圆光栅检测仪的研制

介绍了一种高精度、精密、自动化、动态测量的光栅检测仪,测量光栅盘的扩展不确定度为０．０８”。该仪器采用了高回转精度的空气静压轴承及多头均化技术,减小了参考盘刻划误差的影响,同时,采用了计算机系统控制测量过程,进行数据处理,实现了自动化测量,检测结果和误差曲线由打印机打印输出。     

彩色CRT偏转误差及测量方法的研究

彩色CRT的偏转误差主要包括会聚误差和光栅误差,测量会聚误差和光栅误差是验证偏转线圈偏转特性的重要手段.会聚误差取决于R/G/B三束在屏上相互之间的距离量,而G束形状则决定了屏上光栅的误差量.基于彩色CRT光点测试系统所配置的一种高精度且又灵活的多功能测试系统,其测量对象是经过偏转线圈自身会聚及光栅误差校正的"裸管"."双光点测量法"的应用可完全消除会聚误差测量中的驱动抖动误差,而运用"单线测量法"可使光栅误差测量过程最简化.因此,测试系统能最大限度地重复运用测量设备,并以最简化的系统配置实施精确的测量.     

光栅式指示表检定仪示值误差测量结果不确定度评定

随着数字化仪器的问世,现在越来越多的企业将数字化的仪器代替了以前的机械仪器,指示表检定仪也不例外。用传统的量块检定光栅式指示表检定仪时,往往由于大量块自身重力的原因可能对仪器示值引入误差,所以本文将分析一种新的检定标准——光栅测微仪代替量块检定光栅式指示表检定仪示值误差测量结果的不确定度评定。通过分析,光栅测微仪也能满足检定要求,且它具有测力小、读数直观等特点,较量块检定光栅式指示表检定仪来的更为方便。     

一种非线性误差修正方法

对于采用光栅做位移传感器的长度测量仪器,为提高仪器测量准确度,多采用误差修正的方法,来减小仪器示值误差。本文介绍了一种非线性误差修正方法,该方法在国外有的仪器上已被采用,作者也做过试验,验证了方法的可行性。     

衍射法X射线激光分束光栅平行度测量系统(英文)

介绍了软X射线光栅分束镜Mach-Zehnder干涉等离子体诊断系统调整用双频光栅线条平行度的衍射法测量系统.该系统主要由激光器,准直镜,待测光栅,精密转台(含角度测量仪),直线工作台,光栅调节架和探测器组成.分析了系统中各种误差对测量精度的影响其中包括距离测量误差、波长误差、光栅准直误差即光栅刻线与入射光和反射光组成的平面不垂直、光栅转动过程的误差、光栅表面面型误差、探测器误差,经计算得到系统的绝对误差为minute.计算表明,该系统的测量精度满足软X射线Mach-Zehnder干涉系统对双频调整光栅的性能要求.     

光栅位移测量系统的误差自修正方法研究

文中介绍的误差自修正方法是通过光栅位移测量系统中单片机对光栅传感器的多个零位信号进行计数,并根据测量值和系统设定值得到的误差函数自动进行误差修正.实验结果表明,该方法对光栅位移测量系统的误差既可自动进行有效的修正,又可提高系统的测量精度.     

不依赖于长度基准的光栅细分精度的评定方法

分析了光栅细分精度与利萨如图形的关系，给出了通过利萨如图形评定光栅细分精度的方法。该方法将对测量条件要求极高的细分误差评定工作转化为普通的电压测量和计算，使光栅细分精度的评定不再依赖于高精度的长度基准。该方法适用于各种误差模型的光栅信号，也适用于其它任何以相位差为９０度的两种信号进行细分计量仪器。     

从实物量具为标准器转化到用光栅传感器为标准器的探讨

本文介绍用光栅传感器替代量块作为主要标准器检测扭簧比较仪和机械式比较仪,试验结果表明,光栅传感器测量精度高、试验稳定性好、速度快、减少了人为误差,能满足测量仪器检测的要求.     

