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相似文献
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1.
本文论述了使用4H-SiC衬底及外延层制作MESFET的方法,测得了栅长为0.7μm、栅宽为332μm的MESFET的直流、S参数和输出功率特性。当Vds=25V时,电流密度约为300mA/mm,最大跨导在38~42mS/mm之间;当频率为5GHz时,该器件的增益为9.3dB,fmax=12.9GHz。当Vds=54V时,功率密度为2.8W/mm,功率附加效率为12.7%。  相似文献   

2.
从文献中摘出了6H碳化硅(6H~SiC)的重要材料参数并应用到2-D器件模拟程序PISCES和BREAKDOWN及1-D程序OSSI中。6H-SiCp-n结的模拟揭示了由于反向电流密度较低的缘故相应器件在高达1000K温度下应用的可能性。6H-SiC1200Vp-n ̄(-)-n ̄(+)二极管与相应硅(Si)二极管的比较说明6H-SiC二极管开关性能较高,同时由于6H-SiC p-n结内建电压较高,其正向功率损耗比Si略高。这种缺点可用6H-SiC肖特基二极管克服。Si、3C-SiC和6H-SiC垂直功率MOSFET的开态电阻通过解析计算进行了比较。在室温下,这种SiCMOSFET的开态电阻低于0.1Ωcm ̄2,可在高达5000V阻塞能力下工作,而SiMOSFET则限于500V以下。这一点通过用PISCES计算6H-SiC1200VMOS-FET的特性得以验证。在低于200V的电压区,由于硅的迁移率较高且阈值电压较低,故性能更优良。在上述的6H-SiCMOSFET的栅氧化层和用于钝化平面结的场板氧化层中存在着大约4×10 ̄6V/cm的电场。为了研究SiC器件的高频性能,提出了6H-SiC发射极的异质双极晶体管?  相似文献   

3.
Wet.  EC 何君 《半导体情报》1996,33(3):42-44
本文论述了使用4H-SiC衬底及外延层制作MESFET的方法,测得了栅长为0.7μm、栅宽为332、m的MESFET的直流、S参数和输出功率特性。  相似文献   

4.
介绍了在宽禁带半导体6H-SiC材料上制作的反型沟道和掩埋沟道栅控二极管及MOSFET。器件的制作采用了热氧化和离子注入技术。因为6H-SiC禁带宽度为3eV,用MOS电容很难测量表面态,故利用栅控二极管在室温条件下来测量表面态。反型沟道器件中电子有效迁移率为20cm2/V.s,而掩埋沟道MOSFET沟道中的体电子迁移率为180cm2/V.s。掩埋沟道晶体管是第一只SiC离子注入沟道器件,也是第一只6H-SiC掩埋沟道MOSFET。  相似文献   

5.
研究了栅氧化时掺HCl的硅栅MOSFET的DDS-VGS特性、阈电压和界面态.结果发现,HCl掺入栅介质,可使IDS-VGS曲线正向漂移,PMOSFET阈电压绝对值减小,NMOSFET阈电压增大,Si/SiO2界面态密度下降。采用氯的负电中心和Si/SiO2界面硅悬挂键的键合模型对实验结果进行了解释。  相似文献   

6.
掺HCI栅氧化对MOS结构电特性的影响   总被引:1,自引:0,他引:1  
研究了栅氧化时掺HCl的硅栅MOSFET的DDS-VGS特性,阈电压和界面态。结果发现,HCl掺入栅介质,可使IDS-VGS曲线正向漂移,PMOSFET阈电压绝对值减小,NMOSFET阈电压增大,Si/SiO2界面态密度下降,采用氯的负电中心和Si/SiO2界面硅悬挂键的键合模型对实验结果进行了解释。  相似文献   

7.
紫(外)激光作用下Si(CH3)4的MPI与Si原子的共振电离   总被引:1,自引:1,他引:0  
在紫(外)激光作用下,利用平行板电极装置及飞行时间(TOF)质谱仪,研究了Si(CH3)4分子的多光子电离(MPI)、多光子解离(MPD)及由Si(CH3)4解离产生的Si原子的共振电离。得到了404-378nm内Si(CH3)4的MMPI光谱及某些波长点处的TOF质谱。根据实验结果,讨论了Si(CH3)4的MPI机理,得到了一些有意义的结论。  相似文献   

8.
为了实现50~500V的击穿电压范围,本文详细讨论了6H-SiC和3C-SiC肖特基整流器和功率MOSFET的漂移区性质。利用这些数据计算了器件的输出特性,并与Si器件做了比较,结果表明,由于其漂移区电阻非常低,故5000VSiC肖特基整流器和功率MOSFET在室温下能够处理100A/cm^2的导通电流密度,正向压降仅分别为3.85和2.95V。这些数值甚至优于Sipin整流器和门可关断晶闸管。这  相似文献   

