三腔滑片式真空泵的几何理论与性能研究北大核心CSCD

滑片式真空泵的排气量偏小、抽气速率低限制了其应用场合。本文利用正弦螺旋线提出了一种新型的三腔滑片式真空泵,并对其工作性能进行了理论与试验研究等几何尺寸下,三腔滑片式真空泵相比双腔简谐结构形式排气量可提高37%;三腔滑片式真空泵的抽速可达1 L/s,极限压强能够达到13 kPa。三腔滑片式真空泵的抽速更快,缩短了滑片式真空泵达到指定压强的抽气时间,很好地验证了理论模型。对于开发新产品具有重要的参考价值。     

提高旋片泵抽气速率的探讨

前言 旋片式机械真空泵是目前国内外生产和应用较多的一种泵。我们合肥工大真空 专业74级师生,在南京真空泵厂开门办学过程中。在南泵和沈真所领导、工人、工 程技术人员的指导下,对旋片式机械真空泵抽气速率计算公式及有关数据进行了初 步计算和探讨。 一、抽气速率的定义: 在一定压强、温度下,单位时间内泵从被抽容器内抽除的气体体积,简称抽速。常用“S”表示。 1.名义抽速S名: 泵设计时所选定的标准抽速(760乇时旋片泵应达到或稍超过的抽速)。根据部颁标准,我国2X型旋片泵抽速系列有以下九种(单位:升/秒) 0.5、1、2、4、8、15、30、70…     

容积式机械真空泵抽速公式的分析

容积式机械真空泵系指依靠容积变化而实现抽气目的的一类机械真空泵。它包括:旋片式机械真空泵;定片式机械真空泵;滑阀式机械真空泵,往复式机械真空泵;机械增压泵(罗茨式机械真空泵)及余摆线真空泵等。过去对这一类泵的设计差别很大,对抽速计算公式的表达方法也有很大差异。但是实际上只要经过简单的数学运算,即可以把他们的抽速计算公式趋近统一(余摆线泵例外),公式中只在个别项的意义上有所差别。用统一的抽速公式便于学习和掌握这一类泵的设计方法。亦便于简化这类泵的设计方法。本文对此问题进行初步探讨。 一、抽速公式的统一 在旋片泵…     

新型余摆线真空泵的密封结构

一、前言 余摆线真空泵是由旋转式三角活塞发动机演变而来的。它属于一种新型的变容式油封机械泵。由于它的转子和泵腔的型线为余摆线,故又称为余摆线真空泵。 1975年东北工学院与抚顺市真空设备厂共同协作研制出转子和泵腔的型线为余摆线等距线、并带有“定片式密封”的YZ型余摆线(等距型)真空泵。为了区别前者,故将后者称为新型余摆线真空泵。 这种新型众摆线真空泵,经过产品鉴定发现它有如下特点: ①抽速和极限真空等主要性能指标均达到油封式机械泵的部颁标准。而且在10-1托下有满抽速。与同规格的滑伐式真空泵相比,重量、尺寸和加工工…     

基于数值计算方法的双螺杆真空泵气体输运过程研究

基于双螺杆真空泵气体输运的特点,将泵腔内级间的泄漏通道简化为不同类型的真空管路,采用相邻级间的平均压强确定不同压强下级间泄漏气体的流态,计算得到级间泄漏的质量流量。根据质量守恒定律,建立了双螺杆真空泵气体输运过程的数学模型。以渐开线型端面的等螺距螺杆真空泵为研究对象,计算分析了泵从大气压到极限真空的整个抽气过程。对不同入口压强下的级间泄漏量与抽速进行了研究,研究表明:不同的泄漏通道对级间泄漏的影响有所不同。在排气端,齿顶圆与泵腔内壁之间的泄漏通道对级间泄漏的影响较大;在吸气端,两转子齿顶齿根面之间、斜齿面之间以及凹齿面之间这三种泄漏通道对级间泄漏的影响较大。     

多腔涡旋真空干泵的抽气理论与结构分析

全球半导体、薄膜等新兴行业的生产制造要求对真空泵的结构设计和优化提出了新的要求与挑战。以高度集成、高效节能、简洁紧凑为代表的创新设计理念取代传统设计要求,是目前真空干泵产品设计的主要趋势。本文提出了一种以多腔式涡旋结构为代表的新型结构,与传统涡旋真空泵结构不同,通过多涡旋的集成创新设计,得到多腔涡旋优化结构,具有高集成性和紧凑性的特点。论文以并联式涡旋盘结构展开讨论,基于涡旋啮合原理,分别建立了各涡旋转子的型线方程,通过分析抽气理论数学模型,对比了相同尺寸下,新型多腔结构与传统单腔结构的抽速、热变形、气体载荷分布等性能参数。以四腔结构为例,计算和分析结果表明,并联式新型多腔涡旋结构在提高抽速和获得均匀的气体载荷分布方面有明显的优势,在相同的外形参数下,抽速提高了48.95%,密封线长度减小了41.62%,且在相同的进排气口压强下,四腔涡旋盘最大变形量仅为单腔结构的51.22%。     

