基于AFM的纳米尺度线宽计量模型及其算法的研究

纳米尺度线宽的测量广泛应用于半导体制造、数据存储、微机电系统等领域。随着制造技术的进步,线宽的极限尺寸也变得越来越小,目前已经缩小至100 nm左右。在这一尺度范围内,由于样本制造技术的限制和测量仪器的影响,目前很难得到准确的测量结果。为了获得样本的真实几何尺寸信息,剔除测量方法和仪器本身对测量结果的影响,建立了一个基于AFM测量技术的线宽计量模型和相应算法。该模型将被测样本的截面轮廓用20个关键点分成5个部分共19段,用基于最小二乘的直线来拟合实际轮廓。应用该模型和算法可以分别得到单刻线轮廓拟合前后的顶部线宽b_T、b_(TF),中部线宽b_M、b_(MF),底部线宽b_B、b_(BF),左右边墙角A_L、A_R,以及高度h_。使用NanoScope Ⅲa型AFM对一个单晶硅(Si)线宽样本进行了测量,测量结果表明该模型和算法可以满足纳米尺度线宽计量的基本要求。     

油料灌装系统中计量模型的参数补偿方法

为了提高油料灌装精度,分析了油料灌装系统的计量模型中与灌装精度相关的三个参数--标准密度、温度和流量脉冲,并分别提出相应的补偿方法.提出对每一批次油料均及时测定其标准密度,并进行空气浮力补偿的标准密度补偿方法,减少空气浮力对油品标准密度的影响;提出采用实时、分段方式采集温度信号,更好地解决温度修正的准确性;提出采用二次流量脉冲转换方式对流量计的发讯脉冲进行计数补偿,确保大容量时精确发油.通过以上三方面的考虑,在一定程度上提高灌装系统精度.     

广义模块化设计中模块CAD模型与有限元模型的数据交换

提出了基于结构有限元静、动态特性分析的模块化设计的框架;针对设计系统CAD模型与有限元数据相互传送难点,根据不同情况,给出模型转换的实现方法直接转换法、标准零件库方法和中心数据库方法,重点讨论了利用中心数据库进行数据传送的方法.     

基于J2EE的电能计量系统模型及关键技术

针对目前我国电力市场改革的现状，分析了电能计量管理的功能需求和应用环境，提出了包含电量计费和计量器具管理等功能的基于J2EE的电能计量管理系统模型。该模型采用服务器群，可为电力市场运营系统的其它子系统提供功能接口和数据接口。同时对该模型实施中的关键技术UML技术、组件技术和XML技术进行了详细的分析与研究。     

电能计量标准设备的一种期间核查方法

本文通过对电能计量标准设备期间核查方法的实例分析,介绍了一种期间核查方法——变量控制核查法,重点介绍了电能计量标准设备变量控制核查法的核查目的、核查标准的选用、核查周期和核查结论的确定方法。通过对变量的监控以实现保持电能计量标准设备校准状态的置信度。     

如何做好计量工作

入世后,各行各业都在研究应对策略,计量工作如何适应入世的新要求,充分发挥其基础作用,为中国融入世界经济发展的主流作出贡献,这是摆在全体计量工作者面前的一个新课题,我认为计量工作要做到这些,应加强以下几方面的工作。     

储罐液体计量的新方法及新计量算法

本文提出了一种由压敏式压力传感器及单片机等组成的系统对储罐液体进行计量的新方法,着重探讨了对计量结果精确度至关重要的计量算法的数学模型及其误差分析,并提出了可提高计量精度的新计量算法。     

计量执法在计量检定工作中的作用

计量执法是利用法律规定对计量单位进行规范的行为,它是保障计量检定正常进行的必要方式,但是计量工作中最基本的工作都是计量检定来进行的。所以说,计量执法同计量检定之间有相互影响和互相提升的关系。     

测量设备计量确认过程计量验证的探讨

计量验证是计量确认过程中最为重要的环节,其目的是确定测量设备能否正常投入使用。文章从测量设备的计量特性来探讨测量设备的计量验证。     

基于T-S模型的比例变量泵模糊控制系统

以斜盘式轴向柱塞电控比例变量泵为研究对象,设计了变量泵模糊控制系统,推导并建立了变量泵变量机构的数学模型,提出了一种基于T-S模型和仿人工智能相结合的模糊PID控制算法。试验结果表明,所设计的T-S模糊PID算法与传统PID控制算法相比,可明显改善系统的动态控制性能,达到了对变量泵排量进行精确、快速控制的目的。     

建立完善计量检测体系促进计量管理水平提高

本文阐述了建立完善计量检测体系对促进企业计量管理水平提高的意义和目的,以及企业如何加计量管理工作,有一定的借鉴作用。     

机械工业计量检定规程简介

为加强机械工业计量器具的监督管理，确保量值的准确可靠，使计量检定工作有法可依，计量检定规程审定委员会审定通过了一些有关行业急需的计量检定规程，为便于计量人员检定使用，现将陆续作以简单介绍。1JJG（机械）194－97《滚式尺》滚式尺的测量原理是用两个精密圆柱，以量块确定两圆柱的中心距离，以光隙法间接测量各种圆弧和各种角度所构成的尺寸（如图1）。本检定规程对滚式尺寸的检定项目和检定条件做了规定，检定项目见表1，检定条件为：检定室温度20℃±3℃，温度变化不大于1℃／h；受检尺和检定用工具在检定室内等温时间不少于…     

多变量系统CARMA模型近似解耦法

传统的多变量系统解耦方法依赖于准确的传递函数和状态空间模型，而很多过程控制对象的准确模型难以获得。本文利用系统辨识所得的一阶CARMA模型构造近似的前馈解耦补偿器，结构简单，计算量少，适宜实时控制使用。当它与在线递推辨识结合使用，则具有自适应动态解耦效果。     

尺寸计量正在发生变化

现在,越来越多的制造商认识到,提供工程零件的设计和制造之间的尺寸计量是不可缺少的环节。目前制造技术中的明显趋势将会继续很好的把尺寸计量的发展推入下一个世纪,以满足各工业部门的不同需要。 举例来说,从设计到制成各种零件的功能性不断增加,因此零件尺寸的技术要求和公差更加复杂。结果,技术要求和公差的说明变得很重要,而且生产现场有许多不确定的未知因素。最终,制造公差变得越来越严格,把所需要的测量基准的精度放在更高的要求上,以满足制造过程。     

苏州市计量测试研究所到山东省计量科学研究院考察交流

9月2日,苏州市质量技术监督局计量处劳伟樑处长、苏州市计量测试研究所张俊峰所长一行来山东省计量科学研究院考察交流,李万升副院长及相关科室陪同座谈、调研。座谈会上,双方就对接地方产业、做好延伸服务,单位文化建设、实验室宣传等方面的经验进行深入讨论与相互借鉴,     

油量计量单元驱动平均电流特性研究

本文简单阐述了油量计量单元实际驱动电流的波形特性和不同参数下对电流波形的影响,确定关键参数和采样特征值,提出了一种根据实际电流特征值通过模型计算实际驱动电流平均值的方法,实际测试有较高的准确性,降低了对采样电路的要求。