采用不同反应气源制备的Si3N4薄膜的特性比较

采用低压化学气相淀积系统,分别采用硅烷和二氯二氢硅作为反应气体源与氨气反应,制备了S3N4薄膜,并对其特性进行了比较.实验结果表明,采用二氯二氢硅源与氨气反应制备的薄膜特性优于另一种气源.讨论了使用硅烷和二氯二氢硅源分别制备Si3N4薄膜的优缺点.     

三色碳纳米管场发射灯的研制

报道了以粉末状碳纳米管为原料用丝网印刷法制备图形化的碳纳米管阴极的技术。采用热处理和氢等离子体表面处理方法提高了丝网印刷法制备的碳纳米管阴极的场发射性能，处理后阴极的阈值场强从4V／μm降到～1V／μm，场发射电流密度在4．5V／μm时达到了2．53mA／μm^2，发射点密度从～10^3／cm^3增加到～10^5／cm^2。在此基础上，成功地设计和封装了三极管结构的三色高亮度碳纳米管场发射灯器件。     

氯胺酮对He-Ne激光照射促人正常皮肤成纤维细胞增殖作用的影响

针对动物模型伤口的光生物调节作用，用He-Xe激光对人正常皮肤成纤维细胞增殖的促进作用作为细胞模型．研究了麻醉药氯胺酮的影响。用MTT法测定细胞增殖作用。分别研究了1．56mW／cm^2He—Ne激光(0，10，30，100和300s照射)对人正常皮肤成纤维细胞的增殖作用和氯胺酮(0，0．6，1．2和2．0μg／mL)预处理划He—Ne激光(300s照射)细胞增殖作用的影响。氯胺酮(0．6，1．2,2．0μg/mL)预处理能抑制468．7mJ／cm^2He—Ne激光促人正常皮肤成纤维细胞增殖的作用。这说明动物实验中用于麻醉的药物可能对激光促进伤口愈合的实验结果有影响。     

用气相色谱法测定半导体工艺中固、液、气相砷、磷及化合物的新方法

本文研究了一种快速、灵敏、可靠的高温氢还原—气相色谱分析方法，样品不需预处理，使气相色谱仪能直接测定固、液、气相样品中砷、磷及其化合物的含量．砷、磷的检测限分别为0．01mg／L和0．003mg／L．相对偏差分别为6．2％和8．6％，测定范围为10－5～10－11．并与经典方法进行对比，结果一致．     

用光波导提高拉曼光的转换效率

用波长为1．064μm的Nd：YAG激光器作泵浦源泵浦氢拉曼池，在氢拉曼池中放置充有高压氢气的波导管，观测到波长9．18μm二阶斯托克斯光输出。泵浦能量为25mJ时其输出能量为19．1μJ考虑40％的锗片损耗，二阶斯托克斯光的转换效率为0．13％     

超细钼粉的活化还原制备方法

本文在低温下经一次纯氢还原后由添加加某些氯化铵的仲钼酸铵制备超细钼粉的可调变量及其应用。用此方法制备的钼粉，其ＢＥＴ平均粒度为０．１微米且粉末具有良好烧结性能。论述了还原机理，估计还原过程的反应激活能（量）为６５．２ＫＪ／ｍｏｌ。     

不同方式递送质粒DNA诱导体内表达效果的实验研究

目的比较不同途径递送质粒DNA至Balb／c小鼠体内所诱导的报告基因表达效果。方法将编码荧光素酶（1uc3蛋白的重组质粒（pGL-3-CMV）或空载体质粒pGL-3-basic以肌肉注射或电脉冲方法将10μg或100μg上述质粒注入小鼠股四头肌，基因枪法以三枪接种质粒于小鼠腹部（2μg质粒DNA／4．5Mpa／枪）。于质粒注入后24～144h，检测小鼠体内的荧光素酶活性。结果肌肉注射10μg的小鼠未检测到荧光素酶的表达；肌肉注射100μg、电脉冲法递送10μg和100μg质粒的小鼠，接种后48h体内荧光素酶活性达到峰值，递送100μg的小鼠体内表达量明显高于10μg的小鼠。基因枪免疫小鼠在接种24h达到峰值。结论电脉冲和基因枪介导的基因递送方式基因表达水平远远高于传统注射方法，是基因疫苗免疫递送的可靠方法。     