制冷机低温泵抽速测试方法探讨

本文指出用常规的抽速测试方法来测量制冷机低温泵的抽速是不合理的。根据低温泵的特点以及对低温抽气研究的回顾，对低温泵的抽速测试罩进行了理论分析，并给出了压强的理论计算误差，据此推荐了几种制冷机低温泵的抽速测试方法。本文最后介绍了最新研制成功的ＺＤＢ－１３００制冷机低温泵的抽速测试。     

HL-2M内置式低温泵基于DSMC方法的抽速计算

作为托克马克装置HL-2M的大型低温泵,必须确保其具有足够的抽速和较好的抽气性能。通过直接模拟蒙特卡洛方法的研究表明,HL-2M内置式低温泵在高真空分子流条件下的对H2的抽速为51.29 m~3/s,对He的抽速为24.94m~3/s,对D_2的抽速为38.04m~3/s;裸泵与带有偏滤器结构的抽速对比表明,偏滤器的结构使得低温泵的抽速下降很多,应该在允许的条件下,进一步优化偏滤器的结构;通过对粘滞系数的变化得知,真空泵的抽速受粘滞系数的变化影响较大;而对整个抽气过程的动态评估结果表明,低温真空泵具有较好的响应时间,能够满足实验的需求。     

真空泵抽气速率定义的探讨

一、引言 由于近代工业和尖端科学技术的迅速发展,对真空技术的要求日益增多,各个国家每年要生产大量的真空泵。因此对真空泵的性能鉴定,就成为真空泵设计,制造和使用部门必须掌握的技术。 抽气速率(以下简称抽速)是真空泵全能中最重要的参数之一,在测量上居其它参数相比也是最复杂的。抽速的测定,讨于真空泵的理论研究,制造质量的鉴定和使用的选择,都有着重要意义。因此有不少真空科学工作者,花费了不少时间,从事着抽速测定的研究。 自从1948年戴顿(B.B.Dayton)[1]发表了对以前抽速测定方法的批判和推荐新的测量方法以后,引起了很多人对…     

蒸发离子泵原理和结构

高真空泵的一种新型式早已被发现,这种泵不用冷阱或挡扳即能抽出真空系统中的有机蒸汽物质和高蒸汽压物质,只要采用一定的功率就能抽出真空系统中的有机蒸汽物质和高蒸汽压物质,只要采用一定的功率就可以得到很高的抽速。在这种泵中采用连续蒸发钛收气对绝大多数普通气体都产生抽气作用。不能被收气作用抽走的气体成份都被电离和被驱逐到泵壁上,并于此被冷凝的钛埋陷住。在 2×10-6毫米汞柱时,对氢、氧、氮的抽速为7000升/秒左右。可达到的最低压强为2×10-7毫米汞柱。抽速决定于收气表面的温度,被蒸发钛的压强和速率,本文讨论在抽气机构中…     

三轴罗茨真空泵的抽气理论和结构设计

新兴行业的不断兴起给真空泵带来了快速发展的机遇,同时也对真空泵的集成化、高效率、节约空间、高技术含量提出了更高的要求。本文提出了一种三轴式的罗茨真空泵,对其抽气过程进行了介绍,并基于啮合原理,给出了一种典型的四叶圆弧型转子的型线方程。通过对抽气过程的建模分析,在抽气效率、压缩比、旋转应力和热变形等方面,与常规的双轴式罗茨真空泵进行了对比。计算和模拟结果表明,在空间尺寸增加不多的情况下,三轴式罗茨真空泵具有接近两倍的抽速、良好的压缩比和更好的动平衡特性的特点,具有较好的技术优势和发展前景。     

10-10 Pa溅射离子泵和非蒸散型吸气剂的复合泵

不改变商用SIP的基本结构,把NEG组件WP1250装入SIP,构成(SIP NEG)的XHV复合泵.它使SIP和NEG的特点互补,综合性能优越.NEG激活前,SIP单独抽气,极限压强1.1×10-8Pa.NEG激活后,SIP和NEG联合抽气,复合泵的极限压强降到7×10-10Pa,抽速稳定的范围更广,标称抽速约是SIP抽速的2.5倍.     

