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本文分析了涡轮分子泵和拖动分子泵抽气机理的不同物理图象,并论证了短叶片涡轮分子泵的抽气作用是这二种分子泵抽气机理同时作用的结果,从而,这种泵具有涡轮分子泵和拖动分子泵的共同优点。 相似文献
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分子泵的世纪回顾与展望 总被引:4,自引:4,他引:0
分子泵自1912年诞生以来,至今已快近一个世纪了,它在初期进展较缓慢,在1970年以前,分子泵的应用还仅限于核物理,电真空,表面科学等领域,但近20年来由于半导体产业的兴起和薄膜工业的发展,分子泵才被人们所重视,并得到了兴旺和发达,现代的分子泵已发展到实用和普及的阶段,本文回顾了分子泵分析近百年的发展历史,详细地介绍了分子泵在各个时期的发展状况,对初期的分子泵,涡轮分子泵,磁悬浮轴承和气体静压静轴式涡轮分子泵,复合式分子泵,低温型涡轮分子泵,新型牵引分子泵,陶瓷涡轮分子泵,轴反应生成物的涡轮分子泵和极高真空涡分子泵等做了重点的分析,最后指出分子泵的发展前景。 相似文献
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涡轮分子泵中存在着通过分子泵各级的泄漏现象,影响了分子泵实际的压缩比。如果在计算压缩比时不考虑这个影响,那么实际测得的压缩比大多远小于计算所得。对于从高压强级到低压强级的泄漏所产生的影响,本文作了一个理论估算。提出了一个简单模型亚计算泄漏引起的压缩比的降低。 相似文献
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储继国 《真空科学与技术学报》1996,(2)
介绍一种新颖拖动分子系,其抽速达到传统拖动分子泵的30倍左右,达到了涡轮分子泵的水平。该泵高压强(1~100Pa)性能明显优于涡轮分子泵。泵的结构则简单得多。 相似文献
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新型复合分子泵结构设计理论的研究 总被引:1,自引:1,他引:0
本文深入分析了现代复合分子泵结构特点及存在的主要问题。在结构设计理论中提出了保证涡轮筒式复合分子泵工作安全性和抽气特性的四种结构改进方法,对复合分子泵的国产化及应用推广具有重要意义。 相似文献
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本文根据分泵的发展过程,重点对分子泵在分子流和过渡流态下的理论计算方法进行了系统的评价和讨论。并对当前分子泵的理论研究提出了建议。 相似文献
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现代涡轮分子泵的技术现状与展望 总被引:1,自引:0,他引:1
本文介绍了涡轮分子泵的优点及普及的原因,讨论了泵轴承系统的改善,泵的工作寿命与可靠性的提高以及宽域型复合分子泵的开发,还给出了极高真空的获得方法和泵快速抽气的措施。 相似文献
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本文分析了涡轮分子泵内动叶片和定片间空隙所产生的影响,讨论了一个基于级间反流传导的简单模型。作者把单级的分析结果结合起来,用来评定多级泵的性能。计算结果表明间隙尺寸对抽速影响很小,而对压缩比的影响却是惊人的,尤其是对于高分子量的气体。最后,本文对不同间隙计算出来的压缩比和抽速与实验结果进行了比较。 相似文献
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分子泵电机是分子泵的关键部件之一,它的质量直接影响分子泵的质量。原分子泵电机效率低,能耗大,一直是围绕分子泵设计的重要问题。目前重新设计了一种高效、节能的分子泵电机、它不但克服了原电机的不足之处,而且大大的提高了各项性能指标。 相似文献
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本文分析了高速电机的损耗及效率,研究了分子泵的运行特性,从提高电机效率及满足分子泵的要求出发,讲座了电机的设计方法及工艺措施。 相似文献