数字掩模技术

数字掩模技术的核心器件是数字微镜芯片,它具有较高的分辨率和灰度等级等优点。利用计算机辅助设计绘制的掩模图形经IO口输入到数字微镜芯片中的SRAM,从而控制无数多个微小镜片的翻转,实现掩模图形的数字化输出。结合高倍精缩投影系统,可快速实现图形转印。为进一步说明该技术的可行性,进行了实验验证。由于实验条件的限制,文中仅实现了2.2μm最小线宽的制作。利用该技术成功制作了5×5达曼光栅、8台阶闪耀光栅和菲涅尔透镜。     

数字掩模制作控制系统误差特性研究

数字化掩模制作系统的核心控制部件是数字微镜。文中系统分析了数字微镜控制系统对数字化掩模制作系统精度的影响。指出误差来源主要为数字微镜帧刷新率、像素黑栅效应、像素量化和调制非线性等因素,并分别提出了相应的误差修正或补偿方法。提高系统的精缩倍数、像素分辨率以及占空比,可以降低这些误差来源的影响。     

基于数字微镜的高质量精缩投影光刻系统的研制

文章详细介绍了数字微镜系统总体设计,并进行了实验验证。数字微镜如果结合高质 量的高倍精缩投影光学系统,完全可实现亚微米级衍射微光学元件的制作。最后对系统特点和系统误差进行了总结。     

数字灰度投影光刻技术

随着MEMS和MOEMS技术的发展和器件制作对低成本、灵活、高效的需求,数字灰度无掩模光刻技术已成为人们研究的热点。介绍了一种基于数字微镜器件(DMD)的无掩模数字灰度投影光刻技术,结合电寻址数字微镜阵列的工作方式,分析了DMD的灰度调制机理和投影成像特性;阐述了DMD微镜结构与投影系统的倍数、数值孔径的关系;设计了投影光刻系统,并进行了分辨力和三维面形的曝光实验。实验结果表明,数字灰度投影光刻技术灵活、方便,尤其在三维浮雕微结构的制作方面,可实现光刻灰度的数字化调制,表面粗糙度可达0.1μm。     

用于衍射微光学元件制备的无掩模光刻技术

提出了一种新的基于数字微镜的无掩模光刻技术,将以往的模拟掩模发展为数字掩模,为大规模、快速、灵活制作衍射微光学元件开辟了一条新的道路;重点研究了数字掩模技术的实现原理,并进行了验证。     

基于数字微镜器件的朗契检验

将传统的朗契检验原理、数字微镜器件和同位相探测方法结合起来,快速、较高精度地检测球面非球面透镜或大量值波像差.用数字微镜器件作为记录介质,代替普通的照相胶片,实时记录计算全息图.实验时先通过编制的程序,在计算机的控制下,在小数字微镜器件上显示一个光栅图像.然后将此小数字微镜器件放入朗契检验装置中.通过程序让光栅像移动与转动,并相应拍摄一系列朗契图像.最后进行分析计算.它的优点是代替普通的光学光栅和步进电机,并在测试中不要实际地移动与转动光栅.这样去除了因电机移动和光栅转动引起的测量误差,节省了时间.分析了数字微镜器件在光电测试中的应用特性.用同位相探测方法对球面进行了测量与计算,并进行了此球面的波面复原,给出了波像差的二维、三维图.     

一种数字光栅无掩模光刻对准方法

针对数字微反射镜装置(DMD)无掩模光刻系统,提出并研究了一种数字光栅无掩模光刻对准方法,将硅片的微位移放大显示在数字光栅与硅片物理光栅叠加产生的叠栅条纹中。建立了基于DMD的数字光栅无掩模光刻对准模型,设计了对准标记以及具体的实现方案,并对模型进行了数值仿真和初步的实验验证。结果表明,采用频率可变、图像干净、具有良好周期性结构的数字光栅代替传统的真实掩模光栅,真正实现了零掩模成本;并且采用变频率数字光栅可以扩大测量范围,减小位移测量误差。最终可以实现深亚微米的对准精度,满足目前无掩模光刻对准精度的要求。     

基于DMD的数码全息光刻系统

利用DMD空间光调制器与计算机的良好接口和控制系统的可编程性,将其作为二维图像发生器介入激光直写系统;采用高质量相机镜头,设计了基于DMD数字微镜的激光面阵干涉成像系统和相关的光刻软件,并进行了实验,制作了缩微图像、数字掩模灰度图像和激光数码全息图像等.     

