微机械技术的现状和发展

本文对微机械技术的起源、制造、应用和发展趋向，作概括介绍。     

微观条件下的材料表面摩擦学性能测试

针对微观条件下材料表面的摩擦学特性与宏观条件下材料表面的摩擦学特性具有很大差别而国内外在该方面研究较少的现状,提出了一种对微观条件下材料摩擦学性能测试的方法并研制出专用仪器———微摩擦测试仪。详细介绍了测试仪的工作原理,并利用该仪器对铝和铜的表面进行了测试。结果表明:利用该方法研制的测试仪精度高,系统性能稳定,符合微观条件下材料表面的测试要求。     

微机电系统的研究与应用

主要介绍了微机电系统的发展、设计与传统的加工工艺,并对MEMS的应用及发展前景作了简要概述。     

电磁继电器动作值及返回值的自动检测

根据国家及企业标准，研究了一种对ＤＬ／ＣＹ－２０Ｃ系列电流、电压电磁继电器的动作值、返回值、返回系数、动作值一致性、动作值极限误差等电气参数进行检测的微机自动检测方法，该方法可对１－１６台同种型号的继电器同时进行测试，具有测量速度快、自动化和蔼高、可靠性好、易开发等特点，使ＤＬ／ＣＹ－２０Ｃ系列电磁继电器大批量出厂时逐台精确检测成为可能。     

电磁继电器协同设计

说明了电磁继电器协同设计的必要性,描述了电磁继电器协同设计支持工具,包括基于Web的专家系统和特性分析,基于ANSYS的有限元分析系统和基于MDT的三维参数化设计系统、建立电磁继电器三维实体参数模型数据库的方法.     

微机电系统的研究及未来

本文综述微机电系统(MEMS)的研究背景、含义、意义、现状及应用前景,并提出我国发展MEMS研究的策略.     

微机电系统及其应用

概述了微机电系统（MEMS）的发展历史及基本技术原理,介绍了MEMS技术在航空航天、医药卫生、光学器件、微能源等方面的应用情况,并对其以后的发展作出展望.     

基于MEMS与Android智能手机融合的 室内个人导航算法

针对微机电系统(micro-electro mechanical system,MEMS)惯性器件在导航解算中存在较大的累积误差问题,提出了一种基于MEMS惯性器件与Android智能手机融合的室内个人导航算法.导航算法在捷联惯性导航算法的基础上,根据人行走时的运动特点,引入了零速度检测与修正算法来检测人行走过程中的静止状态,并对行人静止时刻的速度和位置信息进行校正,以降低累积误差.导航解算中由于陀螺仪漂移导致获得的行人运动方向角误差较大,故采用MEMS陀螺仪输出姿态信息与Android智能手机中的电子罗盘方向角融合的行人运动方向校正算法来获取行人运动方向,并结合滑动均值滤波算法来进一步校正行人的运动方向,提高导航精度.最后通过实验结果验证了导航累积误差修正算法的可行性和有效性.     

Shoe-mounted personal navigation system based on MEMS inertial technology

针对微机电系统(micro-electro mechanical system,MEMS)惯性器件在导航解算中存在较大的累积误差问题,提出了一种基于MEMS惯性器件与Android智能手机融合的室内个人导航算法. 导航算法在捷联惯性导航算法的基础上,根据人行走时的运动特点,引入了零速度检测与修正算法来检测人行走过程中的静止状态,并对行人静止时刻的速度和位置信息进行校正,以降低累积误差. 导航解算中由于陀螺仪漂移导致获得的行人运动方向角误差较大,故采用MEMS陀螺仪输出姿态信息与Android智能手机中的电子罗盘方向角融合的行人运动方向校正算法来获取行人运动方向,并结合滑动均值滤波算法来进一步校正行人的运动方向,提高导航精度. 最后通过实验结果验证了导航累积误差修正算法的可行性和有效性.

     

多自由度微陀螺结构参数对其动态性能影响分析

为了解决多自由度微机械陀螺结构设计中存在的参数耦合问题,提出了一种基于增益和带宽最优化的参数设定方法。为了从结构设计和参数限定的角度提高单轴微机械振动陀螺的性能指标,分析了多自由度单轴微机械振动陀螺的参数对于陀螺性能的影响。为了抑制低频环境噪声对于输出信号的影响,陀螺的驱动需要在高频率范围内进行操作。通过理论推演得到在高操作频率下陀螺结构设计中广泛存在于峰值间隔频率、操作频率、阻尼与陀螺性能之间相互制约的内在关系。结合其设计原则,设计出的微机械陀螺带宽为200 Hz、增益提高了5 dB,能满足绝大多数工程应用的要求。     

电磁式继电器电寿命试验系统的研究

针对继电器产品的可靠性检测和新型产品的设计,开发出了基于远程管理的继电器电寿命试验系统.系统采用了先进的工业PC机控制技术,结合多功能采集控制卡和能够嵌入汇编程序的面向对象的高级编程语言,实现了继电器电寿命现场单机试验和远程控制集中试验双模式管理.一方面为检测工程师提供了先进的检测设备和灵活的检测环境,另一方面借助远程管理模式可为继电器生产厂家节约了人力和物力资源.     

Application of Micro Electro Mechanical System (MEMS) Technology in Photoacoustic Imaging

Photoacoustic imaging (PAI) is a new biomedical imaging technology that provides a mixed contrast mechanism and excellent spatial resolution in biological tissues. It is a non-invasive technology that can provide in vivo anatomical and functional information. This technology has great application potential in microscopic imaging and endoscope system. In recent years, the development of micro electro mechanical system (MEMS) technology has promoted the improvement and miniaturization of the photoacoustic imaging system, as well as its preclinical and clinical applications. This paper introduces the research progress of MEMS technology in photoacoustic microscope systems and the miniaturization of photoacoustic endoscope ultrasonic transducers, and points out the shortcomings of existing technology and the direction of future development.     

微流体力学几个问题的探讨

微电子机械系统 (MEMS)的发展对流体力学的研究提出了许多新的课题 本文讨论了固体边界、表面张力等因素对微流体运动状态的影响 ,且微观尺度等级不同影响程度不同 这些讨论对微流体器件的设计优化和控制有积极意义     

微机控制系统中电磁阀和继电器干扰的抑制措施

根据在DCS安装及调试中出现的问题．总结了抑制电磁阀和继电器干扰的具体措施，实践表明，这些方法能有效地解决在设计及选型时未能充分考虑的电磁阀和继电器的干扰问题．     

表面微加工MEMS器件工艺模型可制造性评价

针对基于实体模型生成的微电机系统（MEMS）器件工艺层模型难以完全保证可制造性的问题，结合标准的表面微加工工艺，从可释放性、上下可结合性和腐蚀可制造性等方面分析了产生可制造问题的原因，并给出了可制造性评价方法．基于可制造性评价结果，进一步提出了一种生成改进建议的方法．实例分析表明，所提出的上艺层模型可制造性评价方法提高了MEMS器件的可制造性评价质量与效率，并使得设计人员能够更早地发现与更改设计中存在的可制造性问题．     

引信用微压阻式加速度传感器系统设计

所设计的微机械压阻式加速度传感器系统,能同时用于导弹引信的安全系统和发火控制系统;系统包括传感器、信号处理电路和自检测系统;以国内现有的加工水平为依据,通过优化设计得到传感器的结构参数,并对各项指标进行了仿真计算,在满足性能指标的前提下,保证器件良好的可加工性。