气体中微量水份的测定一露点法和氧化铝电容法

在半导体材料及电子器件生产中，要用到诸如氢、氮、氧、氩和氦等高纯气体，气体纯度严重影响产品质量。如氢，氮等气体及其流经的系统中的水份和氧，对硅及Ⅲ一V族化合物是极其有害的杂质。在硅外延工艺中，氢中水份达100vpm时，硅外延层会变成多晶结构。在MOS大规模集成电路的硅栅多晶薄膜工艺中，若稀释气体中含有微量水份，使多晶硅薄膜中夹有“氧化硅集团”，从而在刻蚀多晶硅薄膜时，造成多晶硅脱落，致使电学性能变坏。由上可知，对高纯气体及其流经系统中的微量氧和水份必须进行监测和控制。     

国标“气体中微量水份的测定”电解法与露点法已颁布

<正>当前,高纯气体应用日趋广泛。如半导体器件、集成电路生产,所用气体的纯度和各种杂质含量直接影响电子产品的质量和成品率。而在各种杂质中,水份是一种主要     

微量水份的测定

主要阐述用卡尔.费休法测量水份的原理和方法,以及和经典的测量水份的方法的比较。     

国外气体中微量水份的分析指标

gM 国 别 标 准 号待 测 气 体 水蒸汽含量·备注方 法—““”‘””“-“—”『’-“、”—。·。一+—一质量法I 日 本7 HSKll07一78 R#纯氮5 0.01—0,015mg八 I 仲颈法8nSKll05—78 焊接用氦DO.02mg八1 仲裁法1& 国D FS-BB-N-4llC—73 气态和液态a!0.02mg/I11 FS-BB-H-1168a—68 气态氦 10PPm 仲裁法lie 克CSN 65 4405 压 缩氧!一35t B。匕解法 苏 联厂OCT 9293一ND 气态和液态氮10.005一0.007一八D 仲裁法roCT10219—77 B fol 气 D 0.005—0.0769/m‘S 仲裁法厂OCT 1028—77 D t和氟氖混合气D 0.005—0.076…     

真空露点法测量易凝结气体中微量水份研究

易凝结气体因常压下沸点经常高于所含水份露点,因而无法直接采用露点仪测量其微量水含量。在克拉贝龙方程基础上,根据水和其它物质的热物性,推导出水在冰面上的饱和蒸汽压的对数值随温度的变化率要比同温度下其它易凝结气态物质的相应值大得多。由此性质提出了采用露点仪测量易凝结气体中微量水份的方法——真空露点法,通过对测量装置的误差分析,验证了所提的方法的可行性。     

连续测定气体中超微量水份的水晶振荡式水份计

日本岛津制作所已完成两种首次生产的水晶振荡式水份计(低浓度用MAH-2型，高浓度MAH-50型)，且巳开始销售。该水份计能连续测定半导体生产线等使用的高纯气体中的超微量水份。     

气体分析—天然气中水露点的测定—冷表面冷凝湿度计

前言国际标准化组织(ISO)是各国标准化协会(ISO成员)的世界性联合组织。制定国际标准的工作是通过ISO各技术委员会进行的。对于已建立了技术委员会的某课题感兴趣的各成员国有权参加该技术委员会。国际组织、政府组织或非政府组织,同ISO进行联系,也可参与此项工作。被技术委员会接受的国际标准草案,在被国际标准化组织会议采纳作为国际标准之前,     

露点法微量水分测量仪校准方法研究

<正>目前冷镜式露点仪和阻容法露点仪的国家规范和国家标准均是要求读取露点值,通过露点值按“水分露点-体积分数对照表”计算微量水分的体积分数。但随着科技的发展,目前大部分露点仪可以同时显示露点值和体积分数。但在实际工作中发现,实际读取的体积分数与通过露点值计算的体积分数存在偏差,且很多仪器使用人员希望能直接读取微量水分的体积分数。     

