表面微机械加工中分离微机械结构的新方法

在自由式微结构如束、振动膜和过载传感器的制造过程中，经常遇到的一个难题是分离开粘连在衬底上的微结构。这种同象出现在牺牲腐蚀工艺完成后晶片干燥期间。另外，牺牲层的腐蚀通常是器件制作的最后一步，故这类芯片中的ＣＭＯＳ电路必须采取保护措施。     

微机械加工技术

介绍了半导体加工技术、ＬＩＧＡ工艺及精密加工技术等在微机械加工技术中的应用。微机械的研究发展以及在医疗、生物工程等方面的应用，必将给人类的生产和生活带来巨大的变化。     

基于碳纳米管的微纳机电器件应用研究

综述了近年来碳纳米管在微纳传感器、纳米发电机、纳米执行器、纳米电子器件、纳米收音机与薄膜扬声器等方面取得的瞩目成果及典型应用,介绍了基于碳纳米管的微纳机电器件的制造工艺、器件性能及其研究进展,指出了碳纳米管基微纳机电器件在多元化发展、工艺多样化、材料复合化、产业化工程等方面的发展趋势。     

国外SiGe器件及其应用

本文主要叙述SiGe器件的材料、制作工艺及其器件应用。     

应用半导体工艺的波导型光器件

一、平面光波回路(PLC) 为了适应这种急速的信息增长,在干线传输系统中,采用一根光纤复用传输相近而不同波长光信号的WDM(波分复用)方法,从而得到通信的大容量化。还有在FTTH(光纤到家)的终端电信局与用户住宅之间利用光     

微机械加工技术在微传感器中的应用

随着微传感器的广泛应用，微机械加工技术被越来越多地应用于传感器的制造工艺中，从微机械加工技术的关键工艺入手，分别对体微机械加工技术和表面微机械加工技术加以介绍，并介绍了两种分别使用体微机械加工技术和表面微机械加工技术制造的微传感器。     

扫描镜的微机械加工法及其应用

扼要介绍了悬臂梁和扭转镜的表面微机械加工法及其主要应用     

硅基光波导结构与器件

简要评述硅基光波导的结构，工艺及其器件，包括低损耗的硅基光波导，电光波导器件，红外波导探测器，氧化硅光回路等。     

微机械加工技术与微传感器

传感技术的一个重要发展方向是传感器的微型化,微机械加工技术同昌硅微传感器的基础工艺技术,也是制作微执行器和微电子机械系统的基础工艺技术。本介绍微机械加工技术的概况以及采用微机械加工技术研制的几种微传感器。     

微机械及其特性

从机械工程的扩展领域着手研究并制作和测试了许多微机械样机，弄清了微机械的部分特性和研究课题，并就这些方面进行概述。     

微机械加工技术在传感器制作中的应用

讨论利用微机械加工技术制作传感器的可能性，必然性，介绍了几种在传感器制作中常用的微机械加工工艺，举例说明了用微加工技术制作的角速率传感器及加速度传感器的结构及性能。     

微流体光波导器件研究进展

微流体光波导器件是一种基于微流体调控的新型光学功能器件,在生物医学和环境监测等领域中具有广阔的应用前景。介绍了微流体光波导器件的基本结构,分析了微流体光波导器件的工作原理,阐述了微流体光波导器件的研究现状,并指出了其发展趋势。     

光纤器件及其在光纤通信中的应用

光纤器件是光纤通信网络的基石，它的发展加速了光纤通信技术和产业的迅猛发展，它的进一步突破将会掀起光纤通信发展的新高潮。本文首先阐述光纤器件在光纤通业中的作用及其技术和产业发展的必然性；然后综述光纤器件的产业现状和发展走向。     

高功率单模光纤激光器在微焊接和微机械加工中的应用

1引言 迄今为止,以棒状晶体为工作物质的固体激光器主要用于材料加工,其泵浦源已由灯发展到半导体激光器(LD),因此固体激光器的性能得到明显改善,但热透镜效应会降低光束质量和振荡效率.最近,日本成功开发的光纤激光器具有高功率单模振荡输出、无需水冷或谐振腔调整,并具有小型轻便等优点,因此作为加工高精密材料用的能源倍受用户青睐.     

高性能微惯性器件单片集成技术

讨论了高性能微惯性器件单片集成技术。首先对单片集成MEMS技术的优势及面临的困难进行了讨论,并对目前主流的单片集成MEMS技术特点、工艺流程进行了介绍,最后,给出高性能微惯性器件单片集成技术的未来发展趋势。