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楼祺洪 《激光与光电子学进展》1998,35(1):29-31
微电子工业中最严重的问题之一是表面残存的微粒,它甚至会使成品率下降50%。采用有效的清洗过程对各种高技术过程都有帮助,这些过程包括半导体生产、计算机驱动器、光存储装置和高能光学元件的加工。当这些小尺寸的技术要求提高时,要移去的最小粒子尺度逐步变小。例如,当今的亚微米集成电路技术,1μm大小的颗粒是形成线路失效的主要来源,在下一个十年,0.015um大小的粒子也会成为问题。目前工业中应用最广泛的技术是化学试剂,但试剂本身也包含微小颗粒。当然可采用含颗粒很少的溶剂和水,但是价格十分昂贵。清洗直径小于0.]pm的… 相似文献
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随着我国工业不断地转型升级,对工业清洗的质量、效率、服务也提出了更高的要求,传统清洗方式因其高污染、高能耗等缺陷已无法满足工业领域的应用需要。而激光清洗作为一种绿色、环保、无损的新型清洗方式,迅速成为工业清洗领域的热点技术。文中梳理了三种典型的激光清洗方法,总结了激光清洗相关的机理。同时,阐述了面向航天航空、船舶建造、轨道交通等领域开展的激光清洗应用进展。根据近年来国内外院校和企业在激光清洗系统、设备方面的科技成果,提出国内激光清洗推广应用所面临的瓶颈,展望了激光清洗技术在未来的发展方向。 相似文献
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在制造业,特别是在航空制造业中,各种产品零件在装配前需要进行认真仔细的去脂除污处理,传统的清洗方法有很多种。随着环境保护、高精度以及高效率的矛盾日显突出,各种有利于环境保护、适合于超精加工领域零件的清洗技术应运而生,激光清洗技术就是其中之一。介绍了激光清洗技术的原理和方法,研究了利用脉冲Nd:YAG激光清洗被污零件的情况,对研究结果进行了讨论。并对激光清洗技术的应用前景进行了展望。 相似文献
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针对船舱内各种复杂空间的作业环境需求,利用激光清洗技术对船用钢材EH36表面的漆层、锈蚀、油污开展工艺试验研究。首先研究激光功率、重复频率、脉冲宽度工艺参数组合对表面形貌的影响,揭示不同参数对表面剥离程度与粗糙度的影响,同时需要避免产生表面裂纹。其次,设计单因素试验获得漆、锈、油污的最佳清洗工艺窗口,漆、油污可以通过一次激光扫描除去,锈蚀需要清洗两次。通过对比清洗前后的基材表面元素含量分布以及微观形貌变化,结果表明,激光清洗后表面污染物有关的元素C、N、O均大幅降低,锈蚀、油污能够被完全去除,而漆层存在少量细小片状残留。最后对清洗后的基材进行了力学性能测试,发现表层硬度有所提升,除锈样提升约20 HV,除油样提升约3 HV,除漆样提升约13 HV;激光清洗对基材的抗拉、弯曲性能没有明显影响。因此,船用钢的激光清洗过程是可靠且无损的。 相似文献
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清洗是PCB组装中的一道重要工序,它对电子产品的质量和可靠性起着极为重要的作用.对于高性能电子产品,不论是通孔插装还是表面组装,在回流焊、波峰焊或浸焊后,基板及其组件都需要进行严格有效的清洗,以去除助焊剂残留物和各种污染物.特别是对于表面组装工艺,由于助焊剂可进入表面组装元器件和基板之间的微小空隙中,从而使清洗显得更为... 相似文献
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激光表面清洗的原理和实际应用 总被引:7,自引:0,他引:7
文章介绍了一种干法清洗技术——激光表面清洗的原理和它的实际应用,指出这种新型清洗技术具有无研磨、非接触、无热效应和适用于各种材质的物体等清洗特点,被认为是许多领域最可靠、最有效的清洗方法,它正以自身的优势和不可替代性,在许多领域中逐步取代了传统的清洗工艺。 相似文献
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要提高雷达T/R组件的可靠性,清洗工艺是非常重要的工艺步骤。但是,超声波清洗和汽相清洗等很多清洗工艺都有很多的缺点,使用的溶剂污染环境,破坏大气层,对人体有害,而且还会对组件中的电路或芯片造成损伤。激光清洗工艺有环保和无损伤的优点,而且能有效地清除组件中的氧化物、有机污染物和各种细小的颗粒等。可以预测,激光清洗必将在雷达T/R组件的制造中发挥越来越重要的作用。 相似文献