激光干涉仪计算电路原理

激光干涉仪对被测件的长度测量,是以反射镜的位移量确定,其位移量的计算公式为L_(20)=N·λ_o/2Kn-[1+a(20-t)](1)式中,L_(20)—折算为20℃时位移量的值(微米); N—干涉条纹数; λ_0—激光在真空中的波长(微米),当激光器选定时     

激光干涉仪在测长机检定中的应用

本文提出了用激光干涉仪检定测长机分米刻尺示值误差，是一种快速，准确，行之有效的方法。     

激光干涉仪在纳米测量中的典型应用

激光干涉仪具有测量分辨力高、测量结果可溯源等优点,在纳米测量中的应用日益广泛。介绍纳米测量机和低膨胀材料线膨胀系数测量装置中应用的迈克尔逊型激光干涉仪以及在高准确度位移测量装置中应用的法布里-珀罗型激光干涉仪,并结合这些实例对激光干涉仪光学系统设计、测量环境控制、迈克尔逊干涉仪非线性误差补偿以及法布里-珀罗干涉仪量程扩展等方面的关键问题进行分析和总结。所述原则和方法对实现纳米级测量准确度具有重要意义,可为高准确度激光干涉仪的研制及其在纳米测量中的更广泛应用提供技术参考。     

激光干涉仪在气体微小流量测量中的应用

为了提升气体微小流量的校准能力,拓展流量校准范围下限,以被动活塞式玻璃体积管主标准器作为研究对象,提出一种使用激光干涉仪实时测量活塞移动位移从而计算得出标准流量的方法,将流量范围下限从1 mL/min扩展至0.01 mL/min.开展了流量重复性试验及标准流量不确定度分析,试验结果表明该标准器在扩展的微小流量范围内具有...     

一种激光干涉仪外部测量触发电路

激光干涉仪因其具有较高的测量精度而被广泛地应用。在使用激光干涉仪（以Agilent5529A激光动态干涉校准仪为例）测量工件的实际尺寸（长度）时,需要用测头去探触工件,以取得工件的实际位置,因此需要有一触发装置,来感知测头是否探触了工件。本文设计了一个触发电路,能够使激光干涉仪实现这一功能。     

激光干涉仪在测长机不确定度评定中的应用

依据测长机校准规范中关于分米刻度尺的校准方法,为了尽可能消除测量过程中的各类误差,保证校准数据真实可靠,本文利用激光干涉仪对测长机分米刻度尺进行示值误差的不确定评定,评定结果小于测长机分米刻度尺误差的三分之一,满足精度要求,可供从事测长机校准工作人员参考。     

激光干涉仪

激光干涉仪安田贤司１．原理和结构（ｌ）原理干涉仪是用某种方法使光束分为两路，它们行经不同的光路后再重合，观测由各光路长度决定亮暗的光强度（干涉条纹）的装置。光具有波的特性，上述重合将产生相互加强或减弱的现象，称为干涉。（图１略）（２）结构图２斐索干涉...     

激光干涉仪在数控机床测量方面的应用

激光干涉仪作为数控机床的测量装置是集光学、精密机械、电控技术、数据处理、计算机技术于一体的高技术精密检测装置,采用完全非接触测量方式,实现数控车床在自动化方面的飞跃,在未来必将会有更为广阔的发展前景。当然面对不同的数控机床要采用不同的测量方式,并且对不同的测试结果进行科学的分析,要明确激光干涉仪在数控机床上的测量方式,把握双频激光干涉仪在数控车床检测中的应用,加强对激光干涉仪的使用快捷方式进行分析,最大限度地扩大激光干涉仪在数控机床测量方面的普及。     

激光干涉仪在位置测量中的精度评定

激光干涉仪广泛应用于计量、精密机械测量、航空航天工业等领域,国内拥有量超过数千台.由于激光干涉仪使用者的水平、经验和理解各不相同,因错误的认识产生了错误的理解和操作,导致了错误的测量结果,使激光干涉仪不能发挥应有的作用.对激光干涉仪进行检测过程中的错误理解和操作方法进行了分析,发现有些使用者忽视了激光干涉仪的材料温度传感器和材料温度膨胀系数的不确定度对测量结果的影响,造成了测量结果的不正确.有的使用者在短距离内测量是否需要对空气折射率进行修正的问题也有不同的看法.对上述两个问题进行了理论分析.     

