微机在微压测量中的应用

介绍用微机和传感器技术，测量范围为－１０＾５￣＋１０＾５Ｐａ的微压测量系统。实验及应用效果良好。只要选择相应的传感器就可以用于其它范围的微压测量。     

四电极电化学腐蚀在微压传感器制造中的应用

在研究四电极电化学腐蚀工艺过程中,考虑了与扩散硅压力传感器芯片平面工艺的兼容性,使得该工艺用于微压传器器的制造。微压传感器采用梁膜结构设计,膜区厚度为１０μｍ,制造出的微压传感器灵敏度为５０ｍＶ／３ｋＰａ．１ｍＡ。端点法非线性为０．５％。     

微机械染膜结构1kPa量程压力传感器

采用微机械加工技术可以制作出管芯尺寸小而灵敏度很高的压力传感器。目前微压压力传感产品的量程已达５－１０ｋＰａ。本文介绍了采用微机械梁膜结构的压力传感器设计（ＰＴ－２４），结合适当的工艺可以制成量程为１ｋＰａ的器件。     

厚膜微压力传感器的研究

针对目前我国工业过程自动控制、机电一体化及其他应用领域微压测量用工业变送器、液位计技术的需要,采用较大半径／厚度比（ｒ／ｈ）的新型超薄微压陶瓷弹性体设计和高性能钌酸盐厚膜应变电阻,并运用厚膜印刷、烧结工艺技术,研制出工作温度高、耐腐蚀、性能价格比高的新型厚膜微压力传感器。量程１ｋＰａ、５ｋＰａ、１０ｋＰａ,精度０２％～０５％。并已在石化、冶金、电力等部门推广应用。主要阐述其设计、工艺及主要性能,并对研制中的若干问题进行探讨。     

阀片式硅微流量传感器的研究

提出了一种结构简单、易于加工的阀片式硅微流量传感器。该微流量传感器通过阀片将流量转换为梁表面弯曲应力,再由集成在阀片上的压敏电阻桥检测出流量信号。该传感器采用硅微细加工工艺制作,直接在单晶硅上加工出阀片和压敏电阻桥。该微流量传感器芯片尺寸３ ．５×３．５（ｍ ｍ） ,封装后的外形尺寸为Φ１０×４（ｍ ｍ） ;在１０ ～２００ｍｌ／ｍｉｎ 的气流量下,线性度优于５ ％ ．     

气体质量流量与压力的测量和控制

本文介绍气体质量流量的测量和控制及微压传感器的原理及应用.     

一种微压传感器的应用研究

用人工和自动测量2种方法对微压传感器5551-003-D进行了研究,并将其输入与输出拟合为线性关系。研究证明,该传感器可用于大坝坝内廊道或基础廊道的排水孔和水沟中的水位测量。     

电容式测压微型传感器

文中主要介绍一种新型电容式测压微传感器的结构及测量电路。通过对测量电路的理论分析、仿真和实验验证,证明这种微型传感器采用独特的结构和测量电路,因而具有良好的线性范围和较高的灵敏度,并能有效地减小温度误差。     

高g值微机械加速度传感器的现状与发展

本文对用于侵彻武器和爆炸现场测量的高g值加速度传感器进行了四顾与展望.重点介绍了采用微机械工艺的高g值微加速度传感器.首先分析了目前几种新型压阻式和电容式高g值硅微机械加速度传感器的基本工作原理,主要技术指标和敏感元件的结构特点,讨论了几种用于制作高g值微加速度传感器的新型材料和工艺.最后总结了高g值微机械加速度传感器未来的发展趋势.     

集成铜金属压阻层的SU-8胶悬臂梁微力传感器的制作

由于SU-8胶的弹性模量比硅的低,在SU-8胶悬臂梁上集成金属压阻可获得很高的力灵敏度系数,因此本文基于SU-8胶设计并制作了一种集成蛇形结构铜金属压阻层的SU-8胶悬臂梁微力传感器。介绍了制作微力传感器的新型工艺,并进行了传感器性能测试。实验结果表明:设计的SU-8胶微力传感器在0～350μN具有较好的线性度,力灵敏度为0.24mV/μN,测量误差为4.06%。该微力传感器可以满足对微小力的测量,相对于硅材料的微力传感器,其制作工艺更加简单,周期更短。由于SU-8胶的生物兼容性好,该传感器在生物医学研究领域有着很好的应用前景。     

三维微力探针传感器技术研究

结合光纤探针与四悬臂梁支撑结构的特点,研制了一种基于微探针形式,具有μN级三维微力测量和传感能力的压阻式三维微力探针传感器.通过ANSYS数值仿真的方法研究了传感器结构之间的应力特点.并且通过实验验证了所研制的传感器的综合精度可达到0.2%FS,干扰误差≤0.3%FS.     

