用于拼接干涉仪的五维运动台测试

高运动精度、高稳定性的多维运动台是拼接干涉仪必不可少的组成部分,因此运动台精度和稳定性直接影响拼接干涉仪的测量精度。通过激光干涉测量系统测量了五维运动台的行程、分辨率。运用频谱实验测量了五维运动台的模态。利用面形测量干涉仪,通过干涉条纹移动测试了五维运动台长时间工作中的漂移,为拼接干涉仪的研制提供了重要依据。     

雷尼绍与多普勒激光干涉仪测量方法比较

介绍了雷尼绍激光干涉仪和多普勒激光干涉仪的测量原理,并对这两种激光干涉仪的测量方法进行了比较。结果表明,当只需要测量机床的线性定位精度时,两者都比较适合。当需要测量机床的所有几何误差时,由于多普勒激光干涉仪采用了激光向量技术,测量周期大大缩短,测量效率较高。     

激光干涉仪在高精度垂直度检测中的应用

为检测用于测量直角尺、方尺等的高精度垂直度测量仪的垂直度,采用激光干涉仪为主要测量工具,以基准法测量高精度垂直度测量仪的垂直度。根据激光干涉仪测量直线度、垂直度的原理,结合分析软件,对垂直度的测量方法进行了介绍,实验结果表明,采用激光干涉仪测量垂直度的方法简明准确,较为直观、方便、高效。     

Optic Fiber Interferometer For Absolute Distance Measurement

提出一种利用短扫描导轨(100 mm)实现1 m以上绝对距离测量的光纤干涉测距新方法测量系统由定位干涉仪和扫描干涉仪组成,定位干涉仪采用准白光光源实现测量中的定位瞄准,扫描干涉仪完成距离的测量。此外定位干涉仪采用多组光纤干涉结构,各组光纤的光程差由自身系统进行标定,从而实现量程的倍增。实验表明,测量精度达10     

光纤干涉绝对测距技术

提出一种利用短扫描导轨实现１ｍ以上绝对距离测量的光纤干涉测距新方法：测系统由定位干涉仪和扫描干涉仪组成,定位干涉仪采用准光光源实现测量中的定位瞄准,扫描干涉仪完成距离的测量。     

基于迈克尔逊干涉仪的光纤传感实验

介绍了全纤化迈克尔逊干涉仪传感器的工作原理。基于迈克尔逊干涉仪光纤传感器对微小位移和温度进行了光纤传感实验。实验发现,全纤化迈克尔逊干涉仪传感器对微小位移的传感测量有很良好的二次函数比例关系,而对温度的传感测量存在着一定的测量灵敏区域。     

激光直线度干涉仪浅析

激光直线度干涉仪是高精度的直线度测量仪器,其测量附件有好几种。本文重点介绍了几种激光干涉仪直线度测量附件,分析了它们的优缺点和技术特点,并提出了直线度测量容易忽视的几个问题。     

混频对全视场外差动态干涉仪测量精度的影响

全视场外差动态干涉仪在面形测量方面具有测量精度高、抗干扰能力强等优点,适合用于长焦距面形的动态干涉测量以及大口径光学元件的测量。但是干涉仪系统内部光学元件性能不理想以及元件装配存在误差等,会在干涉光路中引入频率混叠,影响干涉仪的测量精度。为了分析混频对全视场外差动态干涉仪测量精度的影响,从混频产生的原因出发,建立了由混频引入的测量误差的理论模型,分析了混频程度对测量精度的影响,分析结果表明,测量误差与混频程度呈非线性正相关,混频会造成测量面形结果上叠加一个和干涉条纹相同频率的周期性误差。搭建了全视场外差动态干涉测量实验系统,验证了不同混频程度对面形测量精度的影响,当混频程度为0.029时,面形测量误差为0.053λ;当混频程度为0.120时,面形测量误差为0.110λ,与仿真分析结果吻合。本文的研究对研制高精度全视场外差动态干涉仪具有实际意义。     

接触式干涉仪示值误差测量结果的不确定度评定

接触式干涉仪在各科研院所、企业、高校等单位广泛使用,接触式干涉仪的测量准确度与温度、湿度等环境因素以及测量人员使用的测量方法和测量水平均有关系,在频繁使用的情况下,势必会受到影响,此时应按照国家管理规范要求对接触式干涉仪进行定期检定,以确保检测数据的权威性,而检定过程中非常重要的一个环节即是对其示值误差的测量结果进行不确定度的评定。根据实际工作经验就接触式干涉仪示值误差测量结果的不确定度评定按照规范要求进行了计算与分析,分析过程和结果均可作为不确定度评定时的依据和参考。     

超精密外差利特罗式光栅干涉仪位移测量系统

开展了扫描干涉光刻机工作台超精密位移测量的实验研究,以提高扫描干涉光刻机的环境鲁棒性。针对扫描干涉光刻机工作台位移测量精度,提出了新型高环境鲁棒性外差利特罗式光栅干涉仪测量系统。介绍了系统测量原理,设计了测量系统,提出了基于Elden公式的系统死程误差建模方法。设计制造了尺寸仅为48mm×48mm×18mm的光栅干涉仪。基于误差模型计算了死程误差,计算结果表明:对于1.52mm死程的光栅干涉仪,宽松的环境波动指标(温度波动为0.01℃、压力梯度为±7.5Pa、相对湿度波动为1.5%、CO2含量波动为±50×10-6)仅引起±0.05nm的死程误差。最后,设计了基于商用双频激光平面镜干涉仪的测量比对系统,开展了光栅干涉仪原理验证实验和测并量稳定性实验。原理验证实验表明:光栅干涉仪原理正确且系统分辨率达0.41nm。测量稳定性实验表明:常规实验室环境下,环境波动引起的死程误差为7.59nm(3σ)@0.9Hz1~10Hz,优于同等环境条件下平面镜干涉仪的31.11nm(3σ)@0.9Hz1~10Hz。实验结果显示系统具有很高的环境鲁棒性。     

