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微型机械的摩擦学特性及其表面润滑技术的研究 总被引:5,自引:0,他引:5
综述了微型机械的摩擦学特性,阐述了微型机械中摩擦学问题研究的重要性,分析了影响微摩擦力的关键因素。基于目前国内外对微型机械表面润滑问题的研究现状,探讨了LB膜、自组装膜和分子沉积膜各自的特点及其在微型机械表面润滑领域的应用进展,对它们性能的优缺点进行了比较,并提出降低微型机械的表面能是减轻微摩擦磨损的有效措施。 相似文献
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探讨利用硅表面微细加工工艺制造微型机械的方法,制作了微涡轮,微传动齿轮,微螺旋弹簧和微凸轮传动机构等微机械结构,实现了齿轮的啮合传动,微弹簧扭转及微凸轮传动机构的运动。对多晶硅材料的机械物理性能,微机械系统动力学特性进行了测试分析。 相似文献
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纳米硬度计研究多晶硅微悬臂梁的弹性模量 总被引:6,自引:1,他引:6
利用纳米硬度计通过微悬臂梁的弯曲试验来测量其力学特性是一种简便而有效的方法,具有很高的载荷分辨率,可精确测量微悬臂梁纳米级弯曲形变。运用该方法在研究微悬臂梁的弯曲形变过程中,必须考虑压头在微悬臂梁上的压入以及微悬臂沿宽度方向的挠曲。微悬臂梁采用普通的集成电路工艺(IC)制造。试验研究表明,多晶硅微悬臂梁的纯挠曲与载荷成很好的线性关系,呈现弹性变形,通过该线性关系可计算得到梁的弹性模量。测得的多晶硅微悬臂梁的弹性模量为156±(2.9%-6.3%)GPa。 相似文献
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本文提出了表面粗糙度挤压膜效应的分析方法,分析了表面粗糙度及其纹向对一维平行挤压膜的影响。表面粗糙度增大使浮起量沉降速度加快,流体膜的保持性降低,并使膜厚比迅速减小,固体接触载荷比迅速增加。表面粗糙度纹向参数γ越大,这种效应也越大。纵纹粗糙度比横纹粗糙度使浮起量沉降得更快。 相似文献
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大气环境下多晶硅薄膜的疲劳性能 总被引:1,自引:0,他引:1
为评估多晶硅薄膜材料的加载可靠性,发展一种新型多晶硅薄膜疲劳性能测试实验系统,利用片外测试方法研究多晶硅薄膜在大气环境下的拉伸疲劳特性.实验试件采用MEMS(micro-electro-mechanical systems)工艺制造,具有相同的长度、厚度和不同的宽度.每个加载条件下重复10次实验,应用Weibull方法对疲劳实验数据进行处理,得到0.35 GPa~0.70 GPa应力幅值范围内5个应力水平下多晶硅薄膜拉伸疲劳的S-N曲线.研究表明,多晶硅薄膜的疲劳寿命随着交变载荷幅值的减小而增大,二者呈对数线性关系.该结果可以直接用于多晶硅薄膜材料MEMS器件的可靠性设计. 相似文献
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In spite of their environmental and human health problems, the cutting fluids still have been used widely in industry due to cutting fluid application can increase cutting performance in metal cutting. In this article, the effect of the cutting fluid on surface roughness in boring of AISI 1030 low carbon steel was investigated depending on BUE and chip formations and other cutting parameters, such as cutting speed, feed rate and tool nose radius. In most of boring experiments, the wet cutting did not show more preferable results than dry cutting. However, cutting fluid application with big nose radius and small feed rate improved the surface roughness up to 80%. This progress was attributed to a favorable chip formation as much as effective cooling. 相似文献
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SHEN Xuejin HOU Licheng 《机械工程学报(英文版)》2008,21(5):55-58
To improve the performance and reliability of microelectromechanical system's devices, it is necessary to understand the effect of friction which exists in the majority of microelectromechanical systems (MEMS) with a large ratio of surface area to their volume. The model of electrostatic tangential force of the shuttle in laterally driven comb microresonator is established based on the rule of energy conservation. The effects of microscale, surface roughness, applied voltage, and micro asperities or dents or holes formed in fabrication are investigated, and the electrostatic resistance between two charged moving plates is analyzed. The analytic results are coincident well with those of ANSYS simulation. It is found that the electrostatic resistance becomes high as the increase of the ratio of the shuttle width to the gap between moving plates and the relative surface roughness or the increment of the applied voltage. 相似文献
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灌封对高量程微机械加速度计封装的影响 总被引:3,自引:0,他引:3
灌封是高量程微机械加速度计实用化的一个关键步骤。文中根据自制的一种压阻式高量程micro-electro-mechanical system(MEMS)加速度计芯片及一种实用的封装结构,对其有限元模型进行模态分析和高g值加速度载荷下的响应分析。封装结构的模态频率随着灌封胶弹性模量的增大而增大。但弹性模量过小时,模态频率反而比未灌封时低,可能会干扰输出信号。对器件加载10万g加速度表明,器件的模拟输出电压值随着灌封胶弹性模量或密度的增加而缓慢减小。模拟输出电压值与解析解很接近。封装之后传感器的模拟输出电压与加速度载荷具有良好的线性关系。 相似文献