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相似文献
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1.
微型机械的摩擦学特性及其表面润滑技术的研究   总被引:5,自引:0,他引:5  
综述了微型机械的摩擦学特性,阐述了微型机械中摩擦学问题研究的重要性,分析了影响微摩擦力的关键因素。基于目前国内外对微型机械表面润滑问题的研究现状,探讨了LB膜、自组装膜和分子沉积膜各自的特点及其在微型机械表面润滑领域的应用进展,对它们性能的优缺点进行了比较,并提出降低微型机械的表面能是减轻微摩擦磨损的有效措施。  相似文献   

2.
多晶硅微电子机械构件材料强度尺寸效应研究   总被引:7,自引:3,他引:7  
为了解构件尺寸的微型化给材料的强度带来的影响 ,利用纳米硬度计通过微悬臂梁的弯曲试验法来测量多晶硅微构件弯曲强度 ,利用电磁驱动微拉伸装置测试了抗拉强度。试验研究表明 ,多晶硅微构件的弯曲强度和抗拉强度表现出随构件尺寸的减小而增加的尺寸效应。统计分析表明 ,多晶硅微构件的平均弯曲强度为 ( 2 .885± 0 .40 8)GPa ,其平均抗拉强度为 ( 1.36± 0 .14 )GPa。研究结果为微机械构件的可靠性设计提供依据  相似文献   

3.
探讨利用硅表面微细加工工艺制造微型机械的方法,制作了微涡轮,微传动齿轮,微螺旋弹簧和微凸轮传动机构等微机械结构,实现了齿轮的啮合传动,微弹簧扭转及微凸轮传动机构的运动。对多晶硅材料的机械物理性能,微机械系统动力学特性进行了测试分析。  相似文献   

4.
多晶硅微机械抗粘附结构参数设计   总被引:6,自引:1,他引:6  
讨论了在大气环境或有液体的环境下,表面张力对微加工悬臂梁结构粘附的影响,以及真空条件下Casimir量子力对微机械薄膜微腔结构的稳定性和粘附的影响。建立了Casimir量子力作用下粘附问题的实际粗糙模型理论。对不同表面力作用下的抗粘附结构研究结果表明,微悬臂梁和薄膜微腔结构的稳定性和粘附与材料的弹性特性,材料的表面特性、结构的长度、厚度以及构件与基本之间的间隙有关,而与结构的宽度无关。给出了抗粘附结构参数设计的对数坐标图。  相似文献   

5.
纳米硬度计研究多晶硅微悬臂梁的弹性模量   总被引:6,自引:1,他引:6  
利用纳米硬度计通过微悬臂梁的弯曲试验来测量其力学特性是一种简便而有效的方法,具有很高的载荷分辨率,可精确测量微悬臂梁纳米级弯曲形变。运用该方法在研究微悬臂梁的弯曲形变过程中,必须考虑压头在微悬臂梁上的压入以及微悬臂沿宽度方向的挠曲。微悬臂梁采用普通的集成电路工艺(IC)制造。试验研究表明,多晶硅微悬臂梁的纯挠曲与载荷成很好的线性关系,呈现弹性变形,通过该线性关系可计算得到梁的弹性模量。测得的多晶硅微悬臂梁的弹性模量为156±(2.9%-6.3%)GPa。  相似文献   

6.
微机械构件组装技术研究   总被引:2,自引:2,他引:2  
从取放微机械构件的方式,对观察系统的要求等方面对微机械构件组装技术进行了研究,并用所设计的组装装置进行了组装实验,得到了满意的结果。  相似文献   

7.
硅表面工艺是微型机械制造的重要工艺,而多晶硅是表面工艺中最常用的主要材料,它的力学特性直接关系到微型电子机械系统的可靠性和使用寿命,因此对其破坏特性的研究是非常有必要的。本文在概述了国外对体硅工艺和表面工艺制作的构件材料破坏特性研究情况的基础上,提出了利用旋转台对表面工艺制作的多晶硅微梁进行拉伸破坏实验的方法,并在制作的测量系统上进行了实验,得出多晶硅微梁的拉伸破坏强度大于2.0GPa。  相似文献   

8.
9.
本文提出了表面粗糙度挤压膜效应的分析方法,分析了表面粗糙度及其纹向对一维平行挤压膜的影响。表面粗糙度增大使浮起量沉降速度加快,流体膜的保持性降低,并使膜厚比迅速减小,固体接触载荷比迅速增加。表面粗糙度纹向参数γ越大,这种效应也越大。纵纹粗糙度比横纹粗糙度使浮起量沉降得更快。  相似文献   

10.
微制造的生物途径   总被引:1,自引:0,他引:1  
介绍与论述了微制造工艺的发展方向和微制造的一种新途径-根据分子生物学原则,设计和合成或通过分子克隆制备生物聚合物,借助分子自组装实现微型机械或微系统的制造。  相似文献   

