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Al/Al2O3多层膜的表面分析与电性能的研究 总被引:2,自引:0,他引:2
用热蒸发沉积和自然氧化及加热法制备纳米量级的Al/Al2O3薄膜和多层膜。本用X射线光电子能谱(XPS)和紫外光电子能谱(UPS)对样品进行价带能谱的检测与分析。获得的Al/Al2O3多层膜价带的XPS光电子谱谱形基本相似;通过对Al/Al2O3三层膜在不同极角的UPS谱线的检测,得到其Ei-(Ki∥)关系曲线,此外,测定了低温的I-U特性,发现纳米量级的Al/Al2O3薄膜具有负阻特性。 相似文献
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Al/Al2O3多层膜的表面和界面的分析研究 总被引:1,自引:0,他引:1
用热蒸发沉积和自然氧化及加热法制备纳米量级的Al/Al2 O3薄膜和多层膜。用X射线光电子谱仪 (XPS)和透射电镜 (TEM)对样品进行检测。XPS实验说明自然氧化的Al2 O3膜层厚在 2~ 5nm。Al/Al2 O3薄膜及多层膜的O与Al的原子浓度比为 1 4 3~ 1 85。Ar离子刻蚀的XPS实验结果 (刻蚀速率为 0 0 9nm/s)说明 :2个对层的Al/Al2 O3多层膜截面样品具有周期性结构。TEM观察到了 5个对层的Al/Al2 O3多层膜的层状态结构 ,其周期为 4nm。由此说明 ,热蒸发及自然氧化法是制备纳米量级的Al/Al2 O3多层膜的有效方法 相似文献
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Al/Al2O3多层膜的表面和界面的分析研究 总被引:4,自引:1,他引:3
《真空科学与技术学报》2002,22(1):73-76
用热蒸发沉积和自然氧化及加热法制备纳米量级的Al/Al2O3薄膜和多层膜.用X射线光电子谱仪(XPS)和透射电镜(TEM)对样品进行检测.XPS实验说明自然氧化的Al2O3膜层厚在2~5
nm.Al/Al2O3薄膜及多层膜的O与Al的原子浓度比为1.43~1.85.Ar离子刻蚀的XPS实验结果(刻蚀速率为0.09
nm/s)说明2个对层的Al/Al2O3多层膜截面样品具有周期性结构.TEM观察到了5个对层的Al/Al2O3多层膜的层状态结构,其周期为4
nm.由此说明,热蒸发及自然氧化法是制备纳米量级的Al/Al2O3多层膜的有效方法. 相似文献
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Al/Al2O3多层膜的表面和界面的分析研究 总被引:5,自引:1,他引:4
用热蒸发沉积和自然氧化及加热法制备纳米量级的Al/Al2O3薄膜和多层膜。用X射线光电子谱仪(XPS)和透射电镜(TEM)对样品进行检测。XPS实验说明自然氧化的Al2O3膜层厚在2-5nm。Al/Al2O3薄膜及多层膜的O与Al的原子浓度比为1.43-1.85。Ar离子刻蚀的XPS实验结果(刻蚀速率为0.09nm/s)说明:2个对层的Al/Al2O3多层膜截面样品具有周期性结构。TEM观察到了5个对层的Al/Al2O3多层膜的层状态结构,其周期为4nm。由此说明,热蒸发及自然氧化法是制备纳米量级的Al/Al2O3多层膜的有效方法。 相似文献
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运用射频磁控溅射技术在Si(100)基片及40Cr钢基体上制备了调制周期λ=60 nm,调制比η=0.25~3的Al/Al2O3纳米多层膜.通过X射线衍射、X射线光电子能谱、扫描电镜、原子力显微镜、维氏显微硬度仪及MFT-4000多功能材料表面性能测试仪对多层膜的结构、硬度、膜基结合强度及摩擦性能进行了研究.结果表明:Al/Al2O3多层膜中Al层呈现(111)择优取向,Al2O3层以非晶形式存在,多层膜呈现良好的调制结构.薄膜与衬底之间的结合强度较高,均在40N左右,摩擦系数均低于衬底的摩擦系数,表明Al/Al2O3多层膜具有一定的减摩作用.η=0.25的Al/Al2O3多层膜具有最高的硬度值(16.1GPa),摩擦系数最低(0.21),耐磨性能最好. 相似文献
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Al/MoO3和Al/Fe2O3纳米含能薄膜制备与性能表征 总被引:1,自引:0,他引:1
