工技术和集成电路兼容工艺完成了压力元件的制作。对易于CMOS集成的两种新颖的接口电路进行了分析和设计,提高了传感器的性能。 相似文献
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硅微机械惯性传感器技术及其应用 总被引:3,自引:0,他引:3
本文简述了MEMS技术及微机械传感器的技术含义,着重对硅微机械惯性传感器原理及研制硅微机械惯性传感器的关键技术进行描述,为开展硅微机械惯性传感器研究及应用作技术准备及必要的思考。 相似文献
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《电子技术与软件工程》2017,(6)
现阶段,硅微机械谐振压力传感器应该是稳定性最好及精确度最高的传感器,在航空航天及工业等领域内广泛应用。按照硅微机械谐振压力传感器目前研究成果,对硅微机械谐振压力传感器工作原理进行阐述,分析不同类别硅微机械谐振压力传感器芯体结构,对硅微机械谐振压力传感器未来发展方向进行分析,希望能够增加对硅微机械谐振压力传感器技术的了解。 相似文献
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微电子机械系统技术及其应用 总被引:3,自引:0,他引:3
微电子机械系统技术的特点是可使制品微型化、集成化并以硅作为加工材料。该技术可分为体微机械加工、表面微机械加工、金属微机械加工和复合微机械加工四类。所采用的基础技术主要有:腐蚀技术、硅键合技术、多层无应力薄膜沉积技术、牺牲层技术、LIGA技术以及以上技术的复合,该项技术应用广泛。本文重点介绍在微传感器、微电机、机械滤波器和谐振滤波器等方面的应用,并探讨了发展方向。 相似文献