9.
介绍了在宽禁带半导体6H-SiC材料上制作的反型沟道和掩埋沟道栅控二极管及MOSFET。器件的制作采用了热氧化和离子注入技术。因为6H-SiC禁带宽度为3eV,用MOS电容很难测量表面态,故利用栅控二极管在室温条件下来测量表面态。反型沟道器件中电子有效迁移率为20cm^2/V.s,而掩埋沟道MOSFET沟道中的体电子迁移率为180cm^2/V.s,掩埋沟道晶体管是第一只SiC离子注入沟道器件,也是  相似文献   

10.
解析SiGe基极HBT模型及其对BiCMOS倒相器电路的影响=AnAnalytlcalSiGe-baseHBTmodelanditseffectsonaBiCMQSinvertercircuit[刊.英]/Lu,T.C.…/IEEETrans.Ele...  相似文献   

11.
为了实现50~500V的击穿电压范围,本文详细讨论了6H-SiC和3C-SiC肖特基整流器和功率MOSFET的漂移区性质。利用这些数值计算了器件的输出特性,并与Si器件做了比较,结果表明,由于其漂移区电阻非常低,故5000VSiC肖特基整流器和功率MOSFET在室温下能够处理100Alcm ̄2的导通电流密度,正向压降仅分别为3.85和2.95V。这些数值甚至优于Sipin整流器和门可关断晶闸管。这种SiC器件由于没有少于结,故可期望有优良的开关特性和坚固耐用性。此外,还基于峰值结温极限是由封装考虑来确定的观点,报道了热学分析结果。应用这种分析发现,5000V的6H-SiC和3C-SiCMOSFET和肖特基整流器将比相应的Si器件大约小20和18倍。对SiC的热学分析表明,这些器件能在比常规Si器件高的温度和击穿电压下工作。还有,在管芯尺寸上也期望有明显的减少,这将会补偿其材料成本较高的不足。本文报告的分析结果对SiC功率器件的制造将会起到强大的推动作用。  相似文献   

12.
已经证明,用过渡族金属激活的氧化物荧光体作为场致发光器件的发光层以获得三角色,是有前途的。例如,发红光用Cr,发绿光用Mn与发蓝光用Ti。也已证明了ZnAl2O4:Mn或Zn2SiO4:Mn TFEL器件发出的绿光,Zn-Ca2O4:CrTFEL器件发出的红光与Zn2SiO4:Ti发出的蓝光均具有高亮度,适于用作全彩色TFEL显示器的三基色。  相似文献   

13.
LTC台CHANNELBUSY故障的分析和处理天津日电电子通信工业有限公司田建忠TDNWLTMLTE-SSUB×TTESTLINKLCMFREC4LC图1LTC测试原理图LTTILTMLTCLTE-M在NEAX61程控交换机的日常测试和维护工作中,用...  相似文献   

14.
ElectronMobilityinTris(8-Hydroxyquinolinolato)AluminumThinFilmBasedonSilicium①②CHENBaijun,LIUShiyong(StateKeyLab.onIntegrated...  相似文献   

15.
从理论上对电子辐照在4H-SiC中引入的缺陷数量和各种缺陷能级进行了分析.结果表明,EH6和EH7缺陷能级在4H-SiC中起着有效复合中心的作用.采用SRH模型来估计电子辐照下4H-SiC的少子寿命,并给出了电子辐照下4H-SiC少子寿命损伤系数的模型.结合具体的测量条件,证明了这个模型是合理的.辐照电子对Si、GaAs和4H-SiC产生的不同影响展示了在高空、高辐照条件下SiC存在着优势  相似文献   

16.
一种5V6位80MS/sBiCMOS闪烁ADC=A5V,6-b,80MS/sBiCMOSftashADC[刊,英]/Reybani,H.…∥IEEEJSolid-StateCircuits.-1994.29(8).873~878开发出一种5V单电源6...  相似文献   

17.
新结构高性能In_(0.3)Ga_(0.7)As/In_(0.29)Al_(0.71)As/GaAsHEMT研究证明,InGaAsHEMT的结构优于GaAsMESFET和习用的AlGaAs/GaAsHEMT。在GaAs上制备的赝配结构HEMT(PM-HE...  相似文献   

18.
30~40GHz单片压控振荡器据《IEEEMicrowaveandGuidedWaveLett.》第4卷第8期报道,K.Riepe等用高速GalnP/GaAsHBT研制成一种30~40GHz的单片压控振荡器(VCO)。该VCO的设计采用共射极HBT组...  相似文献   

19.
介绍了移动通信的发展动向和移动通信对半导体技术的要求。给出了具体的器件技术包括Si双极晶体管、SiMOSFET、GaAsHBT、HJFET和HEMT以及电路技术。  相似文献   

20.
利用2kWCO2激光器对不同合Si量的AI-Si合金进行了搭接扫描熔凝处理,通过SEM和TEM对激光熔凝处理后Al-Si合金的组织结构进行了观察,通过测定在不同介质条件下的阳极极化曲线,讨论了激光熔凝处理对AI-si合金耐蚀性的影响。结果表明,激光处理可改善Al-Si合金在10%H2SO4和10%HNO3溶液中的耐蚀性,而对Al-Si合金在10%HCl和5%NaCl溶液中的耐蚀性没有明显的促进作用。  相似文献   

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