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1.前言从1970年开始生产1kbit DRAM以来,其集成度以每三年四倍的速度递增.预计到2000年将生产1Gbit的DRAM。图1是每年蚀刻技术状况的变化图.从技术角度来看,目前已从等倍蚀刻过渡到缩小蚀刻.其光源的波长已从G线(436nm)过渡到Ⅰ线(365nm),正在探索KrF(248nm)的短波长化。根据缩短曝光 相似文献
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林礼煌 《激光与光电子学进展》1996,33(4):20-24
X射线曝光技术1.前言半导体电路的高集成化,在三年中以4倍的速度发展。存储元件的生产现在以4Mbit的DRAM为中心,但也发表处于研究开发阶段的256Mbit的DRAM制作成功的消息。图形的最小线宽,在256Mbit时为0.25μnm,在1Gbit时... 相似文献
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软X射线投影光刻能够制作出特征线宽小于0.1μm的线条。激光等离子体源的研究是软X射线投影光刻中几项关键技术之一。本文报道了13nm投影光刻用激光等离子体软X射线源。 相似文献
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采用X射线反射(XRR)谱对同步辐射导致的氧化物薄膜的刻蚀进行了在位测试,结果表明波长为0.154nm的单色X光在室温下可对MgO和Cr2O3产生轻微的刻蚀。与文献中大量报道的同步辐射X射线光刻及烧蚀不同.这是单色X射线光刻的首次报道。尽管刻蚀速率极慢,但利用XRR谱的高分辨率,成功地检测到了膜厚的减薄。 相似文献
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一、引言1992年为了建立一条3μmr技术的试验线,双极事业部引进了两台PE-340HT投影光刻机,于1993年4月安装调试完毕,投入使用。由于3Pm试验线为正胶工艺,品种少,也不能形成大生产。为提高设备的利用率,同期着手将PE-340HT投影光刻机应用于负胶SPin工艺的大生产中,以克服接触式光刻图形尺寸均匀性差、缺陷多的缺点,从而提高采用负胶工艺的产品、尤其是象二片机之类的高要求产品的工艺一致性。二、设备简介PE-340HT是美国Perkin-Elm。r公司80年代初的产品,处理圆片最大尺寸为4英寸,当时广泛用于64K存贮器的生产,为标准… 相似文献
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投影光刻技术的计算机模拟研究 总被引:2,自引:0,他引:2
投影光刻技术的计算机模拟分为三部分:空间像强度分布计算,曝光计算和显影计算。本文分别讨论了各部分数学模型的建立,计算方法及特点,并给出了一些研究结果。 相似文献
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袁君毅 《LSI制造与测试》1996,17(6):14-21
直接在硅片上分步重复曝光的自动投影光刻机,是目前1M、4MDRA及更高集成度各种超大规模集成电路生产的主流光刻工具,本文简要介绍深圳丰德微电子有限公司以引进,消化,吸收与单元技术相结合的方式,进行1微米实用线宽自动投影光刻机的研制及工艺衫化试验的情况,开发如何与集成电路生产,研究相结合。促进共同扫展等谈一些体会和看法。 相似文献
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亚微米i线和g线投影光刻物镜研制 总被引:4,自引:3,他引:4
本文介绍了分步重复投影光刻机的i线和g线投影光刻物镜主要技术指标、设计要点、研制中解决的关键单元技术和设计试制结果。结果表明数值孔径NA=0.42i线和NA=0.45g线、视场15×15mm以及畸变<±0.1μm的五倍缩小投影光刻物镜研制成功。 相似文献
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数字灰度投影光刻技术 总被引:1,自引:0,他引:1
随着MEMS和MOEMS技术的发展和器件制作对低成本、灵活、高效的需求,数字灰度无掩模光刻技术已成为人们研究的热点。介绍了一种基于数字微镜器件(DMD)的无掩模数字灰度投影光刻技术,结合电寻址数字微镜阵列的工作方式,分析了DMD的灰度调制机理和投影成像特性;阐述了DMD微镜结构与投影系统的倍数、数值孔径的关系;设计了投影光刻系统,并进行了分辨力和三维面形的曝光实验。实验结果表明,数字灰度投影光刻技术灵活、方便,尤其在三维浮雕微结构的制作方面,可实现光刻灰度的数字化调制,表面粗糙度可达0.1μm。 相似文献
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