11.
大气环境下多晶硅薄膜的疲劳性能   总被引:1,自引:0,他引:1  
为评估多晶硅薄膜材料的加载可靠性,发展一种新型多晶硅薄膜疲劳性能测试实验系统,利用片外测试方法研究多晶硅薄膜在大气环境下的拉伸疲劳特性.实验试件采用MEMS(micro-electro-mechanical systems)工艺制造,具有相同的长度、厚度和不同的宽度.每个加载条件下重复10次实验,应用Weibull方法对疲劳实验数据进行处理,得到0.35 GPa~0.70 GPa应力幅值范围内5个应力水平下多晶硅薄膜拉伸疲劳的S-N曲线.研究表明,多晶硅薄膜的疲劳寿命随着交变载荷幅值的减小而增大,二者呈对数线性关系.该结果可以直接用于多晶硅薄膜材料MEMS器件的可靠性设计.  相似文献   

12.
微晶玻璃低温抛光表面微观形貌的研究   总被引:9,自引:0,他引:9  
揭示了微晶玻璃的内部微观结构、其组成成分的结晶相和玻璃相、晶粒尺寸的测定,重点分析了超精密低温抛光后微晶玻璃的表面形貌和表现出来的微观表面缺陷。  相似文献   

13.
In spite of their environmental and human health problems, the cutting fluids still have been used widely in industry due to cutting fluid application can increase cutting performance in metal cutting. In this article, the effect of the cutting fluid on surface roughness in boring of AISI 1030 low carbon steel was investigated depending on BUE and chip formations and other cutting parameters, such as cutting speed, feed rate and tool nose radius. In most of boring experiments, the wet cutting did not show more preferable results than dry cutting. However, cutting fluid application with big nose radius and small feed rate improved the surface roughness up to 80%. This progress was attributed to a favorable chip formation as much as effective cooling.  相似文献   

14.
To improve the performance and reliability of microelectromechanical system's devices, it is necessary to understand the effect of friction which exists in the majority of microelectromechanical systems (MEMS) with a large ratio of surface area to their volume. The model of electrostatic tangential force of the shuttle in laterally driven comb microresonator is established based on the rule of energy conservation. The effects of microscale, surface roughness, applied voltage, and micro asperities or dents or holes formed in fabrication are investigated, and the electrostatic resistance between two charged moving plates is analyzed. The analytic results are coincident well with those of ANSYS simulation. It is found that the electrostatic resistance becomes high as the increase of the ratio of the shuttle width to the gap between moving plates and the relative surface roughness or the increment of the applied voltage.  相似文献   

15.
表面粗糙度对磁头磁盘系统静特性的影响   总被引:4,自引:3,他引:4  
在Reynolds方程中引入了压力流因子和剪流因子,考虑粗糙度对超薄气体膜润滑的影响。雷诺方程中综合考虑了气体的可压缩性、稀薄效应以及表面粗糙度等因素,讨论了飞浮高度在25~50 nm之间的高密磁盘系统在磁头磁盘都粗糙、磁头粗糙和磁盘粗糙三种情况下的承载能力及系统压强中心的变化。结果表明,粗糙度对高密磁盘系统承载能力的影响很大,粗糙度相同时,磁头粗糙的系统承载能力最好;不同粗糙度模式时,压强中心变化不大。  相似文献   

16.
密封系统性能的表面粗糙效应试验研究   总被引:4,自引:0,他引:4  
分析了密封系统中硬对偶件表面粗糙特性对密封系统工作性能的影响,揭示了在相对运动密封零件表面间摩擦学过程中出现的微观曲路密封效应和微观跑合效应,为通过控制密封系统中硬对偶件表面加工工艺以形成优秀的表面形貌,来提高密封系统的工作性能提供了新的思路和概念。  相似文献   

17.
用于微系统驱动的形状记忆合金弹簧特性实验研究   总被引:2,自引:0,他引:2  
研究了形状记忆合金(SMA)用作微机械电子系统执行元件时的几个问题。在实验的基础上建立了实用化的SMA热机转换模型。分析了影响其动作频率的主要因素并提出了改善频率特性的措施。利用几何敏感度的概念,对SMA驱动性能受尺寸微型化的影响进行了探讨。  相似文献   

18.
灌封对高量程微机械加速度计封装的影响   总被引:3,自引:0,他引:3  
蒋玉齐  杜茂华  罗乐 《机械强度》2004,26(2):149-153
灌封是高量程微机械加速度计实用化的一个关键步骤。文中根据自制的一种压阻式高量程micro-electro-mechanical system(MEMS)加速度计芯片及一种实用的封装结构,对其有限元模型进行模态分析和高g值加速度载荷下的响应分析。封装结构的模态频率随着灌封胶弹性模量的增大而增大。但弹性模量过小时,模态频率反而比未灌封时低,可能会干扰输出信号。对器件加载10万g加速度表明,器件的模拟输出电压值随着灌封胶弹性模量或密度的增加而缓慢减小。模拟输出电压值与解析解很接近。封装之后传感器的模拟输出电压与加速度载荷具有良好的线性关系。  相似文献   

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