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相似文献
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1.
液态金属离子源理论模型研究新进展   总被引:1,自引:1,他引:0  
本文论述了近两年来在液态金属离子源理论模型研究中争议较大的两个问题,分析了争论双方的观点,阐述了作者的看法,并介绍了作者本人在液态金属离子源理论模型方面的研究工作及结果。  相似文献   

2.
用电荷模拟法计算液态金属离子源发射系统   总被引:1,自引:0,他引:1  
本文介绍用电荷模拟法计算液态金属离子源发射系统,此方法具有计算精度高,节省机时和程序编制简单且通用性强等优点。使用动态喷嘴状模型,对液态金属离子源发射系统进行了计算,得到了有益的结果。  相似文献   

3.
叙述了为纳米聚焦离子束装置研制的镓液态金属离子源的制备,并对该离子源的I-V特性、角电流密度、稳定性以及寿命等性能进行了测试,结果表明,该源的各项指标均达到了聚焦离子束系统对液态金属离子源的性能要求。  相似文献   

4.
本文介绍一种新型的高亮度离子源——液态金属离子源。具体述及它的结构特点、主要原理及发展近况。同时介绍利用液态金属离子源的各种亚微米离子束装置的主要构成、性能以及目前几种主要用途。  相似文献   

5.
针对液态金属离子源的发射系统属于轴对称系统的特点,采用动态喷流柱模型,利用模拟电荷法对液态金属离子源发射系统的电场进行了计算,结果表明,该方法计算精度高,非常适合于电子束、离子束系统发射极附近电场的计算.  相似文献   

6.
镓液态金属离子源的制备   总被引:8,自引:2,他引:6  
镓液态金属离子源广泛应用于聚焦离子束技术 ,本文介绍了一种利用电子轰击的方法制备镓液态金属离子源的工艺和设备 ,测试了源的 I- V发射特性曲线 ,d I/ d V≈ 0 .0 5 ( μA/ V) ,进行了新旧工艺下电流发射稳定度的比较 ,最佳源发射稳定度大于 95 % ,寿命大于 1 0 0 0小时。  相似文献   

7.
发射尖是液态金属离子源的关键部件之一,其性能的优劣直接影响到整个离子源的工作稳定性。本文通过对源尖腐蚀的多次实验,开发了一套发射尖腐蚀装置,该装置可以对发射尖插入腐蚀液的深度加以控制,并能在腐蚀完成后自动切断回路电流,实现了发射尖腐蚀工艺的重复性和可靠性,从而为液态金属离子源以及聚焦离子束系统的研制开发提供了一个有效的辅助工具。  相似文献   

8.
微细加工是振兴我国电子工业、发展超大规模集成电路的一种关键技术,而聚焦亚微米离子束又是实现这一技术的最有前途的手段之一。高亮度液态金属离子源的出现为聚焦亚微米束研究开创了新的道路。本文叙述了为亚微米离子束装置研制的三种类型发射体的镓金属离子源,並对研制成的液态镓离子源进行了性能测试,给出了此源的Ⅰ—Ⅴ  相似文献   

9.
发射尖是液态金属离子源(LMIS)的关键部件之一,其性能的优劣直接影响到整个离子源的工作稳定性。通过对系统软件和硬件的设计,开发了一套发射尖自动腐蚀装置,该装置可以对发射尖腐蚀过程中的速度和深度以及腐蚀电压进行控制,实现发射尖腐蚀工艺的重复性、可靠性,从而为液态金属离子源以及聚焦离子束系统的研制、开发提供了一个有效的辅助工具。  相似文献   

10.
一、引言 近年来,液态金属离子源(Liquid—metal ion source,以下简称LMIS)在离子束超微细加工,离子束无掩膜注入以及二次离子质谱、扫描离子显微镜等方面得到广泛应用。它具有高亮度、点发射、无气体负载、结构简单、长寿命等一系列优点。从七十年代末以来,国外对LMIS进行了大量的实验研究,已经出现多种单质源与合金源。但相比之下,对LMIS的理论研究一直处于探索之中。先后提出了一些理论分析方法,都尚未能对LMIS的工作过程给出圆满解释,而某些观点至今仍在争议之中。  相似文献   