二氯硅烷外延工艺的进展

本文讨论了用二氯硅烷外延淀积硅的最新研究结果。附带地也给出了利用二氯硅烷淀积多晶硅和氮化硅膜的结果。当淀积温度改变时,由二氯硅烷外延硅膜的淀积速率的变化是很小的。能够以高淀积速率和在比四氯化硅方法低100℃的温度下,生长出具有良好晶体质量的均匀外延膜。讨论了二氯硅烷与其他硅源相比较在经济上的收益。还给出了关于物理特性和操作技术的资料。     

一种新型的锥尖制作方法研究

主要介绍利用反应离子腐蚀和等离子腐蚀相结合的方法制作真空微电子压力传感器中锥尖阵列。探讨合理选择制作材料，优化锥尖形状，锐化锥尖尖度，以提高传感器灵敏度，增大阴极锥尖的发射电流。测试结果表明：优化的锥尖发射电流在电压为3V时可达0．2nA，灵敏度为0．1μA／g。     

SOI近红外Si0.8Ge0.2／Si横向pin探测器的研制

给出了SOI近红外Si0.8Ge0.2／Si横向pin光电探测器的设计和制作过程。对制得的样管进行了典型光电参数的测试。测试结果表明，探测器的响应波长范围为0．4～1．3μm，峰值响应波长在0．93～0．97μm，峰值波长下响应度达0．38μA／μW，与Si光电探测器相比，出现明显的响应波长范围和响应峰值波长红移，光电性能达到了预先的设计目标。     

一种双路输出低压差电源的研制

文章介绍了一种CMOS双路输出低压差电源。电路设计中，采用E／DNMOS基准，用PMOS管作调整管；电路实现采用1．5μm硅栅自对准E／DCMOS工艺。该低压差电源可提供输出电流为1A的3．3V固定输出(压差为0．6V)和1A可调输出，并具有短路保护和过压保护等功能。     

铁电薄膜Bi3.2Nd0.8Ti3O12的制备及其特性的研究

用脉冲激光淀积法成功地在p-Si底片上制备了高c轴取向的Bi3．2Nd0．8Ti3O12铁电薄膜，研究了薄膜的铁电性能及疲劳特性。研究表明，用钕Nd替代Bi的3．2Nd0．8Ti3O12薄膜具有较好电滞回线（P-E），在应用电压为10V，测试频率为1MHz下，其剩余极化（Pr）及矫顽场（E）分别达到27μC／cm^2和70kV／cm。更为重要的是，Au／Bi3．20Nd0.80Ti3O12／p-Si（100）电容在读／写开关次数达到10^10后仍表现出较好的抗疲劳特性。     

具有超高矫顽力的铁粉

本文叙述的是商品化的通常使用的用氢气还原针状铁黄而制得的矫顽力大于2000－Oe的金属铁粉。Nd^3 或Ce^3 与B^3 离子一起被吸附在铁黄粒子的表面。电子显微镜照片表明，铁粉粒子的表面很光滑、极少有孔洞。颗粒彼此之间不粘连。颗粒的最佳尺寸是：长度约0．13μm，宽度约0．02μm。这种铁粉的比表面积是38m^2/g，比普通金属磁粉的比表面积值低得多。其超高矫顽力的主要来源，是因为颗粒具有非晶氧化铁层与铁芯耦合的独特微观结构，这种结构决定了铁粉粒子的单畴特性。     

