微电机械系统商业化的现状和未来展望

20世纪70年代MEMS／MST技术开始进入人们的生活。它给新产品带来的希望和梦幻及其应用使人们的生活发生了革命性变化，许多将这种技术的商业化视为发展目标的新公司纷纷成立，然而几年后事实证明，实现该技术的商业化是一个艰难的过程，MEMS是一项可以实现的技术，同时也是一项破坏性状技术，它注定要完全取代现有的人们所熟悉的过程密论证的解决方案，一项新技术通常要具有明显的优越性，方可取代一项既定的技术，作为经验之谈，在可能采用新技术之前需要在一些重要的参数上，（如性能和成本上）具有5倍的优势。现在市场上已经出现了几种MEMS器件，并已发展到重要的商业化阶段，其他种技术正处于商业成功的边缘。MEMS器件的特性，主要生产厂商及如何克服MEMS实现商业障碍的问题将得到深入研究，本文将预测这种技术的未来发展趋势。     

光通信用微光电机械系统(MOEMS) --欧洲工业活动的现状及未来的发展趋势

近年来，光纤远程通信市场的发展令人瞩目。1999—2000年，世界大型企业集团用于收购公司及购买新技术的资金达1100亿美元。光纤远程通信市场的发展不断地激励着新企业的诞生。以2001年为例，在欧洲和美国，每月均有2—5家公司创立。此外，在光纤远程通信领域还聚集了大量来自投机资本家的巨额投资。光纤远程通信现已成为微系统技术一直在寻找的极具潜力的新应用领域。因远程通信中的全光路由系统的路由功能可通过MEMS元件实现，而MEMS是惟一可实现大型矩阵尺寸交叉连接的技术。此外，由于对网络内部件的需求不均衡，对网络部件重新配置(如创造具有更高容量的区域)的需求至不断增长趋势。MEMS元件适用于重新配置功能，如波分复用(WDM)插／分元件、光交叉连接或光开关。本文对欧洲光纤远程通信领域内一些公司的活动及光纤远程通信所应用的MEMS技术作出最新的分析。     

微电子机械系统／微光学电子机械系统的特性及应用

本文扼要介绍微电子机械系统和微光学电子机械系统的功能、主要产品的特性、可应用领域及未来发展趋势。     

微电机械系统（MEMS）的发展

目前全球科研人员正致力于研究一些关键工艺技术，以便能产生下一代光学网络标准组件，即全光开关。在该领域，微电子机械系统具有很大的发展潜力，美国的一些公司已经开始了一些项目的研究，     

微电机械系统在光通信中的应用:现状和未来

随着波分复用(WDM)网络的发展，光纤通信系统现已发展成一种复杂的多波长通信系统。由于光通信容量的愈益增加，人们寄希望于创新技术去实现光通信系统的巨大潜力，而微电机械系统(MEMS)则是解决WDM网络中关键技术的最有竞争力的候选技术。其应用包括大尺寸光开关结构(如光交叉连接器件、光插／分多路传输器)和传输网络用各种类型的有源和无源光学组件(如可调谐激光器和滤波器、色散补偿装置、放大增益匀衡器、偏振控制器及其他器件)。本文讨论了光通信用MEMS技术的开发现状、希望、面临的挑战及未来发展前景。重点讨论了基于MEMS的光交叉连接器。     

4×4纵横交换微电机械系统光开关阵列

微电机械系统(MEMS)光开关是微电机系统技术与传统光学技术相结合的新型机械式光开关。采用纵横交换网络和通断型微镜实现4×4微电机械系统光开关阵列,利用球透镜单模光纤准直器作为微电机械系统光开关阵列的输入、输出端口。运用高斯光束耦合理论对光开关阵列插入损耗(IL)进行了理论计算,并对引起插入损耗的主要因素进行了分析。对于失调容限:输入与输出光纤准直器位置失调2μm,定位角度失调0.15°,微镜非垂直反射角度失调0.15°,制作了4×4微电机械系统光开关阵列,对其各个通道的插入损耗进行了实验测试,其中最大值为2.77dB。     

微光学电子机械系统中的微型反射镜阵列的应用前景

综述利用微加工技术制作微型反射镜阵列；简要叙述其发展历程，着重阐述其主要功能和优点。分类分析微镜阵列的基本工作方式和主要应用领域及其发展方向，并对应用前景进行分析。     

