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相似文献
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1.
1 激光干涉仪 雷尼绍(RENISHAW)公司激光干涉仪可对机床、三坐标测量机,印刷线路板钻床及定位装置进行高精度的精度校正。可完成按标准测量各项几何特性,如线性位置精度,重复定位精度、角度、对角线、直线度、垂直度、平行度及平面度等。但其性能指标高,分辨率达0.001μm,在0℃~40℃车间工作环境下测量精度达±1.1ppm,线性测量速度达1m/s,最  相似文献   

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雷尼绍(RENISHAW)公司的先进技术1.激光干涉仪雷尼绍的激光干涉仪可对机床、三坐标测量机、印刷线路板钻床及定位装置进行高精度的精度校正。可测量各项几何特性,如线性位置精度、重复定位精度、角度、对角线、直线度、垂直度、平行度及平面度等。但分辨率达...  相似文献   

3.
高精度快速机床检测系统雷尼绍公司王晓昱本文介绍了雷尼绍公司生产的机床检测系统,采用雷尼绍公司的这些机床检测系统可以提高机床的生动化水平和加工精度。1.激光干涉仪雷尼绍公司激光干涉仪可对机床、三坐标测量机及定位装置进行高精度的精度校正。如线性位置精度、...  相似文献   

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<正>1引言激光具有高强度、高度方向性、频率稳定、高度单色性等优点。激光干涉仪作为精密测量的手段得到广泛应用,在精密机床精度检测方面,可检测数控机床定位精度、重复定位精度、微量位移精度等。激光干涉仪可配合各种折射镜、反射镜等作线性位置、角度、直线度、平行度和垂直度等测量工作,并可作  相似文献   

5.
针对线结构光传感器各项静态性能参数对其测量精度影响的问题,设计了一套线结构光传感器静态性能测试方案。在高精度移动平台上使用二级量块、纳米定位台和激光干涉仪,对传感器的重要静态性能参数,如稳定性、重复性和线性度进行了分析,量化了各项静态性能参数对传感器测量精度的影响;以二级量块的工作面作为传感器测试试验的测量表面,结合高精度移动平台实现了传感器全测量区域的测试;使用激光干涉仪对移动平台的定位误差进行了补偿,提高了测量结果的可信度。研究结果表明:传感器需1 h的时间进行稳定来保证测量精度,其测量区域的中部重复性最佳,该区域重复性均值为0.418μm;传感器线性度对其测量精度影响最大,由传感器非线性引起的误差最大为11.2μm。  相似文献   

6.
一、球杆仪的介绍 球杆仪是用于数控机床两轴联动精度快速检测与机床故障分析的一种工具。主要由安装在可伸缩的纤维杆内的高精度位移传感器构成,该传感器包括两个线圈和一个可移动的内杆,当其长度变化时,内杆移入线圈,感应系数发生变化,检测电路将电感信号转变成分辨率为0.1μm位移信号,通过接口传入PC机。其精度经激光干涉仪检测达±0.5μm(温度在20℃下)。  相似文献   

7.
羡一民 《工具技术》1996,30(5):43-45
双频激光干涉仪的原理与应用(二)机械部成都工具研究所(610056)羡一民二、双频激光干涉仪在机床检定中的应用机床检定是双频激光干涉仪的主要用途,与传统的检测方法相比,具有以下特点:①可检测项目多。双频激光干涉仪与不同的附件组合,可测量距离、直线度、...  相似文献   

8.
双频激光干涉仪在机床检定中的应用   总被引:5,自引:0,他引:5  
介绍了双频激光干涉仪胡机床检定中检定数控机床位置精度,检定直线度,垂直度和平面度的方法,还介绍了影响测量精度的因素。  相似文献   

9.
在超精密的测量和校准方面,激光干涉仪始终扮演着极为重要的角色。2007年4月12日,畅销全球多年的ML10 Gold激光干涉仪计量产品世家Renishaw公司推出又一力作——XL-80轻巧型激光干涉仪。XL-80轻巧型激光干涉仪提供4 m/s最大的测量速度和50kHz记录速率。即使在最高的数据记录速率下,系统准确性可达到±0.5ppm (线性模式)和1nm的分辨率,这些改进意味着工程师仍能使用可溯源性激光干涉  相似文献   

10.
为解决高精度平面的测量提出了平直度光电组合测量法,开发了PG-1高精度平直度测量系统。平直度光电组合测量法和PG-1高精度平面度测量系统主要用于被测面能导电的中等尺寸工件的高精度平直度测量。系统采用双频激光直线光轴作为参考基准,进行单一线的连续非接触测量。通过若干测量线的相关检测构造出被测面的形貌,进而评定出符合国际规定的平面度或直线度误差。其主要技术指标如下:1.最大测量尺寸600×400mm2(平面度)或800mm(直线度);2.测量分度值:0.01μm;3.量程:60μm或200μm;4.测量间隔:最小为1mm;5.测量不确…  相似文献   

