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树脂金刚石砂轮应用于IC硅片的背面减薄磨削(背磨),工件磨削后能达到纳米级粗糙度、微米级损伤层厚度和微米级面型精度,因此对使用的砂轮性能要求很高。文章介绍了金刚石砂轮背磨技术的原理、特点,对硅片超精密背磨砂轮进行了实验研究。研制了专用的树脂结合剂,通过优化结合剂配方,使结合剂磨损速度与金刚石脱落速度达到匹配。研制的2000#金刚石砂轮经过硅片背磨试验证明,材料去除率达到10.236 mm3/s,表面粗糙度值Ra为5.122nm,损伤层厚度为2.5μm;与国外同类砂轮相比,材料去除率提高53%,硅片磨削后的表面粗糙度值接近。 相似文献
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为了解决微粒金刚石砂轮在超精密磨削中的各种问题,探讨了开发具有导电性金刚石刃口的金刚石砂轮的可能性。着眼于导电性金刚石原材料的新型金刚石砂轮可望(1)利用电火花加工进行精密而且简便的成形;(2)实现高浓度化;(3)兼有足够的气孔和微细刃口;(4)利用低比电阻非接触检测刃口;(5)由于高的热稳定温度而适用于磨削铁系材料。经过探讨可考虑的各种金刚石砂轮及其生产方法,新型导电性金刚石砂轮可分为(a)无结合剂导电性金刚石砂轮和(b)有结合剂导电性金刚石砂轮两种。经过尝试利用电火花加工在导电性cVD金刚石薄膜表面创建砂轮的刃口,发现可根据放电条件创建凹凸不同的刃口。利用贴有创建了微细刃口的金刚石片的研磨砂轮在恒压紧力条件下研磨硬质合金,其镜面粗糙度可达Ry=0.110μm、Ra=0.008μm。另外,作为微细磨削加工用砂轮,制作了V形砂轮和带轴砂轮,可对硬质合金进行V形槽磨削,且砂轮几乎不会发生磨损。 相似文献
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采用电火花沉积法制备了金属结合剂金刚石砂轮。利用扫描电镜表征了沉积砂轮的显微结构和沉积层与金属基体的结合界面,考察了不同进刀量下电火花沉积的金刚石砂轮的磨削性能。结果发现,使用电火花沉积工艺可以制备出金属结合剂金刚石砂轮,沉积层与金属基体结合牢固,但沉积层中存在大量气孔;用电火花沉积工艺制备的金刚石砂轮,在进刀量为5μm/s时,其对硬质合金的磨耗比为37.2;工件表面粗糙度Ra为0.36μm,电镀砂轮加工工件的表面粗糙度Ra却为0.67μm。 相似文献
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平面磨削金属结合剂金刚石节块的实验研究 总被引:1,自引:0,他引:1
本文研究了一种铁基结合剂金刚石节块的氧化铝砂轮平面磨削。通过在线测量水平和垂直方向磨削力,研究了氧化铝砂轮平面磨削加工金刚石节块过程中的法向力、切向力、力比以及磨削比能变化特征。观察了磨削后的金刚石节块表面特征。比较了逆磨和顺磨条件下的磨削特征。结果表明,顺磨条件下的法向力、切向力以及磨削比能均高于逆磨,但是切向力与法向力的比值在两种磨削方式下基本相同。 相似文献
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试验选用常用的助磨剂A(丙三醇)、B、D三种不同的助磨剂,从水泥的45 μm筛筛余、比表面积、均匀性系数n、标准稠度用水量4个指标分别来评价三种助磨剂的助磨效果。结果表明,助磨剂的助磨效果可以通过水泥的45 μm筛筛余、比表面积、均匀性系数n进行表征,而用标准稠度用水量来评定效果不理想。 相似文献
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试验选用常用的助磨剂A(丙三醇)、B、D三种不同的助磨剂,从水泥的45μm筛筛余、比表面积、均匀性系数n、标准稠度用水量4个指标分别来评价三种助磨剂的助磨效果。结果表明,助磨剂的助磨效果可以通过水泥的45μm筛筛余、比表面积、均匀性系数n进行表征,而用标准稠度用水量来评定效果不理想。 相似文献
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1995年月第一台粉磨粒状高炉矿渣的LM35.2+2S型莱歇磨在法国南部Marseille的FossuMer水泥厂投入使用。这座隶属Lafarge集团的水泥厂正好靠近一个提供粒状高炉矿渣的当地高炉厂。这台LM35磨机具有粉磨熟料和矿渣的莱歇2+2技术,粉磨比表面积为350~450m2/kg的粒状高炉矿渣。磨机自投入使用一直连续运行,目前已生产出200多万吨高炉矿渣。第一台具备2+2技术的莱歇磨1994年12月在中国台湾投入运行。LM46.2+2磨机的最初设计只是粉磨熟料,但是到1995年幸福水泥厂开始用其粉磨高炉矿渣。目前它每年大约可粉磨50万t水泥和大约20~30万t矿渣,比表… 相似文献
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不同助磨剂对水泥粉磨效率的影响 总被引:3,自引:0,他引:3
提高水泥粉磨细度的主要技术措施为改造磨机结构和掺加助磨剂。前者在提高水泥细度的同时将导致磨机产量明显降低,而后者能有效提高磨机的粉磨效率并改善水泥的某些性能,但不同助磨剂对不同的水泥具有一定的适应性。作者选用四种助磨剂(代号分别为T,M,D,C)对掺加不同混合材的立窑和回转窑水泥进行了粉磨试验研究,以寻求各种助磨剂的使用规律和应用效果。实验结果表明:掺加T和M后对各种水泥的助磨效果均优于D;T和M复合而成的C具有良好的助磨效果,且成本低得多,具有重要的实际应用价值;掺加助磨剂可显著提高普通水泥和火山灰水泥的粉磨效率,但对矿渣水泥的助磨效果不明显;混合材种类及掺入量相同时,助磨剂对回转窑水泥的助磨效果优于立窑水泥。 相似文献
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将实验立磨用于水泥粉磨的半工业化实验探索,通过调整实验立磨的操作参数(磨机风量、选粉机转速、主电机转速、粉磨压力等),寻求实验立磨粉磨水泥的最佳工况;通过对产品的粒度分析,寻找产品细度细、比表面积小的原因;根据寻找出的原因提出了对实验立磨的改进。 相似文献
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枣庄中联水泥有限公司一线水泥磨由两台Φ4.0 m×13 m管磨组成,没有辊压机,是单闭路水泥操作系统,在长时间运行过程中,受研磨球体损坏因素影响,磨内内环篦板篦缝容易堵塞,造成磨内通风不畅,成品通过性和流动性差,影响磨机台时产量及电耗,且易出现过粉磨现象,造成磨机频繁停机。为不影响生产,需要人员频繁进磨对内环篦板篦缝进行清理,增加了工人劳动量,不利于提高劳动效率。且磨内通风差,空气流量小,存在安全隐患。 相似文献
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由于生料烘干磨的热源来自预热器的废气,因此预热器和生料磨共用一套废气收尘,从而构成辊磨(立磨)粉磨系统。这个系统必须既能满足三个部分联合运行,又要适应停生料磨后的正常运行,同时该系统投资要低,运行费用要省。所以认真对辊磨系统进行分析,力求寻找适合具体情况的系统甚为重要。 相似文献