微电机械系统使光通讯用可调谐激光器成为可能

动态重组的下一代光纤通讯系统要求配置能将信号传输到任意波分复用通道，并能在通道中实现转换的波长可调谐激光器。目前世界各国科学家积极投入此项研究工作，正在考虑各种方案以实现工作稳定、高效率和廉价的可调谐激光器，其中就包括采用悬臂式微电子机     

微电子机械系统技术及其应用

微电子机械系统技术的特点是可使制品微型化、集成化并以硅作为加工材料。该技术可分为体微机械加工、表面微机械加工、金属微机械加工和复合微机械加工四类。所采用的基础技术主要有:腐蚀技术、硅键合技术、多层无应力薄膜沉积技术、牺牲层技术、LIGA技术以及以上技术的复合,该项技术应用广泛。本文重点介绍在微传感器、微电机、机械滤波器和谐振滤波器等方面的应用,并探讨了发展方向。     

微光机电系统及其应用

微光机电系统（MOEMS）是在微机电系统（MEMS）基础上发展起来的一种新技术系统,它是由微光学,微电子和微机械结合而产生的一种新型的微光学结构系统,MOEMS在信息,军事,航天,医学,工业等领域有着广阔的应用前景,综述了近年来微光机电系统的发展和应用。     

MEMS技术现状与发展前景

介绍了微电子机械系统（MEMS）技术的发展现状、加工工艺及产品市场。结合MEMS材料与加工技术,讨论了MEMS产品的封装技术及存在的问题,展望了MEMS技术的发展前景。     

微电子机械系统（MEMS）及其在军事领域的应用

微电子机械系统(MEMS)技术是继微电子技术后又一项重要的新兴技术。介绍了MEMS的基本概念和特点、MEMS的技术基础和制造技术及典型的MEMS产品,并在此基础上重点论述了MEMS在军事领域尤其是在军事电子信息系统中的应用和发展前景。     

MEMS技术研究及应用

首先阐述了微电子机械系统 (MEMS)技术的基本概念、特点及概况 ;其次 ,介绍了MEMS技术的分类及在各领域的应用产品 ;最后 ,重点介绍了RFMEMS技术 ,包括某些RFMEMS器件的典型结构及性能指标     

MEMS器件在航天领域的应用及发展

介绍了MEMS器件在航天领域的应用及发展,通过航天应用的一些要求和特点,分析了MEMS器件在航天应用中重点关注的一些可靠性问题,如辐射、真空、热冲击和机械振动。根据MEMS器件在当今航天领域的实际应用状况,展望了MEMS器件的前景。提出MEMS器件已成为航天应用领域不可缺的重要器件,在实现系统的小型化、低成本化和性能改善上发挥着巨大的作用。最后预测MEMS器件的发展趋势是取代空间载体、通信和导航平台及有效载荷上体积大而笨重的器件,最终实现航空航天系统的小型化、智能化和集成化。     

Applications of MEMS in surgery

In the past few decades, microelectromechanical systems (MEMS) have found themselves being adopted into a wide variety of fields and disciplines. Recently there has been an increased interest in the use of MEMS for surgical applications. MEMS technology has the potential to not only improve the functionality of existing surgical devices, but also add new capabilities, which allow surgeons to develop new techniques and perform entirely new procedures. MEMS can improve surgical outcomes, lower risk, and help control costs by providing the surgeon with real-time feedback on the operation. This paper discusses the challenges MEMS face in the medical device market along with current applications and future directions for the technology.     

MEMS技术及其在军事中的应用

微电子机械系统(MEMS)是多种学科的交叉融合,应用领域极为广泛。文章主要阐述了MEMS的设计、加工、封装与测试等技术及其在微/纳卫星、微型飞行器、微型机器人和纳米科技战士等方面的军事应用。     

MEMS传感器现状及应用

MEMS传感器种类繁多,发展迅猛,应用广泛。首先,简单介绍了MEMS传感器的分类和典型应用。其次,对MEMS压力传感器、加速度计和陀螺仪三种最典型的MEMS传感器进行了详细阐述,包括类别、技术现状和性能指标、最新研究进展、产品,及应用情况。介绍MEMS压力传感器时,给出了国内外采用新型材料制作用于极端环境下压力传感器的研究情况。最后,从新材料、加工和组装技术方面对MEMS传感器的发展趋势进行了展望。