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飞秒激光具有超精细三维微加工、高聚焦能力、超强峰值功率、超短脉冲等特点,在其逐渐发展过程中飞秒激光以其自身的这些特点被应用到各个领域中,其中应用最多的就是飞秒激光的微加工技术。因此本文主要研究飞秒激光在微加工领域中微加工金属材料、微加工耦合器和光波导、微加工光子晶体、微加工光线器材中的具体应用。 相似文献
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本文研究了激光微加工中常用的激光微细焊接和多脉冲打孔技术。着重论述了激光微加工的性能质量的检测手段与方法,分析了激光微加工的独特性能和它与电子束加工技术的区别。 相似文献
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友清 《激光与光电子学进展》1998,35(8):30-33
大多数激光材料加工应用都落在两个范畴内,即宏观和亚微米范畴。宏观加工应用指的是焊接、切削和钢板、纸张、尼龙材料的切割。在加工尺寸的另一端,对半导体的亚微米加工可制作现代大容量存储器和中央处理器(CPU)芯片。介于这两者之间的加工方式称做加工,它复盖1μm~1mm之间的范围。读者可能已在广告和文章中看到微加工的图形,如刻写在人头发丝和微型金刚石齿轮上的字符。虽然这种图形有力地说明准分子激光在微加工方面的潜力,但直至最近,这种潜力还没有得到真正实际应用。随着微加工正在成为工业激光市场中最快增长部门之一,以… 相似文献
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激光微技术的发展现状 总被引:2,自引:0,他引:2
陈继民 《激光与光电子学进展》2006,43(9):25-29
介绍了激光微加工技术的特点,与其它微加工技术相比,激光微加工具有非接触、有选择性加工、热影响区域小、高精度与高重复率等优点,既可以通过去除方式,也可以通过材料堆积进行微加工成型。综述了几种常用的激光微加工技术及其发展趋势,微机电系统(MEMS)技术的进一步成熟,必将带动激光微技术快速发展。 相似文献
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友清 《激光与光电子学进展》1999,36(2):26-31
激光材料加工都用空间和时间压缩的激光能作材料消融、切割、焊接和其它改型。激光作为一种必不可少的工业手段已牢固确立自身的地位,并以快速步伐开发激光在工业上的新应用。激光材料加工的一个分支是激光微加工,一般包括特征尺寸小于100μm的加工。近几年,用准分... 相似文献
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用准分子激光对高聚物材料进行微加工制作,可以获得比较理想的高聚物基生物芯片。根据对制作生物芯片材料的性能要求,比较了聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)和聚碳酸酯(PC)对不同波长激光的光波透过率,测量了高聚物材料经准分子激光加工后的微结构,并得出准分子激光对不同材料的刻蚀速率与入射激光能量密度之间的关系。结果表明,PMMA和PC都能够完全吸收KrF准分子激光能量,可以用准分子激光在表面进行微加工制作生物芯片;用PMMA制作出的生物芯片,在使用时对检测结果的质量影响比PC小;对于相同的入射激光能量密度,准分子激光对PMMA的刻蚀率比PC高;由于与准分子激光之间的反应机理不同,PMMA更容易被加工,但是加工后的微结构质量较PC差。 相似文献
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本文研究了半导体工艺中常用的薄膜电极与细金属引线的微型焊接。借助扫描电子显微镜对焊接区的金属元素成分作了能谱分析,探讨了焊接区组织形貌特征,实验结果与理论分析完全一致。深入讨论了激光微加工与激光脉冲宽度,脉冲能量的关系,得出了在常用的微加工范围。随着焊接工件尺寸增大,对激光热穿透深度的影响程度前者较后者明显,这对于激光微加工在半导体技术中的应用是有意义的。 相似文献
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日本的激光精密微加工 总被引:2,自引:1,他引:1
近年来,由于手提电话、微型计算机等电子产品性能的提高、尺寸减小及成本不断降低,使其正以强劲的势头不断地拓宽市场,而这主要归因于用于半导体的印刷电路板的精密微加工技术的不断创新。激光加工在光刻、钻孔、微调、焊接等领域起着至关重要的作用。例如,具有0.18μm分辨率的KrF激光器已取代汞灯现已广泛用于光刻加工。用于加工印刷电路板的激光钻孔速度已增至1000孔/s,而且大约有800台印刷电路板激光钻孔系统有望在今年进入世界市场,而这些激光加工系统绝大部分都是由日本生产的。日本激光微加工工业的发展是一项政府支持项目,而且据日本激光加工会社调查显示,激光精密微加工工业也是日本未来的发展任务。 相似文献
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激光微加工应用潜力的调查 总被引:1,自引:0,他引:1
微加工的一个极为重要的应用是集成电路芯片的制造,因为集成电路芯片尺寸在变小而电路复杂度却不断增加。激光微加工技术对两个方面皆有贡献,既能提高电路复杂度,又不多占芯片空间。随着高级终端微处理器和控制芯片的管脚数目超过208个,一些独创性的技术如球状格子... 相似文献