N-型ZnSe:Cl的分子束外延生长

本文报道利用分子束外延(MBE)技术,采用高纯ZnCl_2作掺杂源,成功地进行了n—型ZnSe:Cl的分子束外延生长。n-ZnSe:Cl/p-GaAs异质结构的伏-安(I—V)特性和热探针测试显示外延层呈n型导电特性。反射高能电子衍射(RHEED)和x射线衍散谱测量表明ZnSe:Cl外延层具有较好的晶体质量。     

ZnCl2掺杂n型ZnSe的分子束外延生长

利用分子束外延(MBE)技术,以5N的ZnCl2作为掺杂源,在半绝缘GaAs (001)衬底上异质外延生长ZnSe:Cl单晶薄膜.研究发现,掺入ZnCl2后,ZnSe外延层的结晶质量和表面形貌与本征ZnSe外延层相比变差,双晶X射线摇摆曲线(DCXRC)的ZnSe (004)衍射峰半峰宽(FWHM)从432 arcsec增大到529 arcsec,表面均方根粗糙度(RMS)从3.00 nm增大到3.70nm.当ZnCl2掺杂源炉的温度为170℃时,ZnSe样品的载流子浓度达到1.238×1019 cm-3,可以满足结型器件制作和隧道结材料设计的要求.     

光助MOCVD生长p—ZnSe及ZnSep—n结室温蓝色电致发光

用光助低压ＭＯＣＶＤ进行ＺｎＳｅ及ＺｎＳｅ：Ｎ外延层生长，由发光光谱表明，在光助下生长的本征ＺｎＳｅ外延膜具有高质量：ＺｎＳｅ：Ｎ外延层中与Ｎ有关的深中心发射得到有效抑止，其ｐ－ＺｎＳｅ受主载流子深度达３×１０＾１７ｃｍ＾－３。在制备ｎ－ＺｎＳｅ／ＺｎＣｄＳｅ－ＺｎＳｅＱＷ／ｐ－ＺｎＳｅ结构中，在室温下观测到该二极管电脉冲下的蓝色电致发光（ＥＬ）。     

用分子束外延生长高质量p-Ge/N-GaAs异质结

<正>Ge具有较高的空穴迁移率和较小的禁带宽度,并能进行重掺杂,且Ge与GaAs之间有非常好的晶格匹配.这些优点可应用于空穴调制掺杂结构、GaAs-Ge量子限制结构、光晶体管和异质结双极晶体管.     

分子束外延生长的GaAs/GaInP双结电池研究

We report the recent result of GaAs/GaInP dual-junction solar cells grown by all solid-state molecularbeamepitaxy(MBE).The device structure consists of a GaIn0.48P homojunction grown epitaxially upon a GaAs homojunction,with an interconnected GaAs tunnel junction.A photovoltaic conversion efficiency of 27% under the AM1.5 globe light intensity is realized for a GaAs/GaInP dual-junction solar cell,while the efficiencies of 26% and 16.6% are reached for a GaAs bottom cell and a GaInP top cell,respectively.The energy loss mechanism of our GaAs/GaInP tandem dual-junction solar cells is discussed.It is demonstrated that the MBE-grown phosphide-containing Ⅲ–V compound semiconductor solar cell is very promising for achieving high energy conversion efficiency.     

分子束外延

二、引言在现代的科学技术中,随着微波器件、光电器件和光通讯的发展,特别是集成光学的提出,近几年新发展起来一种新的晶体生长技术一分子束外延(MBE)。分子束外延与气相外延(VPE)和液相外延(LPE)不同。它是在超高真空下(10~(10)乇)进行生长,加之装有一些控制设备和分析仪器,可以精确地控制结晶生长,同时还可以进行现场观察和研究结晶生长过程,又能精确地控制生长薄膜的均匀性和厚度,并能进行多种掺杂。用MBE能生长数埃至几个微米厚的高质量单晶薄膜,而用VPE和LPE目前都难以达到。由于上述特点,MBE特别适用于微波器件、光电器件和集成光路的研制,它是一种较为复杂的综合性先进技术。MBE是在蒸发工艺基础上发展起来的。然而MBE作为晶体生长技术是1969年由贝尔实验室J.R.Arthur和A.Y.Cho等人提出的,当时MBE还不完善,但是它的发展速度是相当快的。特别是最近几年,在基础理论和应用方面的研究都很活跃,MBE日     

