质子交换铌酸锂波导的退火工艺

介绍了质子交换铌酸锂波导的制作工艺,比较分析了不同切向、不同退火温度、不同退火时间下铌酸锂波导的特性。     

z-切割铌酸锂质子交换平板波导的退火过程研究

研究了退火质子交换LiNbO3平板波导的制作和表征 ,应用“选择零元法”研究了退火后折射率分布 ,建立了波导参数和制作条件的联系 ,获得了导波层的色散关系 ,所得到的表征结果对退火质子交换波导在光子器件中的应用提供了有用信息     

铌酸锂退火质子交换光波导的有限元法分析

本文用有限元(Ｆｉｎｉｔｅ Ｅｌｅｍｅｎｔ Ｍｅｔｈｏｄｓ－ＦＥＭ)的数值计算方法分析了铌酸锂晶体中的退火质子交换(Ａｎｎｅａｌｅｄ Ｐｒｏｔｏｎ Ｅｘｃｈａｎｇｅｄ－ＡＰＥ)光波导,并给出了对应于不同退火时间的铌酸锂光波导的有限元精确数值分析结果．     

质子交换铌酸锂波导MMI光功分器

利用三维非旁轴近似光束传输法对退火质子交换铌酸锂渐变折射率分布波导中的自镜像效应进行分析与模拟 .在此基础上 ,利用退火质子交换技术在 X切 Y传铌酸锂衬底上进一步制作了 1× 8MMI光功分器 .测试表明器件实现了 1路分成 8路的光功分功能 .     

质子交换铌酸锂波导MMI光功分器

利用三维非旁轴近似光束传输法对退火质子交换铌酸锂渐变折射率分布波导中的自镜像效应进行分析与模拟.在此基础上,利用退火质子交换技术在X切Y传铌酸锂衬底上进一步制作了1×8 MMI光功分器.测试表明器件实现了1路分成8路的光功分功能.     

十八酸质子交换铌酸锂光波导的性能及其退火性能的研究

报道了采用十八酸作为质子源制作的铌酸锂光波导的性能及其退火对波导性能的影响，给出了退火前后波导层中非常光有效折射率的剖面分布，得出了质子交换的扩散参数和波导层的表面非常光折射率的增量．给出了波导层的表面非常光折射率的增量和扩散深度的增量与退火时间的指数关系．     

低损耗退火质子交换光波导弯曲损耗分析

波导弯曲部分是出现波导辐射损耗最大的地方，所以在设计弯曲波导时，有必要对波导的这部分进行优化设计处理。该文利用电磁场理论，完成对余弦形分支光波导弯曲部分损耗的数学建模．最后针对铌酸锂基片上，用退火质子交换法生成的分支光波导进行数值仿真。     

LiNbO3质子交换光波导退火特性的研究

本文报道ＬｉＮｂＯ３质子交换波导的退火特性。用ＩＷＫＢ法计算了热退火前后的折射率分布，并采用广义高斯函数对计算出的折射率分布曲线进行了拟合，反映出该函数能准确而灵活地描述退火质子交换光波导的折射率分布及其变化。在实验中发现，高温下较长时间退火，导模消失。     

退火质子交换法制作LiNbO_3光波导

文章介绍了退火质子交换机理和制作LiNbO3光波导的工艺过程。     

Mach-Zehnder Type Annealed Proton Exchange Waveguide and Coplanar Waveguide Modulation Electrode LiNbO3 Intensity Modulator

The characteristics of a conventional LiNbO3 intensity modulator made up of a Mach-Zehnder （MZ） type annealed proton exchange（APE） waveguide and coplanar waveguide（CPW） modulation electrode are presented. The APE waveguide characteristics and their relations with process parameters are analyzed. At the same time, the electrical characteristics of modulation electrode, such as modulation voltage, microwave effective index associated with modulation bandwidth, characteristics impedance, are also investigated in detail.     

LiNbO3质子交换光波导偏振器的研究

研制了632.8 nm光波段X切Y传Ti扩散铌酸锂质子交换光波导偏振器.从理论上分析了钛(Ti)扩散及质子交换(PE)LiNbO3波导折射率改变机理,以及影响器件性能的各种因素.实验结果与理论计算符合良好,达到了集成光路中对器件的偏振要求,为其他类型偏振器的研制提供了理论依据.     

退火质子交换法制作LiNnO3光波导

文章介绍了退火质子交换机理和制作光波导的工艺过程。     

LD端面抽运Nd:MgO:LiNbO3质子交换波导激光器

报道了 Nd:Mg O:L i Nb O3 波导激光器的研制。在掺有 Nd和 Mg O的 x切 Li Nb O3 晶片上利用退火质子交换法制作单模光波导 ,用波长为 0 .814μm的半导体激光器作为抽运源 ,以波导两端面本身作为反射镜 ,研制成了波导激光器 ,获得波长为 1.0 84 μm的激光输出 ,其阈值功率为 3.5m W,斜率效率为 16 % ,最大输出功率为 1.2 m W。     

缓冲质子源LiNbO3波导折射率计算及实验

为实现铌酸锂退火质子交换(APE)波导折射率分布的准确计算,选择含苯甲酸锂的苯甲酸缓冲液作为质子交换质子源,高温退火制作了波导样本.针对该工艺过程建立退火质子交换波导模型,包括非线性扩散模块和光学数值仿真模块,分别计算APE波导折射率及其模式有效折射率.以测得的样本波导模式有效折射率和计算的有效折射率差的均方根构建评价函数(FOM),结合遗传算法提取该工艺条件下质子扩散参数,实现了不同交换深度和退火时间波导折射率分布及其光学特性的一体化计算.实验表明:FOM小于0.001,计算折射率分布同IWKB方法测得结果吻合较好,最大偏差约0.002.     

一种新型LiNbO3光波导调制器的准静电分析

本文提出利用共面微屏蔽线实现新型结构的铌酸锂光调制器，并利用保角变换的方法计算该结构调制器的特性阻抗，等效折射率，调制宽，并根据此计算结果算出所需的调制电压。结果表明昨用该结构有效地减小了调制器的速度失配，增加了调制带宽，是一种可行性的方案。本文并根据计算结果填充了较理想的调制器的尺寸大小。     

铌酸锂波导调制器的相位漂移机理

铌酸锂波导调制器的相位漂移是其主要失效模式之一.分析了外电场、温度、机械应力等外场作用对铌酸锂波导调制器相位稳定性能的影响,并提出了相应的解决措施,以提高铌酸锂波导调制器的调制相位稳定性.