11.
关于现代电磁场理论的探讨   总被引:3,自引:0,他引:3  
该文简述了经典场论中存在的困难,现代电磁场理论如何在现代数学方法与现代物理概念的基础上建立起自恰的理论体系,克服了经典场论的困难,求得了麦克斯韦方程组的自恰解。并在此基础上探讨把宏观与微观的电动力学衔接起来的可能性。  相似文献   

12.
基于抛物方程的海上电波传播研究   总被引:2,自引:2,他引:0  
抛物方程已经被广泛地应用于电波传播预测模型,并成为解决电磁波传播问题的主要工具。针对目前大多数预测模型处理粗糙海面的不足,引进了一种能包含海面阴影效应的粗糙度修正因子,并由于电波在海面上传播主要受到蒸发波导和粗糙海面的影响,结合抛物方程和蒸发波导理论对海面上的电波传播进行了研究,利用PE模型计算了电波在蒸发波导中不同条件下的传播损耗,并分析了蒸发波导和粗糙海面对电波传播的影响。  相似文献   

13.
文章在PCB蚀刻理论的基础上,对蚀刻过程进行了流体力学分析,分析了不同纵横比线间药水流动情况,以及纵横比与药水流动、扩散层厚度变化的关系等,并通过试验进行了验证,可为业界精细线路蚀刻制作提供一定价值的参考和借鉴。  相似文献   

14.
围绕等离子体与电磁波相互作用的问题,将气体分子动力学与电磁场理论相结合,基于玻尔兹曼方程和麦克斯韦方程建立了等离子体与电磁波相互作用自洽模型,为了对模型进行验证,将该方法与经典的电流密度卷积时域有限差分法进行对比,以一维情况下电磁波由自由空间向等离子体内传播为例,应用时域有限差分法对二者进行了数值仿真,仿真结果证明了所建立模型的正确性。此外,基于该模型仿真分析了等离子体参数对电磁波在等离子体中传播的影响,为等离子体与电磁波相互作用的研究提供了一种新思路和新方法。  相似文献   

15.
The properties of different forms of the combined field integral equation (CFIE) formulation of electromagnetic scattering from convex, perfect electrically conducting geometries are considered. Several difficulties encountered in the numerical implementation of the traditional CFIEs of electromagnetic scattering theory are discussed. An alternate form of the CFIE is introduced which is free of many of the deficiencies of traditional formulations for smooth, convex geometries. The improved numerical properties of the new formulation are illustrated with numerical examples.  相似文献   

16.
本文将流体力学领域的微分-Thompson变换与时域有限差分(FDTD)技术结合起来,所形成的Thompson-FDTD方法,首次用来计算和分析任意形状介质体的电磁散射特性。该方法至少具有两个明显的优点:可以把不规则形体变换成规则形体,有利于精确匹配边界条件;可以任意调配网格分布,有利于提高计算精度。其数值实现进一步证实了该方法能精确模拟任意形状介质目标的电磁散射过程。  相似文献   

17.
提出了基于积分方程等效电路和Baum-Liu-Tesche(BLT)方程的电磁脉冲传导耦合效应分析方法, 建立外部电磁干扰等效源模型, 提取等效电流和阻抗参数.对内部含复杂传输线网络和集成电路插件的电子设备建立了电磁拓扑模型, 采用BLT方程分析电磁脉冲响应.仿真分析了内部传输线连接关系、外部信号线长度和半径大小、节点负载等因素对传导耦合效应的影响.将计算结果和商用电磁仿真软件CST的结果进行了对比, 分析了所提方法的有效性, 可为电子设备电磁脉冲防护设计提供参考.  相似文献   

18.
海洋大气波导对雷达探测性能影响的研究   总被引:1,自引:0,他引:1  
建立了海洋环境中典型波导的经验模型,用电磁波传播的地型抛物方程以及分步傅里叶算法对电磁波在各种波导情况下的传播衰减情况进行了数值模拟,并构建了雷达性能评估模型,应用该方法评估了不同波导环境下雷达的探测性能,分析了由于大气波导环境的影响所产生的雷达低空异常探测特征。  相似文献   

19.
从基本电磁理论出发 ,推导轴对称条件下电磁波的波动方程 ,给出求解此类波动方程的数值仿真方法。分析比较不同发射口面分布下的电磁波的传播规律 ,得出满足聚焦条件的一种口面分布。其仿真模拟方法不仅可用于电磁波传播研究 ,还可用于高功率微波波束的传输特性分析。  相似文献   

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