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相似文献
 共查询到20条相似文献,搜索用时 265 毫秒
1.
我们用STM在低压大电流条件下对Si(111)7×7表面进行了原子操纵研究,这种方法即可从表面提出原子而形成沟槽结构,又可将提出的原子重新植入样品表面形成一维凸起,在样品表面形成有序排列,从而成功地实现了对原子群体的“有序移植”  相似文献   

2.
用低能电子衍射研究氢离子轰击硅表面所产生的相变   总被引:2,自引:2,他引:0  
文章描述了用低能电子衍射(LEED)观察氢离子对碳杂质稳定的Si(111)-(1×1)及清洁再构的Si(100)-(2×1)表面轰击,然后加热退火所产生的相变.实验发现:碳杂质稳定的Si(111)-(1×1)表面经氢离子轰击并在800℃退火后产生清洁再构的Si(111)-(7×7)结构;而Si(100)-(2×1)表面经离子氢及氩的混合气体轰击后,在900℃退火产生一个亚稳态Si(100)-c(4×4)结构,进一步在700℃退火后,我们得到一个稳定的Si(100)-p(2×2)结构.文章对实验观察到的相变  相似文献   

3.
根据对Si(111)表面各种不同畴界的研究,我们发现并提出了在畴界形成过程中决定这些畴界结构的三个重要因素:二聚体(dimer)和顶戴原子(adatom,亦称吸附原子)之间的相互作用;7×7单胞中层错半单元(faultedhalf)和非层错半单元(unfaultedhalf)的差异;亚稳态的(2n+1)×(2n+1)结构的影响。  相似文献   

4.
我们在恒流模式和扫描偏压不变的条件下,通过提高隧道电流成功地在Si(111)7×7表面实现了原子操纵,这种方法具有较高的成功率和较快的操纵速率。其作用机理是:当偏压小于0.5V时,化学相互作用成为针尖和样品之间的主要作用;而当偏压大于0.8V时,场蒸发的影响则成为一个关键因素。  相似文献   

5.
利用常规的LEED和高分辨率的SPA-LEED技术研究了标称(337)的Si表面原子结构.经过反复的离子轰击(700eVAr+)和1300K退火之后的这种表面形成稳定的(5,5,12)晶面,即结构周期为(337)+(225)+(337)的有序的原子排列.这一事实说明:Si(5,5,12)是比Si(337)更为稳定的晶面.LEED和SPA-LEED图像证实,稳定的Si(5,5,12)表面为(2×1)原子再构,即沿[110]方向的周期是体内结构周期的两倍,而沿[665]方向的周期与体内结构周期相同.  相似文献   

6.
邓丙成  徐耕  余招贤 《半导体学报》1998,19(12):908-912
本文通过对GaAs(111)-(2×2)表面低能电子衍射(LEED)I-V曲线的分析,首次定量地给出了该表面的复杂结构.结构的主要特征是As三聚体单元吸附在表面T4位置并与下面的As原子相键接,且表面存在较大的表面弛豫.对10个非等价衍射束理论和实验强度曲线之间的比较得到很好的结果.  相似文献   

7.
本文通过对GaAs(111)-(2×2)表面低能电子衍射(LEED)I-V曲线的分析,首次定量地给出了该表面的复杂结构.结构的主要特征是As三聚体单元吸附在表面T4位置并与下面的As原子相键接,且表面存在较大的表面弛豫.对10个非等价衍射束理论和实验强度曲线之间的比较得到很好的结果.  相似文献   

8.
对Pd/W/Si(111)双层膜系统在稳定退火条件下形成硅化物作了研究,实验结果表明:Pd/W/Si(111)双层膜中W单层膜起了阻挡Pd-Si原子互扩散的作用,随着退火温度的升高,Pd,W,Si原子的互扩散不断进行,硅化物首先在W/Si界面处生成。由于PdSix晶粒不断地长大,将W原子推到薄膜的外层,形成了Pd-W原子的分布反转。这样在Si衬底的界面处形成了硅化物的浅接触,而薄膜的外层形成了...  相似文献   

9.
在Si(001)-2×1表面上沉积碱金属K,接着在室温下吸附一定量的H2O,光电子谱证明:K的存在有促进H2O分解和使Si氧化的作用.但其作用是局域在K原子附近的.  相似文献   

10.
本文通过对工艺条件的控制,获得了铜系混合导体材料Cu2Mo6S7、7、Cu2Mo6S8.0及Cu4Mo6S8.0.x射线衍射物相分析表明为Mo6S8结构的单相,并采用分析化学方法对其化学计量进行了分析,通过测试得到了三种混合导体的总电导率σ和离子电导率σi·当混合导体Cu2M06S7、7与固体电解质Rb4Cu16I7Cl13复合后可改善其电化学性能,复合比为2:1时,总电导率σ和离子电导率σi可达75(Ω·cm)-1和7×l0-2(Ω·cm)-1。  相似文献   

