第三讲：机械真空泵（四）

第三讲：机械真空泵（四）张以忱（东北大学）（七）余摆线真空泵余摆线真空泵的转子与泵腔的型线均为“余摆线”。目前真空行业中广泛使用的油封式机械真空泵大多是中、小型的旋片泵和中、大型的滑阀泵。旋片泵在较脏的工作条件下，旋片易在转子槽中卡住。尽管滑阀泵对这...     

罗茨油环机组在真空感应炉上的应用

真空感应炉真空机组中的前级泵，历来使用滑阀泵。但因原材料的灰份多，泵油很容易污染，致使泵卡死。在３０００磅真空感应炉上改用浙江真空设备集团有限公司生产的罗茨油环机组机替滑阀泵，取得了较好的效果。     

我国主要容积式真空泵质量状况浅析

本文对容积式真空泵－旋片泵，滑阀泵，罗茨泵的总体情况进行了介绍，重点对其质量状况进行了分析，阐述了近几年容积真空泵的质量改进情况和目前仍存在的主要问题以及问题产生的原因和改进措施，并对真空泵普遍存在的共性问题进行了分析。     

特殊类型的罗茨真空泵

本文简略地介绍了近几年来我所设计和研制的三种特殊类型的罗茨真空泵，即１５０Ｌ／ｓ双级罗茨真空泵、３００ Ｌ／ｓ真空电机罗茨泵、 ６００Ｌ／ｓ屏蔽电机罗洪泵这三种泵。相应地解决了目前生产的普通罗茨泵很难解决的问题。１５０ Ｌ／ｓ双级罗茨泵的研制成功，就解决了普通罗茨泵不能在高压强下运转的问题，它不但可以在高压强下运转，而且可以从大气下启动。３００Ｌ／ｓ真空电机罗茨泵能很好的解决动密封泄漏问题，泵低压运行又提供了安全可靠的条件。６００Ｌ／ｓ屏蔽电机罗茨泵同样很好的解决了动密封泄漏问题，又可在常压下运行，给用户带来一些方便条件。这三种泵的性能又都优于普通的罗茨泵，笔者认为这三种泵今后会更有发展前途的。     

日本罗茨真空泵概况

罗茨真空泵在日本的真空冶金方面已经得到广泛应用,极大部份的真空脱气装置以及—些大型的真空电弧炉都是采用了罗茨泵的真空机组,各种真空感应妒亦都是以罗茨泵作为予抽真空及增压之用,其它如真空蒸发方面,大型连续的金属蒸镀设备亦都配有各种大小不同的罗茨泵。 日本生产罗茨泵的工厂有神港精机株式会社、大阪真空株式会社、日本真空技术株式会社以及岛津制作所等4家。岛津是生产中小型罗茨泵,最大的是6000米3/时,其它3家公司最大的都能生产到20,000米3/时,至于30,000米3/时的罗茨泵,神港精机正在设计制造。 我们这次在日本参观,重点是看…     

罗茨真空泵机组抽气速率分析

罗茨真空泵机组因配用前级泵不同和所处工作压力范围的差异，相应其抽气速率变化较大，设计中应根据具体工况条件及真空系统使用要求，力求使罗茨真空泵机组体现好的适用性和经济性。     

双级滑阀真空泵振动平衡的研究

研究了双缸结构的双级滑阀真空的振动平衡,提出了定量平衡双级滑阀真空泵振动的方法;运用最小二乘法获得多级平衡配重的关键参数,精确平衡双级滑阀真空泵的不平衡惯性力.以2IH-150滑阀真空泵为例进行振动平衡,平衡后的剩余惯性力减至1500 N以内,振动力降幅达到80％左右;应用多级平衡配重方法所设计的真空泵在松地脚螺钉时的最大振幅仅为0.13 mm.因此,针对双级滑阀泵振动的平衡计算方法是行之有效的,可使泵的振动在很小的范围内.     

高压差工作用气冷式罗茨真空泵设计及其性能

在大型汽轮机转子真空动平衡机室设计中选用了气冷式罗茨真空泵作为其主泵以大大加快抽空速度。气冷式罗茨真空泵由于其特殊结构，在携带一泵外冷却器后，可在极高的压差下连续工作而不会超温。这种泵还具备无油压缩的优点，可防止油蒸汽对被抽气体的污染，可广泛应用于各种真空作业上。本文介绍了这种泵的设计及其性能。     

滑阀式机械真空泵的设计与计算

一、前言 滑阀式机械真空泵(以下简称滑阀泵)是油封式机械真空泵中的一种,这种泵在油封式机械泵中多半是属中型以上的泵,是真空技术中的获得设备之一。它可单独使用获得真空,也可以作为机械增压泵、油增压泵和油扩散泵等真空泵的前级泵,适用于真空冶炼、真空浸渍、真空冷冻干燥、高空模拟、电子工业、化工、轻工及医药等部门。 几年来,我厂广大革命职工在毛主席的无产阶级革命路线指引下,特别是通过无产阶级文化大革命运动后,随着祖国真空事业的迅速发展,我厂基本上发展生产了滑阀泵的整个系列。 滑阀泵的工作原理(见图1),它是有一个滑阀套…     