一种新型硅压阻式流速流向传感器的设计

本文设计了一种基于体微机械加工技术、SU-8-光刻胶工艺和压阻检测的新型硅压阻式流速流向传感器.该传感器由立柱和支撑梁构成,这种结构将流体的流速流向信息转化为立柱的倾斜和相应的梁的变形,通过4根正交梁端部的压阻应变计来测量梁的变形.通过测量压电电阻的阻值变化就可以得到流体的流速和流向.利用惠斯通电桥来获得正弦电压输出.理论分析了器件的结构变形和电压输出,并用有限元方法进行了验证.为该传感器设计了一套基于键合技术的体微机械加工工艺.     

检测互感器校验仪同相盘的专用小型互感器

介绍两种用来检测互感器校验仪同相盘的小型互感器：５／０．００５￣５／０．５Ａ电流互感器和１００／０．１￣１００／１０Ｖ电压互感器。它也可用来扩大校验仪的测差量限。文中列出了详细的检测线路。     

国外差动电容式压力传感器发展概况

一、概述在工业生产中大量使用着差压传感器,用以测定流量、压力、液位和密度。自动化水平的提高对压力测量技术提出了更高的要求。出现了一批应用新原理的传感器。电容式压力传感器是七十年代发展最快的新型传感器之一,自从问世以来就以体积小、精度高、频响好、微压测量性能好以及结构简单等优点而受到广泛的重视。五十年代就开始了电容式压力传感器的研究,六十年代初提出了实施方案。由于机     

电容式测压微传感器的特性分析

本文主要对电容式测压微传感器的力学特性和电学特性进行分析。文中通过对测量电路工作过程和特性的深入探讨、仿真和验证,证明这种传感器的测量电路具有良好的线性度和稳定性。通过对传感器的敏感元件硅膜片的力学分析,建立了传感器的力学模型。分析的结果表明：传感器敏感元件和电容器的物理特性是影响传感器输出响应线性的主要因素。     

微纳米级差压式气针传感器的研制

提出一种基于差压式气路的微纳米级分辨力气针传感器的设计和工作原理,并对其静态特性进行了理论分析和实验研究.分析出不同输入压力、不同主喷嘴和测量喷嘴孔径对传感器灵敏度和线性范围的影响大小,从而可获得高灵敏度和大线性范围气针传感器的各参数值.该传感器的测量范围为80 μm,分辨力为0.01 μm,测量不确定度小于0.3 μm,适合于高精度微纳米级非接触尺寸测量场合.本文研究内容可以为高精度气动传感器的设计提供理论和实验依据.     

多功能压阻式压力传感器的改进

本文提出了一种改进包括一个测量范围为１０ｋＰａ的差压传感器，一个测量范围为６ＭＰａ的静压传感器和一个用于智能差压变送器的温度传感器的压阻式多功能传感器性能的方法。可以使静压传感器的输出大于２５ｍＶ／Ｖ／６ＭＰａ，并且将差压对静压传感器的影响减小到小于０．３５ｍＶ／Ｖ／１０ｋＰａ，     

光纤微型传感器研制及其系统的设计

本文介绍一种新型的微型化学传感器及其系统的设计。这种传感器具有很多优点并有良好的线性，线性范围为１０－６～１０－３ＭＫ＋，５×１０－６～５×１０－３ＭＡＣＨ。响应时间（ｔ９０）为１～３分钟。     

1kPa 微机械结构微压传感器的研究

本文报道一种量程为１ｋＰａ的扩散硅微机械结构微压传感器。实现了高灵敏度微压传感器的非线性内补偿和强过载保护以及高共振频率,分析研究了最佳条件。微压传感器的非线性为０．１％ＦＳ,其过载保护能力已超过５００倍满程压力,共振频率为９ｋＨｚ。     

压阻式小量程SOI加速度敏感芯片设计与分析

为满足建筑物振动监测等应用对小加速度信号测量的需求,采用带有微梁和支撑梁的敏感结构设计了一种压阻式小量程加速度传感器芯片,为弥补压阻式传感器测量小信号精度低这一不足,基于SOI技术设计了单晶硅应变电阻.利用有限元法对敏感芯片结构进行了仿真分析,给出了兼顾灵敏度与固有频率这两个技术指标的设计方法,以此确定了敏感芯片的尺寸...