光栅纳米测量中的系统误差修正技术研究

详细研究了光栅纳米测量系统的误差特性 ,以及利用激光干涉仪对高精度光栅测量系统的系统误差进行检测、并在信号处理中予以补偿和修正的方法。实验表明 ,通过这种系统误差修正方法对周期累计误差和细分误差同时进行修正 ,能够大幅度地将计量光栅系统的测量准确度从微米或亚微米量级提高到纳米级水平 ,以实现光栅纳米测量。     

粗光栅位移测量系统细分误差的来源与消除分析

本文从粗线纹光栅位移测量系统的原理出发，对里周期性变化的细分误差作了详细的理论分析，并得到了实验的验证．同时提出了从硬件上和软件上消除细分误差的方法，为进一步研制高精度数显系统打下基础。     

大量程光栅位移测量累积误差的修正

提出了一种自动测量光栅栅距修正累积误差的方法。栅距测量是基于高阶累积量估计光栅传感器输出的两路莫尔条纹信号的时间延迟而得到的,该方法能够实现每个栅距的测量,通过对每个光栅栅距的误差进行修正来减少累积误差,为大量程高精度测量奠定了基础。实验采用长为500 mm的50线/mm的光栅传感器,该传感器包含栅线25 000条,实现栅距测量分辨力为3 nm,达到了纳米级测量。该方法抗干扰能力强,适合在生产现场应用。     

调相型容栅传感器传输函数的误差分析

本文讨论了容栅传感器传输函数对示值误差的表达,分析了传输解调函数的不同组合对误差的影响,并对不同的解调函数在一个空间周期内求得了相等的最大误差。     

一种紫外窄带宽透射型石英消偏器的研究

为了在紫外波段 200~350nm,窄带宽 1nm 的情况下实现消偏,在 Lyot 型消偏器的基础上,设计了一种由两块厚的石英延迟片组成的消偏器。应用矩阵光学理论计算了该消偏器的剩余偏振度,并得到了消偏条件。建立了测试系统并在实验上验证了消偏效果,得到了 6.5%的剩余偏振度,与理论计算有较好的一致性。分析了测试误差来源,提出了用多片组石英来提高消偏效果的途径。     

An Adaptive BIST Design for Detecting Multiple Stuck-Open Faults in a CMOS Complex Cell

This paper describes a new adaptive built-in self-test (BIST) technique for detecting stuck-open faults in a CMOS complex cell. A test pattern generator (TPG) that adaptively generates a sequence of single-input-change test pairs based on the past responses of the circuit under test (CUT) is designed. Conventional TPGs produce a predefined sequence of test vectors. The novelty of the proposed approach lies in the fact that the test sequence (TS) generated by the TPG depends on the actual error produced by the CUT during testing. The BIST design is universal, i.e., independent of the structure or functionality of the CUT, and depends only on the number of inputs to the CUT. The length of the TS $(vert hbox{TS}vert)$ also depends on the error behavior; hence, it significantly reduces the average test application time. For an $n$-input CUT, it is shown that $4 leq vert hbox{TS} vert leq 2n cdot 2^{n}$. The design of the response analyzer is also simple. Barring a few exceptions, any irredundant multiple stuck-open faults, including those simultaneously occurring in both the $n$- and $p$- parts of a complex cell, are guaranteed to be detected using the proposed BIST scheme.      

图像识别在指示表检定中的应用

介绍了一种基于计算机图像识别技术实现的指示表全自动检定仪的设计方法，着重介绍了检定过程中的指针示值自动判读方法。该检定仪采用了高精度的光栅传感器与计算机技术相结合，利用了光栅测长原理测定指示表推杆的位移，采用CCD摄像头摄取表盘图象，经计算机进行图象识别及数据处理得到指针读数，从而免除了人工读数，大大提高了检定效率，可自动完成各类指示表的示值误差和回程误差的检定。详细论述了检定仪的组成原理、机械结构及仪表示值判读的软件算法，并通过实验对仪器检定结果的准确性进行了检验。     

基于量子遗传算法的圆度误差测量研究

提出采用量子遗传算法,以提高圆度测量精度。首先用最小二乘法拟合获得建模数据中圆度图像的圆心坐标和半径;再通过圆度计算剔除不符合要求的圆度;然后用量子遗传算法进行多进制编码,量子旋转门非固定步长调整更新;最后给出圆度误差测量流程。实验仿真显示该算法获得了精确的测量数值,与三坐标测量机测量结果误差相差小于0.005 8 mm,半径相对误差小于0.19%,测量最大误差均在0.01%以内,同时最大误差波动比较平稳,测量不确定度比其它方法值较低。     

差动式激光多普勒技术在冲击校准测试中的应用

本文介绍了利用差动式激光多普勒技术实现高加速冲击校准的原理、方法和实际的光学系统。