分子束外延生长GaAs单晶薄膜

本文报导首次用自制的分子束外延(MBE)炉生长GaAs单晶薄膜的初步工艺实验。用一个喷射炉装GaAs多晶作As源,另一个喷射炉装Ga作Ga源。把GaAs(100)衬底腐蚀、清洗后置于衬底台上,调节喷射炉的温度使分子束强度比(As_2)/()Ga为5～10左右,其衬底保持在适当温度时进行外延生长。从电子衍射的花样和外延层厚度等测试结果表明:使用MBE成功地生长出了GaAs单晶薄膜。     

MOVPE生长ZnSe的导电性控制及其在蓝色电致发光中的应用

讨论了在金属有机汽相外延(MOVPE)生长ZnSe过程中,为控制导电性而进行掺杂工艺研究的最新进展,初步获得了一些实验结果。着重阐述了用MOVPE法生长ZnSe及其相关合金在蓝色电致发光中的应用及前景。     

由分子束外延生长的高速GaAs异质结双极光电晶体管

本文报导了一种新颖的异质结光电晶体管(HPT),它采用的是双基区结构,以便使发射极-基极耗尽区置于宽禁带材料中。在半绝缘衬底上制造出了小型的HPT,其最大电流增益β=300。用微微秒脉冲染色激光器已获得响应时间,其上升时间缩短到250ps。FWHM=320ps。     

全固源分子束外延生长InP和InGaAsP

在国产分子束外延设备的基础上,利用新型三温区阀控裂解源炉,对InP及InGaAsP材料的全固源分子束外延(SSMBE)生长进行了研究.生长了高质量的InP外延层,表面缺陷密度为65cm-2,非故意掺杂电子浓度约为1×1016cm-3.InP外延层的表面形貌、生长速率及p型掺杂特性与生长温度密切相关.研究了InGaAsP外延材料的组分特性,发现在一定温度范围内生长温度对Ⅲ族原子的吸附系数有较大影响.最后得到了晶格匹配的In0.56Ga0.4As0.04P06材料,低温光致发光谱峰位于1507 nm,FWHM为9.8 meV.     

用分子束外延法生长InGaN激光二极管

与金属有机化学蒸气沉积法相比,分子束外延法尽管有很多潜在的优点,但是直到最近,一直认为分子束外延法不适合生产以InGaN为基础的下一代光学数据存储用蓝—紫光激光二极管发射器。现在,波兰华沙高压物理研究所的一个小组,用等离子体辅助分子束外延方法,成功地研制出408nm多量子阱激光二极管,器件参数可与早期金属有机化学蒸气沉积方法生产的发射器相比。去年,英国牛津的欧洲夏普实验室,一个小组报导了用分子束外延方法生产的(用氨作氮源)以400nm InGaN为基础的激光二极管,进行了室温脉冲工作。但是,使用氨有危险,并存在技术困难。高压物…     

分子束外延ZnSe/ZnSxSe1-x超晶格光学特性

用分子束外延方法在GaAs(100)衬底上生长了高质量的ZnSe/ZnSxSe1-x(x=0.12)超晶格结构，通过X射线衍射谱和光致发光谱，对其结构特性和光学特性进行了研究。结果表明：在4．4K温度下，超晶格样品显示较强的蓝光发射，主发光峰对应于阱层ZnSe的基态电子到重空穴基态的自由激子跃迁，而且其峰位相对于ZnSe薄膜的自由激子峰有明显蓝移。从理论上分析计算了由变就和量子限制效应引起的自由激妇峰位移动，理论和实验结果相吻合。     

分子束外延低温生长GaAs缓冲层

<正>在低的衬底温度(约300℃)下生长的GaAs层具有较高的电阻率,较小的光敏特性。低温生长的GaAs层用于MESFET作缓冲层,能够消除背栅效应,改善光敏特性等。国外研究结果表明,低温GaAs缓冲层为富砷结。 用国产MBE—Ⅲ型分子束外延设备进行低温生长GaAs层的研究。半绝缘GaAs衬底温度约580℃,生长约50nm GaAs层。反射高能电子衍射(RHEED)的衍射图样为(2×4)结构。然     

分子束外延生长3英寸HgCdTe晶片

报道了用分子束外延的方法制备 3英寸HgCdTe薄膜的研究结果 ,获得的HgCdTe外延材料均匀性良好 ,在直径 70mm圆内 ,组份标准偏差率为 1.2 % ,对应 80K截止波长偏差仅为 0 .1μm .经过生长条件的改进 ,表面形貌获得了大幅度改善 ,缺陷密度小于 30 0cm-2 ,缺陷尺寸小于 10 μm ,可以满足大规模HgCdTe焦平面列阵的应用需求