大型转子空间位置测量及自定位加工方法的研究

针对大型转子的加工环境,在传统加工方法基础上提出了一种使用直线位移传感器测量转子外圆,输出位移信号,经处理形成位移曲线,建立转子实际轴线数学模型,根据数学模型计算转子各加工位置坐标,最后修正数控程序,实现对大型转子装夹精度测量及自定位加工的方法。     

基于LabVIEW的微型行星轮系减速器噪声测试系统的开发

测量微型减速器的齿轮噪声是检验减速器产品性能好坏的一个重要手段。为了克服传统的测量方法无法在生产中实时测量减速器的噪声,以及对测得数据进行处理和分析的不足,研究和开发了一种基于美国NI公司最新推出的LabVIEW8．0虚拟仪器开发平台,利用快速傅立叶变换为基础的减速器噪声测试系统。通过介绍该系统的数据采集、数据处理、结果输出的方法,提出了一种新的齿轮噪声测量方案,并获得了初步的实验结果。     

在DDS波形发生器中相位截尾噪声的分析和抑制

直接数字频率合成技术（DDS）是近年来发展迅速的一种新的频率合成技术。全数字化的结构赋予了它很多的优点：频率转换时间短，频率分辨率很高，输出相位连续，容易集成和易编程控制等，当然也就引进了数字化结构的缺点－－输出杂散在。本文对DDS波形发生器中由于相位截尾所产生的杂散进行分析，并提出抑制相位截尾噪声的方法，给出了实现方法和实验结果。     

截距式温差测量仪的研制

精确的温度测量一般都要涉及到环境温度变化、参数分散性等因素。提出了一种截距式高精度温差实时测量方法，使温差变化部分能得到有效放大，合理使用了A／D转换器的有限分辨率，保证输出满足足够的精度要求。该测量装置具有LCD显示和标准电流输出功能。在软硬件设计上，考虑了工业运行中不同现场参数、环境温度变化以及电路参数变化所带来的影响。同时，系统具有调试方便、使用灵活等特点，并已用于联碱生产企业。     

DISCO型无级变速器输出特性的研究

本文阐明了无级变速器输出特性的基本概念，分析了行星摩擦轮无级变速器输出特性的变化趋势，讨论了提高其承载能力的途径，并在此基础上进行了试验研究。     

遥控器静态电流的测量

遥控器用途广泛,但是其各项指标性能检测比较麻烦,没有完整的检测系统,本文介绍了其中一个指标——遥控器静态电流的测量与处理。用霍尔传感器测量静态电流,外接稳压电阻形成RC振荡,保证了输出信号稳定性。输出的电压信号送到ADC0809,经过单片机处理后确定是否合格。实验准确测得遥控器的静态电流,并且实现了测量处理的自动化,提高了检测效率。     

电视脱靶量的实时输出

本文对跟踪测量电视系统的实时输出部分的功能做了详细介绍并对时统采样脉冲与电视扫描的同步与锁相,电视脱靶量的纯滞后校正和动态测量误差的修正做了详细的讨论。     

心磁信号的测量误差分析

虽然心磁信号是采用超导量子干涉仪（SQUID）在屏蔽室内检测得到的,但在它的测量过程中总不可避免存在误差.为了提高心磁信号测量准确度以及分析心磁信号可信度,有必要进行误差分析.本文根据心磁信号的测量过程,分析了测量过程中可能产生的误差,针对心磁数据的特点设计了误差分析对象,应用误差理论进行分析计算,得出了通过SQUID测得的心磁信号包含明显的随机误差,无根据怀疑存在系统误差和粗大误差的结论.     

引伸计与变形测量范围

从引伸计的结构、标距和测量范围、标称量程与输出灵敏度、示值的绝对误差和应变误差等几个方面论述电子万能试验机引伸计的正确配置。从材料力学性能测试所需的变形量、引伸计系统实际检定结果论述电子万能试验机有效变形测量的确定，从而指出了试验机行业内普遍存在的一个认识误区。     

高测速双纵模双频激光干涉仪系统的研究

以合适频率的高稳定度电子振荡器信号分别与双纵模热稳频双频激光干涉仪输出的频率过高的测量和参考信号混频,将信号载波频率降至计数器允许频率范围内,得到全交流的高测速双纵模双频激光干涉仪系统。本文给出了高测速双纵模双频激光干涉仪系统光路框图和信号处理框图,并给出了振荡器频率选择的基本公式。所研制系统纵模间隔约728MHz,计数器选用最大允许计数频率10MHz的82c54,振荡器为频率为723MHz的JE0723型介质振荡器。在3m激光测长机上的实验证实:系统分辨率为0.32μm时,最大允许测量速度可达1300mm/s,能满足各种高速运动设备的检测及标定需求。