首页 | 本学科首页   官方微博 | 高级检索  
相似文献
 共查询到20条相似文献,搜索用时 62 毫秒
1.
凹陷沟道SOI器件的实验研究   总被引:2,自引:0,他引:2  
张兴  王阳元 《半导体学报》1998,19(12):931-935
本文较为详细地描述了凹陷沟道SOI器件的结构和工艺制造技术,采用凹陷沟道技术制备的SOI器件的性能明显优于常规厚膜部分耗尽和常规薄膜全耗尽SOI器件的性能.采用该技术已成功地研制出沟道区硅膜厚度为70nm、源漏区硅膜厚度为160nm、有效沟道长度为0.15~4.0μm的高性能凹陷沟道SOIMOSFET,它与常规薄膜全耗尽SOIMOSFET相比,跨导及饱和漏电流分别提高了约40%.  相似文献   

2.
Bina.  SC  付士萍 《半导体情报》1996,33(5):42-43
用MOCVD法制备了在高电阻率GaN层上生长沟道厚度为0.25μm的GaNMESFET,这些器件的跨导为20mS/mm,其中一个栅长为0.7μm的器件,测得其fT和fmax分别为8和17GHz。  相似文献   

3.
张兴  石涌泉  路泉  黄敞 《半导体学报》1995,16(11):857-861
本文较为详细地介绍了能有效地改善SOS材料结晶质量的双固相外延DSPE工艺,给出了优化的工艺条件.通过比较用DSPE及普通SOS材料制作的CMOS/SOS器件和电路的特性可以看出,采用DSPE工艺能显著改善SOS材料的表面结晶质量,应用DSPE工艺在硅层厚度为350nm的SOS材料上成功地研制出了沟道长度为1μm的高性能CMOS/SOS器件和电路,其巾NMOSFET及PMOSFET的泄漏电流分别为2.5pA和1.5pA,19级CMOS/SOS环形振荡器的单级门延迟时间为320ps.  相似文献   

4.
本文对多晶抬高源漏(PESD)MOSFET的结构作了描述,并对深亚微米PESDMOS-FET的特性进行了模拟和研究,看到PESDMOSFET具有比较好的短沟道特性和亚阈值特性,其输出电流和跨导较大,且对热载流子效应的抑制能力较强,因此具有比较好的性能.给出了PESDMOSFET的优化设计方法.当MOSFET尺寸缩小到深亚微米范围时,PESDMOS-FET将成为一种较为理想的器件结构  相似文献   

5.
深亚微米PESD MOSFET特性研究及优化设计   总被引:1,自引:0,他引:1  
本文对多晶抬高源漏(PESD)MOSFET的结构作了描述,并对深亚微米PESDMOS-FET的特性进行了模拟和研究,看到PESDMOSFET具有比较好的短沟道特性和亚阈值特性,其输出电流和跨导较大,且对热载流子效应的抑制能力较强,因此具有比较好的性能.给出了PESDMOSFET的优化设计方法.当MOSFET尺寸缩小到深亚微米范围时,PESDMOS-FET将成为一种较为理想的器件结构  相似文献   

6.
介绍了在宽禁带半导体6H-SiC材料上制作的反型沟道和掩埋沟道栅控二极管及MOSFET。器件的制作采用了热氧化和离子注入技术。因为6H-SiC禁带宽度为3eV,用MOS电容很难测量表面态,故利用栅控二极管在室温条件下来测量表面态。反型沟道器件中电子有效迁移率为20cm^2/V.s,而掩埋沟道MOSFET沟道中的体电子迁移率为180cm^2/V.s,掩埋沟道晶体管是第一只SiC离子注入沟道器件,也是  相似文献   

7.
深亚微米MOSFET模型研究进展   总被引:1,自引:0,他引:1  
文中对在深亚微米MOSFET的器件模型研究基础上,提出了研究MOSFET模型值得注意的问题,并对如何建立深亚微米MOSFET模型作出了有益的探讨。  相似文献   

8.
为了实现50~500V的击穿电压范围,本文详细讨论了6H-SiC和3C-SiC肖特基整流器和功率MOSFET的漂移区性质。利用这些数据计算了器件的输出特性,并与Si器件做了比较,结果表明,由于其漂移区电阻非常低,故5000VSiC肖特基整流器和功率MOSFET在室温下能够处理100A/cm^2的导通电流密度,正向压降仅分别为3.85和2.95V。这些数值甚至优于Sipin整流器和门可关断晶闸管。这  相似文献   