电子工业用气体三氯化硼中微量氯的比色法测定

介绍了化学比色法测定三氯化硼中微量氯的过程及消除基体干扰的方法。     

露点法测定电子级气体中痕量水

在高技术或超大规模集成电路的开发中,对电子级气体中痕量水含量的要求不断提高。从表1说明了这种趋势。     

VAISALA电容式湿度传感器测定二氧化碳气体中微量水分的研究

以自制标准水发生器发生的湿气为测试样品,利用不同的测试样品对两种不同型号的VAISALA电容式湿度传感器进行大量实验。结果表明:正常环境条件下,两种传感器稳定性良好,其输出信号的响应值与水分含量(露点)在特定区间内呈一定的线性关系;VAISALA DRYCAP DMT 152与242两种类型传感器可以分别对露点-80℃和露点-67℃的水分含量给出稳定准确的响应值,前者的检测限要低于后者且适合露点低于-60℃的二氧化碳产品气的测量;使用VAISALA DRYCAP传感器可以满足二氧化碳中微量水分的测定,但需要水标准气体对其进行定期校准。     

微量氧和微量水测定中一些问题的讨论

本文提出了高纯气体中微氧，微量水测定中遇到的渗漏，吸附，仪器精度及标定等问题进行讨论，并介绍了实测的经验和数据供大家讨论和参考。     

高纯气体中微量杂质分析方法

主要概述了高纯气体中微量水、微量氧、碳氧化物和碳氢化合物含量的测试方法、原理、分析注意事项,并就当前化验工作现状,归纳出了微量杂质分析存在的不足以及今后的发展重点。     

气体中微量水分析方法概述

概述了各种测定气体中微量水的分析方法：光腔衰荡光谱法、电解法、露点法、卡尔费休库仑法、重量法及碳化钙法的测定原理及其优缺点;并详细列举和归纳了不同种类气体产品测定水分含量所采用的方法,为企业和质监部门监控气体产品质量提供了可参考的技术信息。     

微量气体检测及浓度测定的光谱新方法

本文在传统的拉曼光谱测量系统的基础上,提出了用光学放大器代替传统光谱仪中的光电倍增管等光电放大器,给出了这种替换的优点既起到了放大器的作用又具有单色仪的作用.讨论这种以光纤为载体的光放大器的理论机制,并给出了进行微量气体检测及其浓度测定系统的整体设计,从增益和带宽上分析了可行性.     

气体分析——天然气中水露点的测定——冷表面冷凝湿度计

国际标准化组织(ISO)是各国标准化协会(ISO成员)的世界性联合组织。制定国际标准的工作是通过ISO各技术委员会进行的。对于已建立了技术委员会的某课题感兴趣的各成员国有权参加该技术委员会。国际组织、政府组织或非政府组织，同ISO进行联系，也可参与此项工作。     

P5100系列氦离子色谱仪测定高纯气体中微量永久性气体杂质的应用

介绍了P5100系列氦离子色谱仪测定高纯气体中微量永久性气体杂质的应用。P5100系列氦离子色谱仪采用三阀三柱设计,通过阀切换和选择性切割技术可一次进样同时分析H_2、O_2/Ar、N_2、CH4、CO、CO_2等永久性气体。同时可实现对上述种类气体的高纯气体中微量永久性杂质的有效分析。CO_2、H_2、O_2/Ar、N_2、CH_4、CO的最低检出限(×10~(-6))分别为0. 0291、0. 0183、0. 0192、0. 0187、0. 0195、0. 0273,满足高纯气体中微量杂质的分析要求。     

WSC-2型微量水份仪的时间常数

首先叙述时间常数的一般概念和低露点下测试时间常数的困难。介绍了在低露点下测定有关仪器在时间常数方面进行比较的装量与方法,并给出比较的结果。     

气体中微量氧分析测试方法综述

概述了气体中各种微量氧分析测试方法的原理、适用场合及分析注意事项,并列举了工业产品生产许可证中气体产品相关检测标准规定的分析方法及检测限要求,为气体生产及气体分析工作者提供了技术参考。