MOCVD系统的气体流量自动控制研究

研究了金属有机物化学气相沉积(MOCVD)系统中气体流量的自动控制方法。研究分析了基于质量流量控制器、可编程序控制器和触摸屏的自动控制系统气体流量自动控制方法。该方法提高了MOCVD系统的自动化控制水平,确保了工艺的重复性和稳定性,使得MOCVD系统气体流量控制水平有显著提高。     

基于工业以太网的MOCVD反应腔压力控制

介绍了一种新型MOCVD反应腔压力控制系统,采用MKS最新蝶阀T3BI,其内部集成了压力控制器,并且带有压力传感器接口。反应腔内目标压力由主控PC通过工业以太网ProfiNet发送到蝶阀,接下来压力控制子系统即可完成整个压力控制过程。     

一种平流层飞艇高度控制方法

现代平流层飞艇要求飞艇能够安全、平稳地抵达平流层目标高度。首先分析了平流层飞艇高度控制与压差控制的关系, 然后针对平流层飞艇的特点提出了一种前馈式高度控制的方法。仿真结果表明,前馈式高度控制器具有一定的局限性, 不能同时满足高度和压差的控制目标。为此,提出了压差控制器以及两种解决高度控制器与压差控制器融合问题的方案, 最后的仿真结果表明, 限制高度控制权限的方案能保证飞艇安全平稳地到达目标高度。     

带压力保护的PID流量控制器

工业生产中的流量控制一般采用通用的PID控制器,这种方式的缺点是在控制流量的同时无法控制压力。为了能在控制流量的同时保证压力在允许的范围内,设计了一款带压力保护的流量控制器。该控制器同时采集流量和压力信号,当压力在允许范围内时,进行正常的流量控制。而当压力超标时,降低流量,从而降低压力,以保护设备。详细阐述了控制器的接口电路,并给出了PID算法和控制策略。     

GaN-MOCVD设备反应室流场的CFD数值仿真

采用计算流体力学方法对生长半导体材料GaN的重要设备MOCVD(金属有机物化学气相沉积)反应室中的流场结构进行了三维数值仿真.数值模拟采用基于非交错网格系统的SIMPLE算法,用有限体积方法对控制方程进行离散,并采用改进的压力-速度耦合方法进行求解.数值仿真给出了具有复杂几何结构和运动方式的GaN-MOCVD反应室中的流场结构,研究了改变几何尺寸和运行参数对MOCVD反应室流场结构的影响,对正在试制开发中的MOCVD设备的几何结构的改进和运行参数的优化提出了指导性建议.     

GaN-MOCVD设备反应室流场的CFD数值仿真

采用计算流体力学方法对生长半导体材料GaN的重要设备MOCVD(金属有机物化学气相沉积)反应室中的流场结构进行了三维数值仿真.数值模拟采用基于非交错网格系统的SIMPLE算法,用有限体积方法对控制方程进行离散,并采用改进的压力-速度耦合方法进行求解.数值仿真给出了具有复杂几何结构和运动方式的GaN-MOCVD反应室中的流场结构,研究了改变几何尺寸和运行参数对MOCVD反应室流场结构的影响,对正在试制开发中的MOCVD设备的几何结构的改进和运行参数的优化提出了指导性建议.     

Modbus TCP通讯协议在高温MOCVD控制系统中的应用

介绍了四十八所自主研发的高温MOCVD设备及控制系统组成,并介绍了采用Modbus TCP协议实现旋转控制器与温控仪通讯的编程实例。     

用于GaN生长的生产型MOCVD设备控制系统设计

MOCVD法外延生长GaN基材料作为新世纪的核心技术之一受到全世界的高度重视。MOCVD技术涉及面广,控制对象复杂,且对控制对象的精度、重复性、可靠性要求较高。主要介绍了用于GaN基材料生长的生产型MOCVD(2″×6)设备控制系统的组成与特点。设备运行一年来的结果表明,该系统可靠性高、抗干扰性好、运行效果良好。     

LP—MOCVD生长InGaAlP外延层In组分控制的动力学分析

本文分析了低压转盘MOCVD生长室中气流的流动特征,首次提出了在高温（700℃左右）下生长InGaAlP外延层时,抑制In组分脱吸附的“动压力模型”,解释了托盘转速和生长压力等生长参数对In组分控制的影响。     

基于单片机的沼气设备通用控制器研究

本文提供一种结构简单、智能化程度高、安全性和可靠性好并且成本相对低廉的基于单片机的沼气设备通用控制器。此控制器不仅可以及时准确监测沼气浓度、压力、温度等指标,当指标值影响沼气的的产气量时,控制器对沼气设备进行相应的调节,及时控制沼气设备的整体运行,提高工作效率,降低运行成本。目前公开资料尚未见基于单片机的沼气设备通用控制器产品的出现。     

基于Visual C++的传感器稳定性测试系统设计与实现

本文基于传感器稳定性测试中存在的一些效率低等问题,开发并设计出一套Visual C++的系统.在计算机的主控器上指令编程IO数字量输出卡,完成对G5V-2继电器开关的控制切换.该系统具有网络通讯集成功能,通过TCP/IP协议,能在局域网内实时监视传感器稳定性测试,并且还能远程控制压力控制器以及调温箱,通过模拟工业现场特定环境中的压力以及温度条件等测试传感器的稳定性.     