9.
奚雪梅  王阳元 《电子学报》1996,24(5):53-57,62
本文系统描述了全耗尽短沟道LDD/LDSSOIMOSFET器件模型的电压电压特性。该模型扩展了我们原有的薄膜全耗尽SOIMOSFET模型,文中着重分析了器件进入饱和区后出现的沟道长度调制效应,及由于LDD/LDS区的存在对本征MOS器件电流特性的影响。  相似文献   

10.
本文描述了一种微电子工艺制造中的切割曝光技术,用这一技术在一台G线投影曝光机上制备出深亚微米图形.由此进一步研制成功0.25μmP+多晶硅栅表面沟PMOSFET,它具有良好的器件特性和抵制短沟道效应的能力.对不同沟长NMOS和PMOSFET的研究表明,当沟道长度从2.0μm降至0.5μm时,表面沟PMOS管阈值电压的变化(ΔVT)约为60mV,而NMOS管相应ΔVT为110mV.计算机模拟的切割曝光和单线曝光立体图象也清楚地表明,切割曝光方法对于消除二次谐波影响,提高分辨率具有一定作用.  相似文献   

11.
本文介绍了一种硅 pin 线列光电探测器的设计、制造及其特性。  相似文献   

12.
光电器件近年来的发展趋向   总被引:1,自引:0,他引:1  
文章从不电器件的单元技术、成像器件和垂直腔面发射半导体激光器三方面评述电器件的进展,说明它是一个充满活力的研究领域。  相似文献   

13.
电子元器件的质量可靠性直接影响到产品整机可靠性。主要总结了常见无源元件及有源器件的分类、结构特点及应用领域。对元器件的选择和使用给出了经验指导,而且对其组装工艺进行了简要阐述。  相似文献   

14.
电子元器件的质量可靠性直接影响到产品整机可靠性。主要总结了常见无源元件及有源器件的分类、结构特点及应用领域。对元器件的选择和使用给出了经验指导,而且对其组装工艺进行了简要阐述。  相似文献   

15.
量子效应器件正在崛起   总被引:3,自引:0,他引:3  
本文介绍了量子效应器件的定义、分类、特点、工作原理、特性、制造方法和应用。还介绍了国内研制量子效应器件的动态和成果。  相似文献   

16.
电子元器件的质量可靠性直接影响到产品整机可靠性。主要总结了常见无源元件及有源器件的分类、结构特点及应用领域。对元器件的选择和使用给出了经验指导,而且对其组装工艺进行了简要阐述。  相似文献   

17.
SiGe半导体技术新进展   总被引:4,自引:0,他引:4  
综述了 Si Ge材料的性质、主要研究方向以及最新的发展情况 ,并介绍了国外 Si Ge的研究情况。  相似文献   

18.
本文简要说明FF现场设备的设计要求,以及应用方法、文章最后介绍了 一个应用实例、供参考。  相似文献   

19.
DUBAT负阻参数的推导和功率DUBAT的设计与研制   总被引:2,自引:0,他引:2  
本文第一部分用较简单而不同于文献[1]的方法推导出双基区晶体管(DUBAT)有关的负阻参数,与实验结果符合良好;第二部分对功率型DUBAT进行了设计并初步制成这种器件。  相似文献   

20.
Metamer density estimated color correction   总被引:1,自引:0,他引:1  
Color correction is the transformation of response values of scanners or digital cameras into a device- independent color space. In general, the transformation is not unique due to different acquisition and viewing illuminants and non-satisfaction of the Luther–Ives condition by a majority of devices. In this paper we propose a method that approximates the optimal color correction in the sense of a minimal mean error. The method is based on a representative set of reflectance spectra that is used to calculate a special basic collection of device metameric blacks and an appropriate fundamental metamer for each sensor response. Combining the fundamental metamer and the basic collection results in a set of reflectances that follows the density distribution of metameric reflectances if calculated by Bayesian inference. Transforming only positive and bounded spectra of the set into an observer’s perceptually uniform color space results in a point cloud that follows the density distribution of device metamers within the metamer mismatch space of acqcuisition system and human observer. The mean value of this set is selected for color correction, since this is the point with a minimal mean color distance to all other points in the cloud. We present the results of various simulation experiments considering different acquisition and viewing illuminants, sensor types, noise levels, and existing methods for comparison.  相似文献   

设为首页 | 免责声明 | 关于勤云 | 加入收藏

Copyright©北京勤云科技发展有限公司  京ICP备09084417号