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本文简介了Pd栅MOS气敏传感器的敏感机理.以N阱双极/MOS兼容工艺,将传感器的CO或H_2气敏单元、气敏补偿单元、加热电阻、温敏单元单片集成,制作了可调高温的具有高稳定输出的芯片自恒温系统.测试结果表明,该气敏传感器具有良好的选择性、稳定性和校高的灵敏度. 相似文献
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通过热蒸发SnO2和活性炭的混合粉末的自组装方式直接在Cr-Au梳状交叉电极上制备了一层SnO2纳米棒气敏层,从而研制出了SnO2纳米棒气敏传感器,经测试,发现此传感器对于浓度范围为2~5ppm的甲烷具有非常好的探测灵敏度,继而从气敏机制、自组装制备方式、SnO2纳米棒的比表面特性及SnO2纳米棒的尺度低于得拜长度等角度解释了此传感器对甲烷具有高气敏性的原因。 相似文献
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金属氧化物气敏传感器 总被引:3,自引:0,他引:3
6结论与展望 6.1气敏传感器近年来的研究开发成果 以二氧化锡可燃性气体传感器为代表的金属氧化物半导体气敏传感器和以二氧化锆浓差电池氧气传感器为代表的金属氧化物固体电解质气敏传感器实用化以来的短短几十年,金属氧化物气敏传感器事业得到很大的发展,特别是近20年来,它引起了世界主要国 相似文献
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金属氧化物气敏传感器(Ⅳ) 总被引:7,自引:0,他引:7
绝大多数金属氧化物气敏传感器的工作原理是基于待测气体的吸附和紧随着的表面反应过程所引起的电导变化.本章简要介绍金属氧化物的表面性质和表面反应过程,作为深入了解其气敏作用机理和改善气敏传感器性能的基础. 相似文献
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酞箐气体传感器发展趋势 总被引:1,自引:0,他引:1
酞箐作为一种重要的气体敏感材料,有着良好的应用前景。根据实用的要求,采用了各种方法来改善传感器的气体敏感特性。介绍了酞箐气体传感器发展的趋势,包括加速响应、便于检测和应用、消除基线漂移的影响、提高选择性及微型化和多传感器集成化等方面。 相似文献
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一种自组装型SnO_2纳米线氢传感器 总被引:1,自引:0,他引:1
为了能够对低体积分数的氢气进行灵敏探测,提高氢气生产、使用、运输、存储的安全性,通过热蒸发SnO2和活性炭的混合粉末的自组装方式直接在Cr-Au梳状交叉电极上制备了一层SnO2纳米线气敏层,构成了SnO2纳米线气体传感器。经测试,发现此传感器对于体积分数范围为10×10-6~500×10-6的氢气具有良好的探测灵敏度。 相似文献
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ZnSnO_3-乙醇气敏元件特性及其可靠性研究 总被引:3,自引:0,他引:3
本文报导了ZnSnO_3气敏材料电导率随温度变化的测试结果.以它为基体材料制备乙醇气敏元件,对其电阻随乙醇气浓度变化的特性进行了讨论.元件的强制失效实验分析表明,该类元件在正常工作条件下,处于高浓度检测气体气氛中不发生“中毒”和失效;还给出了一些对生产工艺较有意义的数据. 相似文献
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基于电子鼻的气敏传感器及其阵列 总被引:3,自引:0,他引:3
电子鼻是模拟动物的嗅觉系统设计研制的一种智能电子仪器,是利用气敏传感器阵列的响应图谱来识别气味的电子系统。本文从应用的角度出发,对电子鼻系统中常用气敏传感器的工作原理、适用范围和优、缺点进行了比较,指出了电子鼻系统中选择气敏传感器及其阵列的一些注意事项,为电子鼻特别是便携式电子鼻的研制提供参考。 相似文献
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半导体气体传感器存在漂移问题,温度变化对漂移的影响尤为明显.在气体传感器阵列中,可以加入温度、湿度等传感器,监测其工作环境.实验系统采用恒温箱设定一组温度,制备气体样本20例(两种浓度样本各10例),采集传感器对样本的响应;通过人工神经网络来识别样本;当有误判发生时,在原网络中引入温度传感器的响应值,消除了误判,在一定程度上抑制了漂移,改善了网络性能,验证了该温度漂移抑制方法的可行性. 相似文献