基于激光反馈干涉仪的新型测长装置

1 工作原理 如果激光束聚焦在物体的散射表面,则有小部分辐射由表面散射返回至发射激光谐振腔并与原波产生干涉现象.如果物体移动,则后向散射光产生多普勒频移.激光晶体后面的光电二极管接收辐射并产生用拍频调制的信号.被称为多普勒频移的拍频fd为式中υ是移动物体表面的速度值,n是光学折射率,θ是速度矢量与激光束间的夹角,λ是激光在真空中的波长.根据多普勒频移和外差混频理论可推导出方程式(1).传感器配置如图1所示,它由内置光电二极管的激光二极管、微透镜、珀尔贴器件及电子线路组成.     

激光干涉仪线性测长的准直调节方法

概述了激光干涉仪在半导体工艺设备精度分析领域的应用,简单介绍了光路准直对线性测长的影响。依据激光干涉仪的准直测量原理,详细介绍了激光干涉仪准直的调节方法。     

用于工业测长的小型半导体激光干涉仪

He-Ne激光器发射波长为λ=632.8 nm的准直干辐射,功率较大，用于干涉装置特别有利。迄今使用的激光干涉仪几乎无例外地都采用这种气体激光器作光源。因此， 这种激光干涉仪体积较大，且需要大而稳定的支架和底座。     

激光测长系统

这是一种即使没有个人计算机也能通过图像进行误差分析的体积小,重量轻的超精密激光测长系统。该系统采用了可进行图像显示的EL控制板显示器和能打印测量值及     

激光多普勒测长

本文介绍一种利用“偏光分离检测信号差分技术”来消除基底噪声并用“锁相同步积分器”直接提取激光多普勒信号的“激光多普勒测长仪”。该仪器用于钢管探伤机上测量长度信息,相对测量精度可达±0.3％。     

高精度激光干涉仪在固体物理学中的某些应用

高精度激光干涉仪是一种很好的测量小于半波长的微小振幅或位移的手段。我们在实验室中已把它应用到固体物理学的某些方面。本文着重阐述激光干涉仪用于这些方面时的测量方法和测量情况。 1.仪器装置及测量方法 我们使用改进式的迈克尔逊干涉仪。用兰姆下陷稳频的氦—氖激光器作为光源。用组成直流电桥两臂的配对的硅光敏三极管作为外差接收元件。电桥的输出经由直流放大器放大,然后反馈到粘有一块平面镜的压电陶瓷上,这块平镜系为干涉仪的一臂。     

迈克耳逊激光干涉仪的数字测角技术

介绍了一种利用迈克耳逊干涉仪进行精密角度测量的角度测量系统,该系统利用迈克耳逊干涉仪的干涉技术,通过转换将角位移转换为干涉仪可以利用的线位移,并通过专用电路对干涉条纹进行细分、计量,从而实现了对大转角的精密测量。与以往类似系统相比,该系统克服了测量误差随测量角度增大而增大、测量范围小等不足,具有测量精度高、测角范围大、数字化程度高等特点。同时,给出了系统的构成原理、设计注意事项和有关的精度分析。     

激光干涉仪

校准机械工具的装备必须比具本身的精度更高。而经验又证明,量规必须此所测量的部件精确十倍。测量小尺寸时,普通规块已有足够高的精度,但在测量大距离时,领将这些规块组合使用;这就导致了由各别误差积成的总误差。     

激光干涉测长中的数据处理

本文以JD1-J一米激光测长机为例，着重介绍He-Ne激光干涉测长中的数据处理。     

激光干涉条纹计数测长

本文论述用激光波长作长度基准的优越性和激光波长随环境条件变化的修正,使测长精度不受影响。因此激光干涉条纹计数测长仪可以在一般环境条件下使用,不仅可在一般实验室内使用,还可在工厂精加工车间使用。并对激光干涉条纹计数测长的原理作了简要介绍。     

单频长基线激光干涉仪的在线稳定性监测方法

研究了一种长基线激光干涉仪的在线稳定性监测技术,可用于纳米量级的位移和振动测量。构建了一个臂长22m的激光干涉仪用于位移和振动测量。基于相位生成载波(PGC)解调技术,通过在相位调制载波中增加已知频率、固定幅值的指示信号,利用指示信号的幅度变化,实现激光干涉仪的工作状态监测,以及测量环境的变化与波动的指示。实验结果表明,加入已知幅度频率的指示信号可以实现激光干涉仪在线运行状态的监测。该方法的优点是没有增加硬件负载,可实现激光干涉仪的在线稳定性监测,简化了干涉仪调试过程,提高了运行效率。     

微型激光干涉仪

在米范围移动距离中,纳米级的高分辨测量系统,获得越来越重要的意义.然而,至今这类测量系统大多数不轻便且价格昂贵.本文介绍的是一种半导体激光干涉仪全新的设计方案,其结构简单,传感器十分轻便(直径17mm),具有至今未达到的效率,是距离、力、硬度或折射率理想的测量工具.     

氦氖激光干涉仪

珀肯-埃耳默公司已为空军制造一种特殊的氦氖激光干涉仪,这种装置促进了等离子体、火箭和透平排气的研究,在获得风洞空气密度特性曲线以及控制冲击波方面都有所帮助。     

塞曼激光干涉仪

激光器,由于具有极为狭窄的线宽,很适宜做各种干涉仪的光源。使干涉仪的一支臂中的光束从可动目标上反射或散射,然后与没有频移的光束重新复合,则使用适当的探测器,就能直接观察到多普勒移动。运用这种零拍探测方式的速度计已用来测量液流的速度,或测量不可能直接进行测量的物体的速度。外差装置也有报导,在这种装置中,参考臂的调制是利用从声波上的布喇格反射,或利用在电-光物质中的频率变换来完成的。     

小型激光干涉仪

德国的IOT GmbH生产一种小型激光干涉仪,一个集成光学迈克尔逊干涉仪是长90.5mm,直径12mm激光干涉仪的心脏。这种干涉仪可用于机床、半导体和其他精密测量工业。这种干涉仪的所有被动光学元件都     

激光多用干涉仪

JDG-1型激光多用干涉仪的原理结构较新颖,操作简单方便,用途广泛,是光学实验室、光学车间和有关研究单位经常使用的一种小型精密光学测试仪器,也是工业生产中的高精度测量装备。     

激光测长定位中的软件补偿

本文论述了大规模集成电路制造设备关键技术之一的激光测长定位补偿技术中，如何解决由温度、压强、湿度等因素造成激光测长定位中的误差，并定量的分析给予补偿。激光当量为λ／３２时，工作台的重复精度可达±０．２μｍ（３σ）。     

一种精密的激光测长技术

本文介绍一种以柱面光束为发射光的后向双散射光路,采用雪崩管为接收器,配以自动扫描及脱落保护的宽频频率跟踪器为信号处理电路的测长技术。结构及工作原理1.光路结构整体光路采用后向接收方案(图1)。单模偏振He-Ne激光器1发出的光经透镜组2准直扩束,柱面镜3,把扩束激光聚焦成一细线光束,偏振分束器4将光分成两束,经直角棱镜5反射,两束光于柱面镜的焦点处相交,散射光被透镜6收集,经干涉滤光片7到达接受器雪崩管8,由雪崩管输出的电信号通过频率跟踪器送入计算机进行处理。