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双E形结构硅压力传感器的研制 总被引:2,自引:1,他引:2
介绍利用硅的各向异性腐蚀工艺腐蚀出的一种双E形结构非整体结构弹性膜硅芯片及用此芯片封装成的压力敏感元件。借助于这种硅芯片与不同厚度的封孔膜结合 ,制成了灵敏度和量程范围各不相同的性能优良的压力传感器 相似文献
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带质量块硅悬臂梁加速度传感器的特殊工艺 总被引:2,自引:0,他引:2
对带质量块的悬臂梁加速度传感器的特殊工艺:硅梁及形状控制的各向异性腐蚀,梁厚的精确控制、双面光刻、有孔硅片匀胶等技术进行了研究,为批量生产克服了工艺障碍。 相似文献
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介绍了最新优化设计的双E型加速度传感器硅芯片结构和工艺的实现。通过控制不同敏感硅芯片弹性膜的厚度,即可制得不同量程的双E型敏感硅芯片和加速度传感器。 相似文献
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压阻式硅微型加速度传感器的研制 总被引:3,自引:0,他引:3
利用微加工技术制作了压阻式硅微型加速度传感器,对制作的加速度传感器样品进行了动态测试,单臂梁结构的加速度传感器的灵敏度为1μV/gn,双臂梁结构加速度传感器的灵敏度为1.6μV/gn,结果与理论设计值基本吻合。 相似文献
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硅双结型颜色传感器的研究 总被引:4,自引:0,他引:4
硅双结型色敏器件的短路电流比与入射光波长存在线性关系,双结型色敏器件与合理设计的信号处理电路组成的颜色传感器对单色光波长以及颜色差别有良好的分辨能力。 相似文献
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硅微加速度传感器过载能力的研究 总被引:2,自引:0,他引:2
过载能力是加速度传感器的重要参数之一,缺少过载能力是早期硅微机械-岛结构的加速度传感器未能实用的重要原因,本文采用微机械限位结构解决了梁-岛结构压阻式加速度传感器的抗过载能力,并对设计进行了优化,采用这种方法使量程在50gn以下的器件具备了1000gn以上的过载能力,达到了实用的要求,本文还对测量器件过载能力的落锤法所产生冲击加速度的规律和标定方法进行了研究,并建立了测试系统,对器件进行了冲击过载 相似文献
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P. Thibaud C. Beuret N. F. de Rooij M. Koudelka-Hep 《Sensors and actuators. B, Chemical》2000,70(1-3):51-56
This paper describes the realization of Pt-tip microelectrodes by using microfabrication technology. The total height of these microelectrodes is 47 μm, of which the upper 20 or 2 μm, respectively, are exposed Pt tips with a curvature of 0.5 μm. In order to verify the tip opening, an electrochemical plating of thin-film Pt was used. This improves the visualisation of the tips in an SEM and allows us to ascertain the absence of any residual layer. The manufacturing process was assessed by SEM imaging and, in the case of large Pt-tip electrodes, also by an electrochemical evaluation. 相似文献
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冲击硅微机械加速度传感器的封装与封装性能分析 总被引:1,自引:0,他引:1
给出了一种压阻式冲击硅微机械加速度传感器的器件封装结构并对其封装的性能进行了分析.加速度传感器的封装采用可伐合金做管壳,采用环氧粘合剂将芯片粘结在金属基板上,采用金丝连接芯片铝焊点和管脚,使用环氧灌封胶充填管壳内空余的区域,来缓冲芯片受到冲击时承受的冲击应力.用ANSYS软件对封装后的器件进行了模态分析.分析结果表明,封装后加速度传感器敏感结构--悬臂梁敏感方向上的模态频率与封装前基本相同,封装后器件管壳三个破坏方向上的模态频率足够大.因此,封装不影响加速度传感器的测试性能并有良好的抗冲击能力.用霍普金森杆对封装后器件进行了冲击破坏实验.实验结果表明,引线从芯片铝焊点处脱落是冲击破坏的主要形式. 相似文献
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硅微谐振式加速度计(MSRA)凭借其潜在的高精度特点成为微加速度传感器领域的重点研究方向之一.相位环路的控制精度直接决定了MSRA的测量精度.在对MSRA工作机理进行简要分析的基础上,着重研究了现实验室加速度计样机的相位控制环路,分析了其相位误差的来源,并在原有环路滤波器的基础上增加了一种带参考电压的PI校正控制环节.实验结果表明,增加PI校正环节后,组成的四阶二型锁相环路可以使差分频率输出与温度线性拟合的相关系数从0.96291提高至0.98863,在±20 g量程围内,非线性度从430 ppm降低至154 ppm,硅微谐振式加速度计的零偏稳定性在常温下达到8.64 μg. 相似文献