全聚合物型无热化阵列波导光栅参数的优化

研究一种新型无热化阵列波导光栅,这是由聚合物组成的一种新型阵列波导光栅。阵列波导光栅对温度的依赖性受波导物质的折射率、热膨胀系数和波导芯的尺寸影响,所以,通过调节这些参数就可以减小温度对阵列波导光栅的影响。优化得到全聚合物型阵列波导光栅在温度20℃～70℃范围内波谱漂移小于常规型AWG结构的0.5%。     

基于SOI的16通道200GHz阵列波导光栅

设计并制作了基于绝缘体上硅(SOI)材料的1×16阵列波导光栅(AWG).该AWG器件的中心波长为1 550 nm,信道间隔为200 GHz,采用了脊型波导结构.首先确定了波导的结构尺寸以保证单模传输,并利用束传播法(BPM)模拟了波导间隔、弯曲半径和锥形波导长度等参数对器件性能的影响,对器件结构进行了优化,同时也利用BPM方法模拟了器件的传输谱.模拟结果显示:器件的最小信道损耗为4.64 dB,串扰小于-30 dB.根据优化的器件结构,通过光刻等半导体工艺制作了AWG,经测试得到AWG器件的损耗为4.52～8.1 dB,串扰为17～20 dB,能够实现良好的波分复用/解复用功能.     

离子束辅助沉积真空镀膜技术制备阵列波导光栅波导材料

采用离子束辅助沉积(IBAD)真空镀膜技术制备阵列波导光栅(AWG)波导材料。以固体石英玻璃材料作为衬底,采用离子束辅助沉积真空镀膜制备SiO2膜层,以实现偏振不敏感的阵列波导光栅。实验表明器件的偏振相关性大大改善,其双折射B约为1.4077×10-5,远小于二氧化硅-硅基波导结构阵列波导光栅的双折射B=2×10-4。器件的热稳定性也得以改善,当工作环境的温度变化范围为-10~70℃时,采用此方法研制的阵列波导光栅最大波长漂移为1.144 nm,小于普通的二氧化硅-硅基波导结构阵列波导光栅的波长漂移1.368 nm。     

氟化聚合物光谱响应平坦化阵列波导光栅的优化设计和制备

本文基于阵列波导光栅(AWG)的传输理论,利用含氟聚合物(PFS-co-GMA)共聚物材料,对17×17信道光谱响应平坦化AWG波分复用器进行了参数优化.由于在聚合物阵列波导光栅器件的制备过程中,选用了反应离子刻蚀(RIE)工艺和蒸汽回溶技术,形成的梯形截面波导芯,使AWG传输的光产生相位移,导致传输光谱移动,引起串扰...     

Athermalized Polymeric Arrayed‐Waveguide Grating by Partial Detachment from a Si Substrate

We demonstrate a new fabrication method for adjusting the temperature dependence of a polymeric arrayed‐waveguide grating (AWG) on a Si substrate. A temperature‐dependent wavelength shift of ?0.1 nm/°C in a polymeric AWG on a Si substrate is reduced to +0.01 nm/°C by detaching part of the polymer film, including the grating channel region of the AWG, from the Si substrate while the other parts remain fixed on the substrate.     

17×17信道光谱响应平坦化的聚合物阵列波导光栅的研制

选用氟化聚芳醚FPE聚合物材料,设计并制备出了17×17信道光谱响应平坦化阵列波导光栅（AWG）波分复用器. 实验测试结果表明,器件的中心波长为1550.83nm,波长间隔为0.8nm, 3dB带宽约为0.476nm,插入损耗为13~15dB,串扰低于-21dB.     

适用于阵列波导光栅制作的厚SiO_2陡直刻蚀技术

采用ICP- 98型高密度等离子体刻蚀机进行了厚Si O2 陡直刻蚀技术的研究,利用双层掩膜技术解决了“微掩膜现象”问题,刻蚀获得12 .4 μm的陡直Si O2 光波导剖面,并将这一刻蚀技术用于阵列波导光栅的制作中.     

Determination of Transmission Routing of OXC Nodes Based on AWG Multiplexer by Matrix Transformation

The structures of the space switching and the wavelength switching optical cross connect (OXC)nodes which are based on the arrayed waveguide grating (AWG) multiplexer are analyzed. By the matrix transformation relation between the input and output wavelengths of the AWG multiplexer, the wavelength transmission routings of the space switching and wavelength switching OXC nodes are determined.     

偏振不灵敏硅基二氧化硅阵列波导光栅设计

以深刻蚀和热氧化工艺为基础,提出了一种新的阵列波导光栅(AWG)制备技术.这一工艺可使AWG中的波导侧向留有一硅层.采用有限元法和有限差分束传播法分别计算了存在这一硅层时的波导应力分布和有效折射率.结果表明由于这一侧向硅层的存在,使AWG中波导在水平和垂直方向的应力趋于一致,AWG的偏振相关波长明显减小.     

一种减小聚合物阵列波导光栅光谱漂移的有效方法

报道了一种在工艺制作过程中减小聚合物阵列波导光栅(AWG)器件光谱漂移的有效方法,通过调整波导芯层的旋涂转速来控制芯层的厚度进而可以有效地减小器件的光谱漂移.AWG器件的设计中心波长为1550.918 nm,制作的AWG器件的实际中心波长为1550.85 nm,即利用该方法使传输光谱的漂移减小到0.07nm,远远小于波长间隔0.8 nm,改善了器件的解复用功能.     

