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磁控溅射镀膜设备可以广泛用于镀膜Ti-N膜,从实用观点看,磁控溅射工艺中的溅射速率的溅射原子空间分布是广泛关心的,沉积在试样表面的溅射原子被认为除了与等离子体的参数有关,还与靶-工件的几何分布有关系。本文研究了真空室中Ti-N膜沉积的空间分。在研究中发值得注意的是溅射量与沉积量作为两个不同的概念严格区分。 相似文献
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7近几年来,镀膜玻璃在建筑行业以及装饰行业已经得到了广泛的应用。而磁控溅射镀膜因其具有高速、低温、低损伤等优点,已经成为真空镀膜技术的主要方式。适用于建筑玻璃镀膜的磁控溅射靶,就其形式有两种:平面靶和同轴圆柱形靶。本文就影响同轴圆柱型磁控溅射靶的溅射性能方面做以下探讨。1磁控溅射原理图1说明如下:电子在电场作用下,加速飞向基片的过程中与氢原子发生碰撞,电离出Ar“并产生电子。电子飞向基片,Ar“在电场作用下加速飞向阴极(溅射靶)并以高能量轰击靶面,使靶材发生溅射。在溅射粒子中,中性的靶原子(或分子)沉… 相似文献
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大面积柔性基底上连续磁控卷绕溅射镀膜技术高速发展.本文主要描述了该类设备在镀膜均匀性方面的不足和关键因素,并着重通过理论计算分析了抽气结构对溅射室压力均匀性的影响,最后提出了优化的充气与抽气管道设计.通过试验证明所设计的可调整的抽气结构能够很好满足镀膜均匀性要求. 相似文献
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旋转式圆柱形磁控溅射靶的磁场计算 总被引:1,自引:3,他引:1
类似于矩形平面溅射靶的磁场和旋转式圆柱形的靶筒组成旋转式圆柱形磁控溅射靶。与常规的圆柱形磁控溅射靶相比较,该旋转式靶提高了靶材利用率和膜厚均匀度。本文介绍了旋转式圆柱形靶的结构和磁场计算方法,给出了计算公式、数据及其特性曲线。强度适度和均匀分布的磁场,保证了溅射靶的工作性能,并为靶结构的设计提供了依据。 相似文献
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随着中国5G商用大幕正式拉开,5G已成为数字经济转型的关键基础设施,并逐渐向社会各领域扩散与渗透。5G产业链非常广泛,包含零部件、主设备、运营商和下游应用。真空技术作为一门与应用科学紧密结合的现代基础科学,在5G产业链中有着广泛的应用。从5G基站中材料和器件的制备过程、承接网中光通信器件的真空检漏到5G手机、VR/AR设备、无人驾驶汽车中核心零部件的制备等,真空技术都参与其中并广泛应用。 相似文献
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本文主要介绍了全玻璃真空集热管镀膜设备的发展历程,重点描述了集热管镀膜设备发展过程中的重大改进,以及镀膜设备提高生产效率和节能降耗的方法,对其他行业镀膜设备的发展和改进有一定的借鉴意义。 相似文献
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本文主要介绍了制备四米槽式太阳能真空集热管的间歇式单体镀膜机和自动连续镀膜线,对两种类型设备的优缺点和存在的问题进行了对比分析,可以为其他行业镀膜设备的设计改进提供借鉴. 相似文献
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Odysseas Paschos 《Thin solid films》2008,516(12):3796-3801
An atmospheric pressure aerosol assisted deposition method has been developed to grow highly oriented nanoparticles and thin continuous films of platinum on a variety of substrates for applications such as catalysts including their use in proton exchange membrane fuel cells. Pt nanoparticles with sizes ranging from 4 nm to 78 nm were synthesized on Si, silicon dioxide coated Si substrates and carbon nanotubes. The size and density of the nanoparticles was found to depend strongly on the precursor carrier gas flow rate and deposition time. The particles showed preferential orientation of (111) that was independent of substrate used. The resulting nanoparticles were characterized by Scanning Electron Microscopy, X-ray Diffraction Spectroscopy and X-ray Photoelectron Spectroscopy in order to obtain information about their morphology, crystallinity and composition. The method developed can deposit uniform coatings of highly oriented, pure Pt nanoparticles without the need of any substrate pretreatment such as surface functionalization, deposition of seed layer for electrodeposition on insulating or semiconducting substrates, and without the use of expensive vacuum equipment. 相似文献