一种制作凹形聚二甲基硅氧烷微透镜阵列的方法

提出一种制作凹形聚二甲基硅氧烷(PDMS)微透镜阵列的方法。用数字微镜器件(DMD)代替物理掩模,建立数字灰阶无掩模光刻系统,在光刻胶上制作正方形基底凸形微透镜阵列,以此阵列为母板,采用复制方法,制作了高填充因子的正方形基底凹形PDMS微透镜阵列。实验和测试结果表明:数字灰阶无掩模光刻系统制作的微透镜阵列表面光滑,形貌良好;复制的PDMS微透镜阵列边缘清晰,表面光滑,焦面光斑光强均匀。为制作凹形微透镜阵列提供了一条制作简单、效率高、成本低、可大规模制作的新途径。     

数字光刻系统的IC版图数据接口算法的研究

针对基于数字微镜阵列(DMD)的数字无掩模光刻系统,提出了一种新型IC版图数据接口转化算法,建立了版图数据到曝光数据的转化接口.该接口根据数字光刻系统的需求,以IC版图中工艺层为单位,在保证曝光精度的前提下,可以自动将高精度的IC版图数据转化为与DMD同像素结构的灰度数据.接口兼容GDSⅡ和CIF两种工业标准的IC版图数据,接口算法可以处理这两种IC版图数据中出现的所有基本图素.同时,利用矢量几何计算的方法,成功地解决了自交、重叠等特殊图素或以特殊方式组合图形的转换问题.实验证明,本接口算法具有低复杂度、高精度、高效率的特点,可以作为数字无掩模光刻系统有效的IC版图数据处理通道,对大规模集成电路的制作具有现实意义.     

基于数字指纹的数字版权标识技术

针对互联网领域版权保护面临的挑战,介绍了一种新的版权公共服务新模式：数字版权标识符体系及其总体技术框架,并分析了基于数字指纹的数字版权标识技术,该技术对于数字版权标识符体系中数字版权监测取证功能的实现具有一定的意义。     

基于微软CryptoAPI的数字签名和数字信封的实现

针对网络信息安全需求的特点,结合数字签名技术,论文介绍了在Visual C 开发环境下使用微软加密应用程序接口CryptoAPI实现数字签名和验证过程以及数字信封的打包和拆解过程,实际运行表明能够满足网络环境下的保密需求。     

基于数字水印技术的数字印章研究与实现

针对办公自动化系统中电子文档的安全问题,对 Hash 函数和数字签名技术在实现文档完整性和真实性进行分析,提出了将文档的数字签名作为水印嵌入印章图像的新方案.结合COM技术和Microsoft CrytoAPT加密接口,给出了基于数字水印技术的数字印章的实现思路.研究表明,该方案适用于传统文档和电子文档,能保证文档的完...     

互联网数字版权课题研究

论文试图概括和总结国内外的最新研究动向,研究出网络数字化信息中的各种侵权行为与相应责任,并进行相应的分析和评论,希望能对我国版权立法工作有所裨益。     

文本水印在数字版权管理中的应用研究

为了提高数据版权管理(DRM)安全性,在DRM中用数字水印技术补充数据加密的不足,加强数字版权保护的最后保障,提高文本的安全性.     

基于数字集成电路的数字式智能电压表的研制

为了解决一般数字电压表自动转换量程、被测电压极性判断、幅度变换、超量程显示及报警信号等智能化问题,采用数字电路芯片,通过数字逻辑控制关系实现电压表使用功能的智能化。阐明了电路设计原理,介绍了电路系统的组成、各部分电路的功能及特点、电路元件的选择、信号处理的过程等内容。通过实物验证,实现了设计功能,并由此设计得到了一台自制数字式智能电压表。     

数字水印在数字标签技术中的应用

通过分析现有电子文件保护技术的不足,引入了数字标签技术。针对数字标签与电子文件绑定过程中存在的安全问题,提出引入数字水印技术作为传统密码学技术的补充,将数字标签数据作为水印信息均匀地嵌入整个电子文件,使得数字标签数据成为电子文件的内在属性,实现标签数据与电子文件不可剥离的紧密绑定,从而增强了数字标签与电子文件绑定关系的安全性和可靠性。     

数字图像的光电处理对数字水印的影响

本文研究了光电转换对数字水印的影响,提出了可应用于光电转换的鲁棒性的数字水印算法和科研思路,并给出了实验结果。     

雷达数字波束形成器的研究与实现

介绍了一个自适应数字波束形成器的原理、组成和实现方法，给出了实验结果，验证了一些关键技术，表明数字波束形成(DBF)技术可提高雷达天线性能。     

数字TFT-LCD驱动电路实验研究

结合有源矩阵液晶显示器件及其驱动技术的发展,分析了TFT-LCD驱动技术研究现状,详细讨论了实现动态画面的数字TFT-LCD驱动电路系统的工作原理与实现。介绍了一种用于6位数字屏的全新TFT-LCD驱动电路,该电路显示控制采用芯片MST501V,它内置有TCON、一个Scaling Engine,并提供OSD功能。通过电路实验,实现了动态图像画面,取得很好的显示效果。