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新型厚膜多层线布及交叉介质材料达到了美国杜邦公司同类产品的技术水平。它既可以在空气中烧成,又可以在氮气中烧成。本文还探讨了若干关键的技术性问题。 相似文献
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多层介质光学膜系的二阶膜厚误差因子分析 总被引:4,自引:0,他引:4
本文推导了多层介质光膜系的二阶膜相对误差因子表达式,以λ0/4高反射多层介质膜系为例对一阶和二阶误差因子进行了数值分析,比较了两者在不同波长区域对膜系光谱性能的影响,发现不应仅考虑一阶误差因子,而应同时考虑一阶和二阶误差因子的作用,才能较好地描述膜厚误差对膜系光谱性能的影响。 相似文献
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本工作介绍一种应用透射电子显微镜测定单分子膜厚度的简便方法,用这种方法可以测定出厚度在几纳米至几十纳米的单分子膜,为研究单分子膜的分子排列及其结构提供了有用的参考数据。 相似文献
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除几种简单情况外,计算介质多层膜的光学特性是很少能实现的,只能借助计算机;特别是,当“计算”指定特殊用途的多层膜时,要得到最佳解就必须用一种逐次近似法,尤其是这种方法的自动计算过程应特殊指定。出于此目的,在法国卡昂新造了一台模拟装置。原理、制备、精度控制等另有描 相似文献
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提出一种基于反射光谱分析的非在位膜厚控制技术,首先利用椭圆偏振光谱仪确定波长300~1 700 nm范围内的薄膜折射率,由此确定对应于特定波长(如1 550 nm)的最佳抗反射(AR)镀膜沉积条件。然后计算最佳AR镀膜厚度所对应的反射谱,得到相应的CIE标准色谱坐标。通过对比实测镀膜颜色和计算得到的最佳颜色,可以实现小尺寸器件端面上AR镀膜厚度的优化控制。利用这一方法,由等离子体增强化学气相沉积(PECVD)制备的SiNx单层AR镀膜,获得了4.4×10-4的反射率。 相似文献
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对于生长在全吸收衬底上的有限厚度的均匀薄膜,用椭圆偏振光谱来测量膜厚d,折射率n(λ)及消光系数κ(λ)面临着困难。借助于对透明光学玻璃(或石英玻片)上薄膜透射率Τ-波长λ关系的测量,本文找到了与膜厚相关的一个方程,因而找到了测定d、n(λ)、κ(λ)的方法。基于这样一种认识:同一条件下,在透明光学玻璃(或石英玻片)上和单晶硅衬底 相似文献
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电致发光新契机——厚膜介质 总被引:2,自引:0,他引:2
自从1936年Destriau发现ZnS:Mn电致发光以来,电致发光显示(EL)技术不断发展,商品化的EL产品也层出不穷。其中有交流粉末型、直流粉末型、交流薄膜型和直流薄膜型。所有这些类型的发光器件都有着各自的优、缺点。因而限制了他们在市场中的应用程度。然而,现在EL产品市场出现了一个新变化:厚膜介质电致发光(TDEL)显示及光源应用。 相似文献