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High surface area materials can have a number of applications including use as pyrophoric devices, sensors, laser mirrors, filters, thermal barriers and catalysts. The aim of this work was to deposit highly porous thin films capable of undergoing a spontaneous pyrophoric reaction and igniting a suitable substrate material. Magnetron sputtering was the chosen deposition technique as it enables reproducible deposition of coatings, with closely controlled, almost uniform, thickness and morphologies over extended surfaces.A number of magnetron magnetic configurations were investigated and deposition conditions were varied in order to control the surface area of the films and, thereby, optimise the pyrophoric behaviour. As a consequence, pyrophoric coatings were produced with ignition temperatures dependent on the deposition conditions and substrate material/topography. When deposited on combustible substrates, these coating/substrate systems formed simple pyrotechnic devices in a one-stage process. The main thermal signal emitted by these devices was dependent on the substrate material only. 相似文献
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中国科学院近代物理研究所从历次的大科学装置建设中,积累了大型真空腔体、超高/极高真空系统以及强流重离子加速器真空系统等设计经验。为了获得超高/极高真空系,从真空设备选择、材料处理、密封形式以及在线烘烤等方面形成了一套完整的工艺流程;在强流重离子加速器(High Intensity Heavy ion Accelerator Facility,HIAF)真空系统研制过程中,为了减小磁铁气隙尺寸,大幅度降低磁铁造价及电源运维成本,提出陶瓷内衬薄壁真空室新方法,并研制了原理性样机;为了有效控制HIAF未来运行过程中的动态真空效应,设计了束流准直器,开展了真空材料解吸率测量研究;为了解决高放射性区域真空系统的维护问题,提出了自重密封结构,同时研制了充气膨胀密封法兰;为了进一步优化高精度环形谱仪真空度,开展低温极高真空系统研究。 相似文献
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目的 对新型流体储运装备真空测量装置的设计和试验进行系统研究,解决传统装置存在的量程不足、残留气体内漏等问题,验证装置漏率在环境试验中的变化,同时开展批量安装及真空测量应用。方法 运用FEM对新型真空测量装置的受力进行分析;采用氦质谱仪泄漏检测技术对环境试验前后的新型真空测量装置以及传统样品的漏率进行对比测试。结果 新型真空测量装置的初始漏率达到10-10Pa·m3/s;经过环境试验后新型真空测量装置的漏率未发生明显变化,传统装置的漏率在环境试验后明显上升。结论 新型真空测量装置所采用的热电偶&热阴极复合真空规,实现了流体储运装备夹层的真空度全量程测量,并满足易燃介质储运过程中的电气防爆要求。所增加的补抽真空结构可以有效防止真空测量装置的残留气体内漏。所采用的“CF法兰+无氧铜”密封结构具有很好环境适应性和较低的真空泄漏风险,同时也首次通过试验验证了真空测量装置的漏率在环境试验过程中的变化。 相似文献
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蓝宝石输出窗的成功封接 总被引:2,自引:0,他引:2
基于多弧离子镀技术,结合特殊的封接结构和工艺技术,成功地实现了蓝宝石输出窗的真空气密封接.通过试验,证明封接的蓝宝石输出窗具有良好的真空气密性能、抗热烘烤冲击能力、较好的抗拉强度.这一成功为我国发展高功率和高频率真空微波、毫米波器件奠定了基础. 相似文献