蓝绿光咽后壁组织的光学和荧光特性

对488nm和514．5nm鼻咽癌荧光成像定位系统的灵敏度和成像的对比度进行了实验比较,得到猪离体咽后壁组织光学穿透深度为0．65nm、488nm和0．85mm、514．5nm,二者均大于鼻咽组织黏膜的厚度;当激发光功率为17．0mW／cm^2、光敏剂血卟啉单甲醚(HMME)在生理盐水溶液浓度为5μg／mL时,488nm的荧光产额约为514．5nm的1．3倍;ITT9800C第3代像增强器光阴极面上488nm辐射背景光比514．5nm的响应度低。液体光学模型的系统实验结果表明：当HMME浓度为3μg／mL、光功率密度为22．7mW／cm^2时,488nm激发光源产生的癌模型图像清晰,而514．5nm辐射产生的荧光像可分辨,所以488nm激光更适合做系统的激发光源。     

正交法制作50μm／50μm精细线路工艺参数的优化

在公司批量生产HDI板最小线宽／间距为75μm／75μm能力的基础上制作了线宽／间距为50μm／50μm的精细线路,试验用LDI曝光机曝光后再用正交试验法的L9（3^4）正交表安排了显影速度、蚀刻速度、显影压力、蚀刻压力四因素试验,选取线宽和蚀刻因子作为指标。通过对两个指标的综合分析,试验得到最佳工艺参数为：显影速度为4．0m／min,显影上压力为0．18MPa,下压力为0．15MPa,蚀刻速度为4．5m／min,蚀刻上压力为O．28MPa,下压力为0．25MPa。     

校准λ／4波片和λ／2波片的简单方法

本文叙述出一种校准λ／4和λ／2波片的简便方法，对λ／4波片的校准误差小于0．1度，对λ／2波片的校准误差小于0．5度，方法简单，精度高。     

用于测量神光Ⅱ装置进黑腔靶3ω激光能量的大口径能量计

给出了大口径激光能量计的技术参数：接收口径φ300mm，绝对灵敏度优于100μV／J，适用波段0．3～1．2μm，响应时间不超过40s，冷却常数小于0．0016S-1，功率负载密度1010W／cm2，能量负载密度5J／cm2，测量重复精度±2％，整机不确定度±5％。经考核可以满足3ω激光进黑腔靶2000J激光能量测量的需要。     

S波段低功耗单片集成低噪声放大器

报道了S波段低功耗单片前置放大器的研制结果。该单片电路采用1μm×600μmGaAsE－MESFET、源反馈电感以及具有平面结构的集总参数LC匹配元件。用离子注入技术保证电路具有较好的一致世。在2．3GHz频率点测试结果如下：Ga＝80dB，NF＝2．06dB／2．0V，2．2mA；Ga＝10．5dB，NF＝2．25dB／3．0V，4．8mA。测试结果与设计目标基本一致，这一结果说明在低功耗应用选取GaAsE－MESFET作有原器件是可行的。     

ADXL362：微功耗三轴MEMS加速度计解决方案

ADI公司的ADXL362是微功耗三轴MEMS加速度计,数字输出,加速度范围为±2g／±4g／±8g,工作电压1．8V-3．3V,电源电压2V和100Hz输出数据速率时的功耗为2μA,运动触发叫醒模式的功耗为300nA,器件提供12位输出分辨率．8位格式的数据,在±2g范围的分辨率为1mg／LSB。主要用在助听器、家庭保健设备、运动使能电源开关、无线传感器和运动使能计量设备。     

聚合物脊形光波导设计

用5层非对称平面波导理论和等效折射率法(ERIM)分析了金属电极对聚合物脊形光波导横向模式特性及其传输损耗的影响。计算结果表明：在工作波长1．55μm波段,当常规脊形光波导的芯层厚度大于0．8μm、包层厚度大于3．0μm时,才能保证传输损耗的理论极限小于0．1dB／cm;当脊波导刻蚀深度为0.l一0．2μm、对应脊波导宽度为7—5μm时,可满足脊波导横向单模传输。