激光干涉仪在10米测长机导轨直线度检测中的应用

为检测10米光栅测长机导轨的直线度,采用双频激光干涉仪系统作为主要测量工具,以最佳平方逼近法计算10米光栅测长机导轨的直线度。根据双频激光干涉仪的测量直线度测量原理,结合直线度的评定方法,对10米光栅测长机导轨的直线度的测量方法进行了介绍。实验表明,采用双频激光干涉仪测量直线度的方法实用,较为准确、方便、直观。     

双频激光干涉仪

一、前言自一九六○年气体激光出现以来,激光技术得到不断发展,激光波长已作为长度计量的标准。单频和双频激光干涉仪相继问世。双频激光干涉仪由于克服了单频激光干涉仪的某些不足,具有可测距离大,测量速度高,抗干扰能力强等优点,特别适合在生产现场广泛使用。对大型机床、精密机械、船舶和飞机制造以及大地测量、地震预报等发展都有一定的促进作用。目前,双频激光干涉仪这一产品,在国际上只有美国、日本和法国等少数国家生产。七十年代以来,我国的一些单位也进行过研制,但都没有正式     

新型激光干涉仪

ＬＭ－６Ｄ激光干涉测量系统是于１９９８年推出的新型激光干涉仪,一次安装调整能同时测出位置（长度）,Ｘ及Ｙ方向直线度、信仰角、偏摆角和滚动等六个参数值。不仅保持了激光干涉测量精度高的特点,同时实现了多参数同步测量,减少测量时间８０％,大大提高了测量效率。     

双频激光干涉仪

双频激光干涉仪是激光干涉仪的一种,主要用于大长度精密测量,例如:1.可作为大长度的自然计量基准以代替现行的三米杆尺实物计量基准,既能提高基准精度,又便于保存和复现,有利于战备;2.可作为大地测量的计量标准,至少可以使测量误差减小一个数量级(即减少一位数字);3.可用于考察地球外壳的形变,大大提高地震预报的准确度;4.可直接用于重型机械加工中的尺寸测量,解决目前许多大尺寸无法测量的问题;5.可用于国防建设的若干方面,为国防科学研究提供可靠数据等。所谓激光干涉仪,就是以激光为光源的干涉仪。以单频激光管发出的具有单一频率的激光为光源的干涉仪叫做单频激光干涉仪;以双频激光管发出的     

激光干涉仪在大型三坐标测量机示值误差快速测量中的应用

提出一种使用激光干涉仪快速测量大型三坐标测量机示值误差的方法。描述了校准方法原理,建立了测量模型,探索了试验程序和试验方法,并给出对三坐标测量机示值误差校准的具体方法和步骤,使测量过程中激光干涉仪引入的误差尽可能减少,最后给出校准结果。分别采用激光干涉仪与传统标准量块得到的校准数据比对结果表明,激光干涉仪在大型三坐标测量机示值误差的校准中更加准确、可靠。     

激光干涉仪在数控机床定位精度测量中的误差控制

激光干涉仪广泛运用于数控机床定位精度的测量,是机床安装调试、维修检测、性能定级、品质验收、降废保质、周期螺补校准的优选测量设备,其测量结果的准确与否直接影响零件加工精度及对企业提质增效有着重要意义。作为一名计量技术人员应采取必要的措施来减小或消除其测量过程中产生的误差。文章首先分析了激光干涉仪测量数控机床定位精度的测量工作原理,进而分析了其测量误差来源,并采取相应的措施进行误差控制。     

锁相环电路在数字电压表噪声抑制中的应用

介绍了数字电压表噪声的主要来源,分析了提高双积分型数字电压表串模抑制比的原理,给出了用锁相环电路实现自动频率跟踪技术来提高数字电压表串模抑制比的方法。     

激光干涉仪分幅移相的电子相位补偿电路

目前,在激光干涉仪中对干涉条纹经光电转换后进行细分时,首先要求接收转换后的电讯应号为两路相位差是π/2的讯号源。这是因为倍频电路的设计参数是以初始两路电小号的幅度相等、频率相同而相位差是π/2为前提进行计算的。所以实际的初始讯号参数与假定的前提条件相接近的程度就决定着倍频结合的均匀度,从而影响测量的精度。随着倍频数的提高,对两讯号的π/2相移的精度要求越来越高。譬如,在激光干涉仪上作三十二倍频细分时,要求初