改进涡轮分子泵性能的几项措施

可以概括地说，减少真空泵和真空室连接件中的气流损失就可以改进涡轮分子泵的抽速。 使用另外的与涡轮分子泵相适应的超高真空泵系统来降低其极限压强是一种合适的方法。 有时降低前级真空端氢的分压强也能降低极限压强。     

五级金属油扩散泵的研制

本文介绍一种具有大排气量的五级金属油扩散泵的设计与调试。这种泵的主要特点是：工作压强范围宽、在较高压强下有较大抽速、最大出口压强较高。典型Ｋ－５００泵的抽速是大于１００００升／秒，极限压强低于６．６×１０－５帕，最大前级压强大于５４帕，加热功率８千瓦左右。     

国外机械真空泵、油扩散泵概况

旋片式真空泵和油扩散真空泵是目前使用最广而又最基本的真空获得设备,国内早以系列化生产,为了使国内产品在提高质量、发展品种时有所参考比较,我们在现有可能的条件下搜集了一些资料,对国外几个主要生产厂的有关产品作了初步归纳综合。提供了下列一些很不成熟的情况,由于资料不全,我们水平又很低,有些看法不一定正确,甚至还可能是错误的,希望同志们批评指正。 一、旋片式真空泵(双级) 国外多数生产厂目前都处在保持原有基本结构的基础上,经过改进提高抽速,缩小体积,减轻重量以及改善抽气性能的阶段,以适应于仪器和电子工业发展的迫切需要…     

波纹管密封机械真空泵的研制

本文介绍了波纹管密封真空泵的研究。BMB-25型泵采用悬臂摇摆式结构,由主轴的斜端部分驱动草帽状的活塞转动且作上下摆动。用不锈钢波纹管作轴密封,气密程度取决于密封结构和泵的材质。活塞法兰盘上开有槽,槽中装有固定隔板。隔板固定于上下泵盖,这样就使活塞把泵腔分成进气腔与排气腔。活塞的上下两面均可进气或排气。一台泵的进气腔与排气腔可自行串联或并联使用。作为粗真空泵,串联时抽速为25升/秒,压强<15托,功率4千瓦;并联时抽速为50升/秒,压强<30托,功率5.5千瓦。泵的转速均为1440转/分。此泵也可组成机组使用,两泵串联时压强<5×10~(-2)托。文中给出抽速曲线和性能测试结果。     

油封式机械真空泵理论抽速的计算与设计

一、引言 油封式机械泵(以下简称机械泵)大体上可分为三类:定片泵、旋片泵、滑伐泵(如图一)。机械泵是现代真空荻得技术中最基本的设备之一。它不仅能独立使用获取低真空,而且和高真空泵(如升压泵、扩散泵等)配套使用获取高真空。因此,我国制造厂每年生产大量机械泵,以满足各部门的需要。 标志每台机械泵性能的主要参数:极限真空,抽气速率,耗损功率,温升,耗水量等,其中抽速大力重要。 理论抽速或几何抽速(简称抽速)的精确计算与设计,不论对机械泵设计质量的提高,或者对机械泵性能结构的研究比较,都有很大意义。 二、抽速的计算 力简化公式的…     

罗茨真空泵最大压缩比和排气效率

近年来罗茨真空泵在真空技术中[1]日益得到重用。它的主要应用范围是在中真空区域。罗茨真空泵弥补了在这一个压强范围内原有真空泵的缺陷,即在这一个压强范围内回转式油封真空泵的抽气速率下降很快,但另一方面在这一个压强范围内扩散泵却又达不到它的最高抽气速率。自然,除此之外罗茨真空泵还用在“粗”真空的某些方面;主要是应用来减少大量的预真空抽气装置。在这种情况下,采用罗茨家真空泵抽气装置要比使用极其庞大的机械　转真空泵经济得多。对于某些在真空中进行的工艺来说,采用这样一个庞大的预真空装置是不必要的。所以用于生产优质…     

K-150 K-200扩散泵的设计改进

我厂革命职工,遵照伟大领袖毛主席关于“人类总得不断的总结经验,有所发现,有所发明,有所创造,有所前进。”的教导,在过去生产扩散泵的基础上,改进设计试制出两个规格的新型结构的扩散泵。下面简略介绍泵的性能及结构等特点: 一、泵的性能特点 此型泵在不多增加外形尺寸情况下,抽速性能提高近50%,抽速范围增宽1.5数量级,参看图(三)抽速曲线。最大排气压强提高67～133%,达到极限真空的抽气时间缩短,且极限真空较高,其它性能指标与老型泵相比都有所改善。比抽速达6.5～7升/秒/厘米2,最大抽气量提高1.87～2倍。使用泵油为国产KS-3扩散泵油,加…     

改进的涡轮分子泵

本文介绍了一种抽速达1600升/秒的最新式涡轮分子泵的结构和性能。为了达到所要求的抽速,叶片的几何形状、叶轮的排列方法,以及压缩比的选择,都是根据不含有经验成分的理论,从大量模型泵中计算出来的。这种泵的机械尺寸与十年前相同,而抽速却超过了10倍。新型泵还安装了一种对水蒸汽抽速为1600升/秒的多层液氮致冷板。 1958年N.Becker描述了第一台商品化的轴流涡轮分子真空泵(普发伊费尔公司 TVP500型)。Becker认为,涡轮分子泵的工作原理来源于盖德的分子牵引抽气的理论,所不同之处在于它在工作时在互相牵引面之间采用较大的间隙,而且这…