气冷式直排大气罗茨真空泵及机组的热平衡计算

气冷式罗茨真空泵需要携带泵外换热器，以保证泵在高压差下正常工作而不会产生过热，热平衡计算是泵及机组成功设计的关键，本文对热平衡计算进行了探讨，研究表明，气冷式罗茨真空泵的温升，取决于工作气体本身的性质以及泵排气口压力与进气口压力的比值（即压缩比）。     

滑阀真空泵振动平衡的优化设计研究

滑阀真空泵在许多行业得到广泛应用。但滑阀真空泵的振动平衡问题一直是国际上未解决的技术难点。本文建立了滑阀真空泵动态仿真模型,并以改变内置平衡块的结构来改变各构件重心位置的方式进行了动态仿真,探讨了滑阀真空泵的优化设计问题。仿真测试结果表明,通过调整泵的内部结构可以明显地改善滑阀泵惯性力引起的振动。     

真空泵测定气体流量的装置-计量喷嘴

计量喷嘴常用于测定粗真空泵（如水环泵、往复式真空泵、滑阀式真空泵等）的气体流量的装置。从理论和实践这两方面对计量喷嘴的工作原理、计算方法、安装及使用要求等问题作了简要的叙述，同时对其测量重复性也作了相应的介绍。     

第三讲：机械真空泵（五）

第三讲：机械真空泵（五）张以忱（东北大学）六、分子真空泵（一）牵引分子泵１．概述分子真空泵是在１９１１年由德国人盖德（Ｗ·Ｇａｅｄｅ）首先发明的，并阐述了分子泵的抽气理论，使机械真空泵在抽气机理上有了新的突破。分子泵的抽气机理与容积式机械泵靠泵腔容积...     

三叶转子气冷式罗茨真空泵的流场数值分析

本文利用数值模拟软件FLUENT建立三叶转子气冷式罗茨真空泵的二维计算模型,采用动网格技术对气冷式罗茨真空泵内部流动进行动态模拟。分析了转子在转动情况下泵内部流场的变化、内部流场的压强分布以及进排气腔的速度分布,得出泵内部流场的流动规律,为气冷式罗茨真空泵的设计和分析提供理论依据,同时可以用于气冷式罗茨真空泵的性能预测及优化设计。     

罗茨真空泵试车与运行

介绍了干气提浓装置变压吸附工序中抽真空设备罗茨真空泵,通过对罗茨真空泵气密、试车、运行过程中出现问题的讨论,提出一些解决办法和改进措施,确保泵组的安全平稳运行以及装置的长周期运转。     

滑阀真空泵性能再探

本文对滑阀真空泵的性能作了进一步研究,提出了活动密封的新概念,研究了排气速度、排气流道大小和形状对泵的性能的影响,阐明了滑阀泵噪声机理研究中的又一个新噪声源——导轨对滑阀杆的撞击,分析了泵的噪声传播和屏蔽,讨论了减少摩擦功的途径。     

机械真空泵噪声机理研究与控制

本文通过对机械真空泵中应用广泛、噪声影响较为显著的几种真空泵的噪声机理进行研究分析,得出"气蚀"现象在滑阀泵中普遍存在,从而证明"气蚀"噪声是滑阀泵噪声的主要声源,而罗茨泵直排大气时的噪声机理是"声能堆聚"。进一步提出控制、降低噪声的方法与结构,通过实验加以验证并取得显著效果。     

两叶与三叶转子气冷式罗茨真空泵气动噪声分析

气冷式罗茨真空泵的噪声主要由机械噪声和气动噪声组成,气动噪声具有强度高、危害大的特点,是气冷式罗茨真空泵的主要噪声.应用FLUENT软件动态模拟泵的内部流场,对两叶、三叶转子的气冷式罗茨真空泵的气动噪声进行比较,分析气动噪声产生的来源,为设计低噪声的气冷式罗茨真空泵提供参考.同时对两种转子的气冷式罗茨真空泵的噪声进行测试,三叶转子的气冷式罗茨真空泵的噪声明显低于两叶转子的气冷式罗茨真空泵.     

微型化真空泵技术

微型化真空泵对于微机电系统和真空微电子器件的真空封装极具意义。本文从工作原理和工艺实现方面，分析了常见传统真空泵实现微型化的可行性，介绍了膜片泵、射流/扩散泵、努森泵和离子泵的微型化进展，并总结了当前存在的技术障碍。结果表明，目前热点研究的微型化真空泵已经可以构建从大气状态至高真空的真空系统。虽然真空泵微型化后，其性能和工作稳定性相对传统宏观真空泵有较大降低，但具有低功耗、可集成优势，对便携式系统和高真空微系统十分必要。     

气冷式直排大气罗茨真空泵及机组的应用选型

本文介绍气冷式直排大气罗茨真空泵及机组的工作特点及应用选型。旨在通过范例的分析，为不同的用户使用气冷式直排大气罗茨真空泵，充分发挥该泵的抽速大、耐压高、无污染、低功耗的优点，提供可参考的范式。