使用自动控制磁控溅射仪制备纳米级Al/MoO3和Al/Fe2O3含能薄膜,使用扫描电镜(SEM)、原子力显微镜(AFM)对其形貌进行分析,使用X射线衍射(XRD)、X射线光电子能谱(XPS)分析薄膜组分,利用差示扫描量热(DSC)进行热力学分析。分析显示,含能薄膜结构完整,层状结构清晰;Al/MoO3纳米薄膜中MoO3有较大部分被还原为Mo2O5和MoO2,Al/Fe2O3纳米薄膜中Fe2O3有部分被还原为FeO,含能薄膜中Al有少部分被氧化为非晶结构的Al2O3。含能薄膜放热峰起始温度较低,活化能较小,反应活性较高,放热量较大,分别为3198和1680J/g。 相似文献
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将α型纳米Al2O3加入到磷化液中,选择合适的分散剂,在一定的温度范围内进行磷化,通过共沉积使纳米材料包裹在磷化膜层中,以达到改善磷化膜质量、提高膜层性能的目的.研究了磷化温度、时间、分散剂和纳米用量及酸度调节剂Na2CO3 对反应的影响,通过正交试验得出最优磷化工艺参数为:18.0 g/L ZnO,1.0 g/L Ni(NO3)2,16 mL/L HNO3, 3.0 g/L Ca(NO3)2,28.5 mL/L H3PO4,5.0 g/L Mn(H2PO4)2,2.0~5.0 g/L 柠檬酸,1.0~5.0 g/L 酒石酸,3.0~5.0 g/L 复合促进剂,11.0 g/L Na2CO3,4.0 g/L α型纳米Al2O3 ,分散剂A 2.5 g/L,磷化温度80 ℃,磷化时间12 min.经X射线、扫描电镜、电子探针等测试分析发现,加入的α型纳米Al2O3在磷化膜层中基本均匀分布.用细纱纸摩擦法测试磷化膜的耐磨性,发现加入α型纳米Al2O3的磷化膜耐磨性明显增强. 相似文献
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低价硫化铝法从氧化铝直接炭还原制铝的动力学研究 总被引:3,自引:0,他引:3
低价硫化铝法从氧化铝直接炭还原制铝的动力学过程极为复杂,过程的前期受界面化学反应控制,过程后期受扩散过程控制,并求得不同时期的活化能,反应前期:E1=63.81 kJ/mol(6.67 Pa)、E2=50.82 kJ/mol(66.7 Pa)、E3=54.72 kJ/mol(666.7 Pa)、E4=39.61 kJ/mol(1333 Pa);反应后期:E*1=112.90 kJ/mol(6.67 Pa)、E*2=89.92 kJ/mol(66.7 Pa)、E*3=97.32 kJ/mol(666.7 Pa)、E*4=51.83 kJ/mol(1333 Pa).从动力学的角度提出了反应的较佳条件.温度、真空度的提高一方面可增大反应速率,但另一方面却加大了硫化铝的挥发,仅从增大速率而言,温度应大于1100 ℃,真空度应优于1333 Pa为宜. 相似文献
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回顾了国内外在定向金属氧化法制备Al/Al2O3陶瓷基复合材料方面的研究成果,详细讨论了合金成分、外敷剂、温度和气氛以及预形体对其反应机理和显微结构的影响,指出了今后定向金属氧化法制备Al/Al2O3陶瓷材料的研究重点和发展方向. 相似文献
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SiC-Al界面Al_4C_3的生成及其控制 总被引:2,自引:0,他引:2
系统研究了在Al中添加Si对控制SiC-Al之间生成Al4C3的化学反应的作用和对SiC-Al系统化学反应动力学的影响,以及温度对化学反应程度的影响,探讨了Al4C3生成的机理。研究表明,添加Si于Al中使SiC和Al之间生成Al4C3的化学反应得到有效的控制并明显影响化学反应的速度;SiC-Al系统化学反应的程度随温度升高而增大;Al4C3的生成通过两个步骤进行,即SiC溶解于熔融金属Al中,然后和Al发生化学反应。研究结果为用熔融金属加工技术合成无Al4C3生成的SiC/Al复合材料提供了可靠的途径。 相似文献
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Al_2O_3/Al复合材料型内处理成型工艺研究 总被引:4,自引:0,他引:4
论述了Al2O3(p)/Al复合材料型内处理成型工艺,并讨论了影响复合区域凝固过程的有关因素,指出了控制复合区域内Al2O3粒子的分布的途径。 相似文献