微气压传感器测试系统的真空自动控制研究

针对微热板式微气压传感器的动、静态性能测试,建立了一套保持真空度稳定的控制系统。参考MATLAB的仿真结果,分别采用模糊控制与模糊PID控制算法设计出控制器,对传感器测试系统的真空度进行了实时控制研究,探讨并分析了真空度动态平衡的控制问题。结果显示,调整系统控制量的模糊PID控制稳态误差小、鲁棒性比较好,可以有效地对测试环境进行真空度调节和设置,能够解决传感器所需气压测试环境10~1000Pa的实时气压控制问题。     

微气压传感器测试系统的真空自动控制研究

针对微热板式微气压传感器的动、静态性能测试，建立了一套保持真空度稳定的控制系统。参考MATLAB的仿真结果，分别采用模糊控制与模糊PID控制算法设计出控制器，对传感器测试系统的真空度进行了实时控制研究，探讨并分析了真空度动态平衡的控制问题。结果显示，调整系统控制量的模糊PID控制稳态误差小、鲁棒性比较好，可以有效地对测试环境进行真空度调节和设置，能够解决传感器所需气压测试环境10-1000Pa的实时气压控制问题。     

基于C8051F020单片机的温度湿度气压采集系统

本设计是以C8051F020单片机作为控制器的温度、湿度、气压采集系统,主要元件有C8051F020单片机、温度湿度传感器（罗卓尼克HC2-S）、压力传感器MS5534C等。经过试验验证,该系统可实时的显示温度、湿度和气压数据,工作稳定可靠。     

用于红外气体检测的多通池温度、压强控制系统研制

为了实现CO₂气体同位素的高性能检测,研制了高精度、高稳定性的多通池温度、压强控制系统。采用柔性PCB作为加热片包覆圆柱形多通池。考虑到温度控制系统的加热速率,外层包覆保温棉作为隔热装置,使得整个温度控制系统能实现快速加热,且能够保持温度的长时间稳定。采用铂电阻PT1000温度传感器对多通池温度进行精确采集,主控制器通过PWM信号,调控柔性PCB加热膜的发热功率,从而实现温度的闭环控制。压强控制系统方面,采用压强传感器连接于多通池前、后端,检测多通池内部气压,主控制器通过PWM信号,调控多通池前、后端比例阀导通状态,从而实现压强的闭环控制。结果表明,温度控制范围为18.48~42 ℃,温度控制精度为±0.08 ℃。多通池压强为60 Torr(1 Torr ≈ 133.322 Pa)时,控制精度为±0.04 Torr。该系统为红外CO₂气体同位素的高性能检测提供可靠保障。     

基于Sedona平台的智能供水系统

介绍了一种建立在Sedona平台上的全自动恒压变频供水系统。设计是由Sedona控制器30P、变频器、压力传感器、 I/O 设备、触摸屏显示器等主要设备构成。本系统采用一种新的自动控制技术,通过变频器控制水泵转速,根据给水量、用水量来调节出水压力达到恒压。系统出现故障时仍能自动运行,保证不间断供水。实验测试表明,系统运行稳定,能快速、准确地的达到目标压力。     

光子晶体光纤压力传感器光源方案设计

文章推导出PCF压力传感器检测基本原理,设计出PCF压力传感器典型系统结构,分析了PCF压力传感器对光源的特殊性能要求,选择半导体激光器(LD)作为传感器系统光源。提出LD工作稳定性整体控制设计方案,采用路分析方法给出LD中噪声控制模块、功率控制模块、温度控制制模块和波长控制系统。在LD中通过噪声、功率和温度控制等能够有效保障LD工作稳定性,保障PCF压力传感器系统对压力测量的精确性。     

基于ARM技术的服装舒适性检测系统的设计

设计一种基于嵌入式ARM处理器的便携式服装压力、温湿度检测系统。系统采用ARM9处理器S3C2410A为主控芯片,利用FlexiForce压力传感器、DHT90温湿度传感器为分布式测试元件,以SD卡作为存储介质对采集的数据进行离线保存,并借助LabVIEW开发的仪器面板将测量结果保存并以直观的形式显示出来。测试实验结果表明服装舒适性检测系统测试准确,工作可靠,可以为服装舒适性的客观评定提供科学依据。     

Sensorintegration für Industrie-Robotersteuerungen

Robot applications applying external sensors can only be implemented with limitations using an industrial robot controller, or have to make use of a special controller. The presented activities of EMST aim at the development of an open and flexible robot control system suiting well for sensor applications. The main aspect of research is a sensor integration in an industrial control system being able to perform fast and complex interactions with robot movement.     

电涡流传感器燃气实时控制系统设计

燃气系统在工业、国防及人们日常生活中具有广泛应用.针对燃气系统的空烧现象,利用电涡流传感器和单片机设计了一种燃气节能控制器,以便在系统使用过程实现燃气的实时控制.它克服了目前燃气控制器使用不便,易损坏,使用寿命不长等缺点,具有极高的经济效益和社会效益.