膜制超高纯氮

膜装置生产的氮气质量和纯度通常有一定的限度,生产的纯氮至多不过99％。目前,从联合碳化物公司获得的膜制99.9995％无氧超高纯氮,其产量在5.66～1699.2Nm~3/h。几年来,该公司已出售了低温、吸附和膜的制氮装置。透渗性好、选择性高的新型复合膜使分     

超高纯氮的制备

本文叙述了用低温吸附制备超高纯氮的方法，以高纯氮为原料气，通过吸附、反应、过滤等工艺，进一步纯化，可得９９．９９９９％的超高纯氮．     

半导体硅材料用的超高纯硅烷

本文用一种新开发的A型离子交换沸石来提纯甲硅烷,该沸石能吸附硅烷中的磷化氢。硅烷中磷化氢的含量通过硅烷分解所得硅的电阻率来确定。对硅的两种样品,即在硅衬底上的外延薄膜和单晶硅棒作了分析。在室温下,p型硅棒的电阻率在1×10~4～8×10~4Ω-cm之间,它与提纯的条件有关。一个用这种硅制造的表面势叠型的固体检测器,以X-射线和从~(207)Bi蜕变的电子流进行验证,表现出了非常好的特性。借助于气相色谱技术,用一模拟柱对吸附柱的特性进行研究。由此得出的最佳条件作为吸附柱的操作条件。     

POSCO高纯制氮系统

POSCO项目是制板工业用高纯氮气的典型事例。APCI公司提供一套PSA变压吸附制氢机系统和液氮储槽备份系统，保障了工厂不同情况下用气的需要，又得到了良好的经济效益。     

实验室用氮发生器

英国斯潘特茨产品公司已将供实验室用少量高纯氮的氮发生器实用化。这种装置称为“Nitrox”,可用它取代以往的贮罐,其经济性很优越。在用贮罐时,一般是采用出租的方式,需要输送费。氮发生器不存在上述情况,毋需花费用、时间和人力进行搬运。即使将折旧费和维修费计算在内,若采用此装置,也能以每升几便士的成本得到高纯氮。所发生的气体中,氧和水份含量在10ppb以下。这种装置有三种类型,其氮发生量分别为每分钟0.3升、2升和4升,输出压力为     

日本开发核反应堆用超高纯不锈钢

日本核研究开发机构核能基础联合中心与神户制钢所共同开发出下一代核系统用“奥氏体超高纯不锈钢”的制造技术。为大幅提高核反应堆的堆芯结构件、燃料包覆管、核燃料再处理用耐硝酸装置等的使用寿命，需要使用奥氏体合金。但使用时间一长，合金中的杂质会出现晶界析出和偏析，从而影响了这种合金的实际应用。这次开发的高纯度技术有望大幅延长核反应堆相关装置的更新寿命。     

世界最大的特高纯制氮设备投产

美国空气制品公司投资 50 0 0万美元建造的世界最大的特高纯制氮设备现已投产 ,将向位于中国台湾南部的台南科技工业园的电子用户供氮。该设备能生产 50 0 0 0m3 /h特高纯氮 ,40 0公吨 /天特高纯液氮和液氧。它将向园内几家主要半导体制造商供气 ,包括台湾半导体制造公司和联合微电子公司。空气制品公司通过台湾山富气体公司 (合资企业 )为台湾用户提供服务 ,至 2 0 0 2年7月 ,空气制品公司的股份拥有量达 70 %。空气制品公司 /山富气体公司的全部销售额中的 2 / 3来自电子市场。中国台湾的电子工业在世界上也小有名气 ,为该充满活力的电子…     

世界最大的特高纯制氮设备投产

美国空气制品公司投资 5 0 0 0万美元建造的世界最大的特高纯制氮设备现已投产 ,将向位于中国台湾南部的台南科技工业园的电子用户供氮。该设备能生产 5 0 0 0 0m3/h特高纯氮 ,4 0 0吨 /天特高纯液氮和液氧。它将向园内九家主要半导体制造商供气 ,包括台湾半导体制造公司和联合微电子公司。空气制品公司通过台湾山富气体公司 (合资企业 )为台湾用户提供服务 ,至 2 0 0 2年 7月 ,空气制品公司的股份拥有量达 70 %。空气制品公司 /山富气体公司的全部销售额中 2 / 3是来自电子市场。中国台湾的电子工业在世界上也小有名气 ,为该充满活力的电子…     

兆级超高纯气体

空气产品和化学制品公司已研制出两种气体新产品,从而扩大了对半导体制造厂家的技术服务范围,增强了它作为电子工业中一个完整系统的综合性供应厂商的地位。1988年春,两种新产品,即兆级超高纯液氧(LOX)和兆级超高纯液氩(LAR)将以工业规模供应。产品预计纯度为99.9999％或更高,将用特殊设计的纯化器在该公司的加利福尼亚州Santa Clara和纽约州     

超高纯氢的制备

综述了超高纯氢在超大规模集成电路制造和光导纤维制造中的应用，质量标准和数量需求情况，以及原料氢的来源，精制方法和纯化装置。     

超高纯乙烯的制备

综述了超高纯乙烯(C2H4)的制备工艺,提出了通过精馏加吸附的纯化方法,将含有氧(O2)、二氧化碳(CO2)、一氧化碳(CO)、乙烷(C2 H6)、乙炔(C2 H2)、氢气(H2)、甲烷(CH4)、碳三及以上等杂质的粗C2 H4提纯到99.9995％以上.利用Aspen Plus模拟软件分析,确定超高纯C2 H4制备的...     

用精氩塔制取高纯氮

为了满足电子工业及灯泡工业的需要,我厂1978年1月份对150米3/时空分设备附设的精氩塔(我厂自制)流程,进行了简单的     

超高纯气体纯度保持法

本发明论述的是有关使充装在钢瓶中的纯度为99．999％及其以上的超纯气体或液化气体，为使其纯度不降低而保存，以及在间断或连续使用时，保持其纯度不变的方法。     

超高纯气体管路系统

着重介绍室内超高纯气体管路系统为防止污染而采取的正确设计、安装及使用方法,对管道表面渗漏状况、粒子污染状况及其影响等作了详细的阐述。     

制氧和纯氮大型装置原理流程分析

近二十年内,空分装置单机最大加工空气量从20000米3/时增长至200000米3/时。促成空分技术如此高速度发展的原因,一方面是国民经济许多部门的使用氧、氮及稀有气体数量的增大,另一方面则是试制成功了比较新型的空分装置。     

超高纯氨杂质分析

论述了超高纯氨中痕量杂质分析方法     

在线式超高纯气体纯化器

在线式超高纯气体纯化器木村正城为研制兆位、千兆位级装置，近几年来，广泛进行了气体纯度和高集成度装置的性能研究。与此同时，还积极地进行了超高纯气供给技术的开发。其结果。确定了前所未有的超高纯气（气体中含有杂质浓度为１０－’、１０－‘’级）供给技术。超高...     

超高纯氯气的大规模产业化生产

超纯氯是半导体、光纤生产的重要原材料。近年来我国的半导体、光纤工业已从研究向产业化发展,作为重要电子气体的超纯氯将发挥重要的作用。为确保产品质量稳定、降低成本,对该产品进行产业化生产十分必要。     

微电子工业用超高纯丙烷的工业化生产

根据丙烷原料特点,采用吸附、催化加氢和精馏相结合的方法,研制出纯度≥99．995％的高纯丙烷,满足了微电子工业对高纯丙烷的质量要求。