11.
有机薄膜衬底ITO透明导电膜的结构和光电特性   总被引:5,自引:0,他引:5  
我们用反应蒸发法在氧分压2×10-2Pa、衬底温度80~240℃条件下蒸发铟-锡合金,在有机薄膜衬底上制备出ITO膜,并研究了其结构和光电特性随制备衬底温度的变化.制备膜的最佳取向为(111)方向,迁移率为20.7~36.7cm2·V-1·s-1,载流子浓度为(1.7~4.4)×1020cm-3,适当调节制备参数,可得电阻率为6.63×10-4Ω·cm、在可见光区透过率达82%的有机薄膜衬底ITO膜  相似文献   

12.
本文主要以电子显微镜为手段研究了离子注入形成的TiSi2薄膜的微观结构,发现了一种新的TiSi2相,初步确定它为简单正交结构,点阵常数与已知的C49-TiSi2相等,并发现新的TiSi2可向C49-TiSi2转化;在800℃条件下保温30分钟,C54-TiSi2可在Si(111)基片上外延生长,取向关系为:「121」TiSi2「110」si,(111)TiSi2(111)si。  相似文献   

13.
CSD法制备PZT/Bi2Ti2O7薄膜的研究   总被引:1,自引:0,他引:1  
用化学溶液分解(CSD)法制备Pb(Zr0.5Ti0.5)O3(PZT)和Bi2Ti2O7薄膜,利用X-射线衍射技术研究了以Bi2Ti2O7为籽晶层的PZT薄膜的结晶性。实验结果表明,以高(111)取向的Bi2Ti2O7为籽晶层可获得高结晶性的PZT薄膜,在750℃退火10min的PZT/Bi2Ti2O7薄膜具有单一的钙钛矿相。  相似文献   

14.
采用计算机控制的快速辐射加热、超低压CVD(RRH/VLP-CVD)方法生长了Si/Si0.7Ge0.3/Sip-型调制掺杂双异质结构.研究了该结构的输运性质,其空穴霍尔迁移率高达300cm2/V·s(300K,薄层载流于浓度ps为2.6e13cm-2)和8400cm2/V·s(77K,ps为1.1e13cm-2).  相似文献   

15.
为了减小硅化物形成过程中消耗的衬底硅,提出添加非晶Si的新方法,并探索了Co/Si/Ti/Si及Co/Si(×7)/Ti/Si多层薄膜固相反应的两种途径.实验采用四探针、XRD、RBS等多种方法对固相反应过程进行了研究,对反应形成的CoSi2薄膜进行了测试分析,并探索了在SiO2/Si及图形片上的选择腐蚀工艺.结果表明,当选择合适的Co∶Si原子比,恰当的两步退火方式及选择腐蚀溶液,两种方法都可以形成自对准硅化物结构.研究了这两种固相反应过程,发现在一定的Co∶Si原子比范围内,这两种方法制备的CoSi2  相似文献   

16.
本文讨论了用MIQ-156四极SIMS仪器对AlxGa(l-x)As中Si进行定量分析的实验方法,考察了测量结果的重复性及x变化时SiRSF的变化规律,在IMS-4fSIMS仪器上进行了对比测试,用Cs+源对(29)Si的原子检测限达到4×10(15)cm(-3).  相似文献   

17.
用Sol-Gel法在以单晶Si(111)为基底材料上制备出了Li2B4O7薄膜,对其工艺过程进行了研究,讨论了主要控制参数的作用。  相似文献   

18.
硅基GaN薄膜的外延生长   总被引:9,自引:1,他引:9  
本文报道采用简便的真空反应法在Si(111)衬底上生长出了六方结构的GaN单晶薄膜,并对GaN薄膜的表面形貌、结晶学性质和光学特性作了研究.SEM表明外延层表面光亮平整,无裂纹出现,XRD图谱上有一GaN(0002)衍射峰,其半高宽为0.5°,室温下的光致发光谱在373nm处有一个很强的发光峰,其半高宽为8nm(35.7meV).  相似文献   

19.
在K-Rb混合蒸气中,使用K光谱灯和染料激光器,将K原子二步激发到7S态,用荧光法测量了过程K(7S)+Rb(SS)→K(4S)+Rb72DJ的碰撞转移截面。Rb72DJ对K7S的荧光比中含有Rb72D能级混合的影响,第二个实验可以消除这个影响,利用Rb光谱灯和染料激光器产生Rb72D3/2态,探测Rb72D5/2对Rb72D3/2的荧光比。在T=425K时,得到K7S→Rb72DJ激发转移截面(10-14cm2单位)分别为2.08±0.77(=3/2)和2.86±1.06(J=5/2)。  相似文献   

20.
1.52μm红外光电探测器   总被引:1,自引:0,他引:1  
利用PtSi与P-Si接触,研制成功肖特基势垒红对光电探测器(简称PtSi/P-SiIR-SBD)。在液氮温度(77K)下,对1.52μm红外光,它的灵敏度为2.69×10-2A/W,量子效率为2.4%,反偏4V时的漏电流为5×10-5μA。此外,对PtSi/P-SiIR-SBD的量子效率进行了计算机模拟计算。  相似文献   

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