11.
一、引言双频激光干涉仪是以激光波长为基准的精密测试仪器。它不仅可作为长度、角度和平直度等测量基准,而且体积小、便于携带,可在计量室、车间及环境要求不高的场合使用。因而,它在机床和三座标测最机等的几何精度和定位精度的测定,仪器测量精度的标定等方面都得到广泛的应用。  相似文献   

12.
HTC32μn系列精密数控车床是我厂承担的国家重大科研专项项目,此系列数控机床具有高精、高速、高效的特点,加工工件的尺寸精度达IT5级,表面粗糙度达Ra0.05—0.1μm(有色金属)。床身为此机床的主要件,其材质不同于一般机床常用的铸铁床身,主体结构为树树脂混凝土(俗称人造大理石)预埋球墨铸铁导轨,且导轨精度要求极高,各项精度(平面度、平行度、垂直度等)要求均在0.005mm以内,制造、检验难度极大。本文介绍了此树脂混凝土床身的制造工艺流程及质量保证措施,并对最后的精度检测方法进行了重点阐述。  相似文献   

13.
何为数控机床位置精度,就是指一台机床的刀尖所能够达到控制系统程序设定的目标位置的能力,也是用户最为关注的技术指标及所能够满足加工精度的需求。1.激光干涉仪测量原理激光器发射单一频率光束射入线性干涉镜,  相似文献   

14.
一、机床母丝杠的测量 1.测量方法 如图1所示,在机床母丝杠7的一端固定一个夹子2,其上装一块光洁度较高的块规作为反射镜,使用准直仪3对准块规作为丝杠精确地旋转一周的圆分度基准。并使用具有高准确度和分辨率的双频激光干涉仪作为长度基准。测量前先把双频激光干涉仪的激光头  相似文献   

15.
介绍一种新的非球面检测方法。用微机技术,对偏离球面很小的非球面作模拟非球面的干涉,获得理想的非球面干涉图。用模拟的理想干涉图作“样板”,使高次非球面的面形在激光球面干涉仪上进行精确测量成为可能。提供了四种类型小非球面度的高次或二次非球面干涉图。给出了几个在CQG一1型激光球面干涉仪上作出的测量结果。其测量精度约为0.5λ。  相似文献   

16.
长久以来,数控机床定位精度的检测与评定都是采用单光束激光干涉仪,检测结果也就根据该测量位置的测量结果来对该机床的定位精度下结论。但在机床精度验证的实际应用中,经常出现换一个检测位置机床同一轴线的定位精度不一定相同,有时还相差很大,这一问题在五轴机床的加工中尤为突出。国际处于领先地位的机器制造商已经转变观念,通过采用新版国际标准中测量不确定度的控制的方法,结合雷尼绍公司XM-60多光束激光干涉仪的先进功能,可以有效控制机床空间上的定位精度。  相似文献   

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<正>随着数控技术应用的日益发展和进步,激光干涉仪作为检测数控机床位置精度的主要工具,在大量厂家得到广泛应用。目前介绍激光干涉仪原理和检测方法方面的文章也有很多,但是对于其在测量位置精度时的测量不确定度还没有一个很详细的描述,特别是在常态下测量机床时的不确定度分析,还没有一篇描述很清晰的文章供实际工作中直接应用,往往只有理论上的推理,  相似文献   

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羡一民 《工具技术》1996,30(6):43-45
双频激光干涉仪的原理与应用(三)机械部成都工具研究所(610056)羡一民3.垂直度测量垂直度测量使用直线度干涉仪附件,在测量垂直方向时,需增加一些转向光学附件,如图10所示。图10垂直轴线直线度测量示意图1、激光头2.转向平面镜3.往复反射镜4.夜...  相似文献   

19.
介绍了激光干涉法测三面静压转台回转精度的原理及测量方法,分析了激光干涉仪在回转轴运动位置精度测量中的主要误差诱因;作出了角度测量中正弦近似误差特性曲线,并建立了该测量误差的数学模型,为机床的运动精度误差补偿提供了数据。经现场检验,该方案简便易行,成效显著。  相似文献   

20.
用激光干涉仪测量数控机床回转轴精度   总被引:1,自引:0,他引:1  
周星 《工具技术》1997,31(2):42-42
1.前言根据英国机床标准BS3800第二部分的要求,标定数控机床回转轴精度时,其转动误差的测量在0~360°范围内至少应测量9个随机位置。然而用传统的准直光管配合多面体的测量方法难以实现这一要求,由于受多面体的限制,这种方法只能测量几个等分角度的固定位置。为了解决回转轴精度的测量问题,可以采用激光干涉仪的小角度测量附件配合基准分度转台的测量方法。虽然激光干涉仪小角度附件本身的测角范围很小,但与基准分度转台配合使用即可扩大测量范围,实现360°内任意位置的角度测量。用此方法可以对数控机床上用CNC控制的回转轴的精…  相似文献   

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