1×8阵列波导光栅型波分复用/解复用器设计的一种简单方法

用有效折射率法 ,采用近轴近似和波导模场分布的高斯近似 ,简化了阵列波导光栅( AWG)器件的设计过程中繁杂的计算 ,且保证了器件的性能指标 .给出了设计思路 ,并给出了 1× 8路、中心波长为 1 550 .9nm,波长间隔为 1 .6nm的 AWG波分复用 /解复用器的设计实例     

阵列波导光栅解复用器的偏振相关损耗的优化

对硅基二氧化硅阵列波导光栅解复用器(AWG DEMUX)的偏振相关损耗(PDL)进行了优化。理论分析了引起AWG偏振相关性的物理因素以及消除偏振相关性的工艺方法和条件。利用化学气相沉积、光刻和刻蚀等半导体工艺制备了AWG DEMUX芯片,并结合理论分析对包层材料中的硼(B)、磷(P)含量进行了优化调整,成功地将芯片的PDL降低至0.12 dB,使PDL参数满足芯片的商用化需求。     

基于阵列波导光栅的单纤三重波分复用器

利用阵列波导光栅实现单纤三重波分复用器是一种具有很多优点的方法.ITU G.983标准规定了无源光网络的三个波长为1310,1490和1550nm,由于这三个波长的间距相差很大,光谱范围也大,用普通的AWG设计方法不能达到理想的效果.文中提出了一种基于阵列波导光栅的单纤三重波分复用器的新型设计,利用衍射光栅的频谱周期性,使离第二、三波长较远的第一波长工作在不同的衍射级次,并将第一波长映射到与第二、三波长形成几乎等间距信道的第四波长,从而减小了对光栅自由光谱范围的要求,同时使对应这三个工作信道的输入/输出波导几乎等间距,解决了传统设计方法导致的衍射级次小、器件尺寸大、制作困难等问题.     

Design and Analysis of 4×4 Arrayed Waveguide Grating Multiplexer

The operation principle of an arrayed waveguide grating(AWG) multiplexer is introduced and the 4×4 AWG with following design parameters is discussed in detail, such as the choice of wavelength, the neighboring arrayed waveguide distance ΔL, the channel frequency interval Δf, and the free spectral range. The structure of 4×4 AWG is designed and the result of stimulated test is also given. Analysis shows that the 4×4 AWG is characterized by a wide dynamic range, low crosstalk, better spectrum properties, and a compact structure.     

Fabrication of 17×17 polymer/Si arrayed waveguide grating with flat spectral response using steam-redissolution technique

Arrayed waveguide grating(AWG) is a key device in the wavelength-division multiplexing(WDM) system, and the flat spectral response of the AWG device is required.In this paper,the RIE process has been improved.By using the steam-redissolution technique,the insertion loss and the crosstalk have been reduced.Experimental results show that the central wavelength is 1550.86 nm,the channel spectral response flatness is about 1.5 dB,3-dB bandwidth is about 0.478 nm,insertion loss is 10.5 dB,and crosstalk is abo...     

一种新颖结构紧凑的AWG器件

给出一种基于SOI材料结构紧凑的新颖AWG器件,它是将一个全内反射波导镜插入原波导阵列中间,并且利用全内反射时产生的相位差进行TE、TM模偏振补偿的方法,该器件具有尺寸小、制作工艺简单等特点.同时,给出一些实验结果,实验结果证实这种结构的AWG器件是可行的.     

一种新颖结构紧凑的AWG器件

给出一种基于SOI材料结构紧凑的新颖AWG器件,它是将一个全内反射波导镜插入原波导阵列中间,并且利用全内反射时产生的相位差进行TE、TM模偏振补偿的方法,该器件具有尺寸小、制作工艺简单等特点.同时,给出一些实验结果,实验结果证实这种结构的AWG器件是可行的.     

Simple method to adjust polarization dependence in polymeric arrayed waveguide gratings

Polarization-dependent wavelength shift of a birefringent-polymeric arrayed waveguide grating (AWG) is found to be adjusted simply by controlling the thickness of the first upper cladding layer while forming the upper cladding by several sublayers. Polarization-dependent wavelength shift is reduced to 0.08 from 4.24 nm in a birefringent-polymeric 16 /spl times/ 16 channel AWG on a silicon substrate by this method.     

一种降低列阵波导光栅相邻信道串扰的方法

阵列波导光栅 (AWG)作为波长滤波器在光通信领域具有很大的应用前景。串扰是影响阵列波导光栅应用的重要因素之一。为了降低阵列波导光栅相邻信道的串扰 ,本文提出并研究了一种降低阵列波导光栅的新方法。该方法利用阵列波导光栅的衍射特点性 ,通过调节阵列波导光栅的自由光谱范围 (FSR)、罗兰圆焦距和阵列波导数目 ,使得各信道信号的输出极小值处于其它信道输出波导中心 ,无次极大处于其它波导中 ,从而降低了阵列波导光栅的串扰 ,特别是相邻信道之间的串扰。通过光束传播方法 (BPM)的模拟了具有不同FSR的 1× 16阵列波导光栅 ,结果显示 ,该方法能将相邻信道之间的串扰降低约 5 .7dB。     

Double-passed arrayed waveguide grating for 500-GHz pulse burst generation

500-GHz repetition rate pulse bursts on multiple wavelength shifted channels are generated via femtosecond readout of an arrayed waveguide grating (AWG). These bursts are combined onto a single channel by double-passing the AWG, resulting in a substantially increased number of output pulses.