用碳气凝胶作电极材料制作双电层电容器

双电层电容器具有极大的电容量和优良的充放电性能，这种新型储能器件有着广泛的应用前景。用微结构可控的纳米多孔导电材料碳气胶作为电极制作的双电层电容器的比电容达２５Ｆ／ｇ，其内阻在１Ω以下，漏电流小于１ｍＡ。     

微机械电感器

微机械电感器作为基本电感元件用途相当广泛.本文介绍了螺线管电感器的原理,分析了其结构与工作效率的关系,设计了制作工艺过程.     

振弦式硅微机械陀螺

提出了一种新的振弦式硅微机械陀螺的设计方案,这一陀螺的制作采用硅微机械工艺.一方面,陀螺驱动模块采用电磁力驱动,这样能极大地提高驱动幅度;另一方面,陀螺检测模块采用差分的双振弦方式,从而提高了检测精度.通过陀螺检测模块的振弦将角速度的变化直接转换成输出信号的频率变化,这样能够极大地提高信号的抗干扰能力.理论分析表明,这...     

低电压缴反射镜型微机械光开关的设计与制作

利用 (1 0 0 )硅片和偏 2 5°的 (1 1 1 )硅片制作了静电驱动扭臂结构微反射镜型 2× 2光开关。微反射镜、自对准V型槽和扭臂结构是在 (1 0 0 )硅片上制作的 ,反射镜与光纤槽之间靠晶向自对准 ,反射镜与光轴垂直度较好。在偏 2 5°的 (1 1 1 )硅片上制作倾斜下电极结构 ,实验测得的 pull in电压为 1 3 2V ,几乎比平面下电极的 pull in电压降低一半。采用准直光纤耦合 ,开关的插入损耗小于 1 4dB ,串话小于 - 5 0dB。     

微机械硅加速度计的性能分析

介绍了各种类型的微机械硅加速度计的工作原理及特性,通过比较各类型硅加速度计的优劣,提出了高灵敏度硅加速度计的设计思路及实现方法。     

用氧化多孔硅作牺牲层制备悬空微结构

提出一种新的牺牲层工艺。先将阳极氧化生成的多孔硅在300℃的氮气氛下进行退火以稳定其多孔结构，然后将其在700℃下氧化成为具有多孔结构的二氧化硅。用氧化的多孔硅材料作为牺牲层材料，既可以保留多孔硅牺牲层材料释放迅速的优点，又克服了多孔硅在释放时的局限性。实验运用氧化的多孔硅材料作牺牲层成功制备了悬空振膜和悬臂梁结构。     

制作石英二元衍射光学元件工艺研究

介绍在微电子加工工艺设备的基础上研究制作８位相台阶衍射光学元件（ＤＯＥ）的工艺方法。对光刻曝光、反应离子刻蚀（ＲＩＥ）等关键工艺进行了实验，得到有实用价值的工艺参数和数据。     

一种新型的微机械可变式光衰减器

介绍了一种新型的连续可变式微机械单模光衰减器的设计与制作。该光衰减器采用电磁型微驱动器驱动一个铁镍合金衰减片，使其插入两根准直的单模光纤的间隙中，依靠精密地调节衰减片切入光路中的位置而实现对传输光功率的连续衰减。采用硅微细加工技术成功地制作出了这种光衰减器，并对微驱动器的性能进行了理论分析。测试结果表明，当传输的光波长为1550nm时，该衰减器的平均插入损耗为2.5dB，衰减范围为2.5-45dB，回波损耗为40dB。     

新型力平衡微机械真空传感器研究

力平衡微机械真空传感器采用 ｐ＋＋硅自停止腐蚀技术和硅／玻璃键合技术制作,为了保持参考腔处在高真空状态,使用非蒸散吸气剂来吸附参考腔中的残余气体。研制了两种结构新型力平衡真空传感器,结果表明,采用力平衡模式工作可以扩展传感器的动态范围,灵敏度高。对力平衡电压与真空度的关系进行了研究,理论值与实测值符合得非常好。     

基于表面微机械和压电薄膜技术的新型微谐振器

一种基于表面微机械和压电薄膜技术的体声波器件新结构，是在多晶硅膜片上演积氧化锌（ZnO）压电薄膜。ZnO膜是在c轴采用S枪磁控反应溅射定向生长，而多晶硅膜片采用表面微机械技术制备。采用平面工艺，对氧化牺牲层化学蚀刻和照像腐蚀，制得表面微结构，其性能与在硅膜片上各向异性的传统制作工艺比较，在制作简易性、生产量和可靠性方面都有重大进展。已制成的微谐振器尺寸为15μm×150μm和250μm×250μm，其谐振频率为559．05MHz。     

微机械加速度计的研究现状综述

随着微机械加工技术的不断进步以及微机械加速度计市场占有率的逐步扩大,各种类型的微机械加速度计层出不穷,其中以电容检测式微机械加速度计发展的最为迅速且产业化水平最高,其次是压阻式、压电式、热对流式、隧道电流式、谐振式,以及近年来成为研究热点的光学式加速度计。本文详细阐述了国内外已报道的各种类型微机械加速度计的结构、原理、制造工艺和性能指标,并对不同精度微机械加速度计的产业化发展现状和市场应用情况进行了总结。新材料、新机理、纳米尺度、智能化以及更高的性能指标将是今后几年微机械加速度计的主要发展趋势,也将在MEMS/NEMS领域掀起新一轮的研究热潮。     

金属基底上三维可动微机构的制作

在无背板生长工艺的基础上,以SU-8胶为牺牲层,直接在金属Ni基底上制作出了一种三维可动微机构．该器件的制作主要采用了SU-8厚胶光刻工艺、高深宽比结构的微电铸工艺以及牺牲层工艺．就SU-8胶与金属基底结合差、易产生气泡、去除困难,铸层与金属基底之间以及铸层与铸层之间结合不牢等问题进行了讨论,采用了过渡层工艺、梯度升温工艺以及酸洗等方法予以解决．对于在金属基底上通过微电铸制作微结构的工艺而言,由于基底可以直接作为微结构的一部分,因此该工艺的优势在于节省了微结构的电铸时间,降低了铸层的生长应力,提高了结构的整体强度,使微器件的可靠性大大增加．电铸时间由原来的几天甚至几周缩短为二十几个小时,避免了出现由铸层内应力引起的铸件结构变形的问题．     

微机械气动红外传感器的流体分析

提出了一种可工作于室温环境下的微型气动红外传感器,它基于气体吸收特定波段的红外辐射后产生的一系列热效应为物理基础,可获得包含红外辐射源信息的信号。为深入研究热效应所产生的微热信号对器件整体性能的控制和影响,优化器件的几何结构和行为,建立了符合器件工作机制的经典热传输模型,并在此基础上,利用通用商业有限元模拟软件ANSYS/FLORTRAN进行流体-结构耦合分析,获得了微型腔体温度,流-固界面压力分布情况以及薄膜的弹性形变,掌握了微结构的机械特性以及流畅的热输运特性。     

大位移自对准光开关微动作器的模拟和制作

报导了一种新型静电驱动扭转梁大位移微机械光开关微动作器的模拟、设计和制作。模拟结果表明，该微动作器的第一模态频率远低于第二模态，镜子的位移由梁的扭转引起。在32．8V的电压驱动下，上电极的前端位移是69．6μm，镜子的有效位移是57μm。测到第一模态频率是500Hz。利用本结构可成功地解决开关速度和大位移的矛盾。这样的位移足够使用Coming OptiFocus Collimating Lensed Fiber来对准，从而获得低插入损耗。     

用碳气凝胶作电极材料制作双电导电容器

双电层容器具有极大的电容量和优良的充放电性能，这种新型储能器件有着广泛的应用前景。用微结构可控的纳米多孔导电材料碳气胶作为电极制作的双电层电容器的比电容达２５Ｆ／ｇ，其内阻在１Ω以下，漏电流小于１ｍＡ。     

新型室温微机械红外探测器原理与设计

利用红外吸收气体直接吸收红外辐射的原理,设计出一种新型室温红外探测器。当密闭腔 内气体吸收红外辐射后,腔内压强增大使弹性薄膜形变,由以弹性薄膜为可动极板的微电容结构的电容变化量,可测得红外辐射的大小。采用微机械技术制作的探测器,对8-14mm红外辐射有灵敏、快速的响应,灵敏度≥2×10-3 pF/mW。     

金刚石微机械可用作医用植入件

美国桑地亚国家实验室制成了一种金刚石微机械，这种微机械是在非晶金刚石表面上刻蚀而成的。非晶金刚石的硬度仅次于晶体金刚石。     

一种新型硅微机械粘滞型谐振真空计

在对静电激励硅微机械谐振真空传感器研究的基础上，实现了一种新型的粘滞型谐振真空计。并给出了理论分析和实验结果。测试表明，其有效量程为1～1．33×103Pa。     

有机插层微晶白云母作环境矿物材料的探索综述

中国首次发现的沉积微晶白云母岩,其矿石组分比较简单,白云母呈板状微晶产出,矿石储量大,易采、易选、易加工,成本低廉,用途广阔.本文介绍有机插层微晶白云母作环境矿物材料的可行性、方法,及环境治理用途以及其巨大的潜在开发利用前景.     

基于多材料3D打印和约束牺牲层连续功能梯度材料-结构一体化制造与性能

针对现有功能梯度材料制备技术存在低黏度液体难以精准控形、层间结合强度差、成形结构单一等方面的不足和局限性,提出了一种基于多材料3D打印和约束牺牲层连续功能梯度材料-结构一体化制造新工艺,实现了聚合物基连续功能梯度材料的全新制备.通过理论分析和实验研究,揭示了挤出速度、打印速度、线间距等主要工艺参数对打印连续功能梯度材料...