用小型准分子激光器制造微型零件

众所周知，世界正在变小。人们正开始把电话机放在口袋里，把计算机拉在手臂下。汽车正在快速发展微小传感器和微小调速控制器。人们正用微型器械和植入物修复眼睛、膝盖和心脏。这种微型化革命正点燃对用于微制造的新设备需求的扩大。微型元件和微型化系统的制造需有能对所用材料在甚小空间尺度进行成形、测量和标记的手段。传统机械操作都是用研磨机、车床、卡现、雕刻机等进行的，当形状尺寸大于几百微米时，类似设备都可解决大多数要求。但当孔径、槽宽、特性高度和类似形状尺寸小于这个范围时，光学手段可能是几种有生命力的选择之一。…     

以准分子激光生产微型芯片

长期以来，准分子激光器曾被视为不适合工业性应用，理由是：“太复杂，而且最受干扰”。目前，这一观点一去不复返。激光器制造商已进行大力开发，使其在微电子和其他工业领域中得以应用。工业准分子激光器就经济意义来说，不久的将来，将不亚于CO。和YAG激光器，后者在市场上早已出现。专门研究高科技市场业务的光学技术咨询公司即持这种观点。到2000年以前，据估计，仅集成电路生产每年就需要400～500台准分子激光器。以每台售价60万马克计算，世界范围内，年销售额约为3亿马克。此外，工业准分子激光器还可用来打孔、标记、蚀刻和金属…     

光刻用准分子激光器

用KrF准分子激光器作光源的64M bit-DRAM的光刻生产线已正式引进到半导体工厂。准分子激光器的生产也逐渐走向正规。并且,ArF准分子激光器光刻的研究开发是以1G bit DRAM为主,不仅要提高准分子激光器的性能.还要达到高可靠性、易维修、操作简单。本文将介绍准分子激光器在高性能、高可靠性方面的研究课题及现状。其次介绍生产用KrF准分子激光器以及研究用ArF准分子激光器的最新开发动向及其外围课题。     

微加工准分子激光器

微加工准分子激光器准分子激光器用作材料微加工和表面修整中的光刻紫外辐射源。目前，世界上有十多家公司和企业致力于准分子激光器的设计生产。业已广告亮相的激光器类型达７０多种。１９９２年的销售量，达到约３５００万美元［‘］。业已生产几种激光器的辐射波长：１...     

高亮度紫外准分子激光器

短波长稀有气体卤化物准分子激光系统的峰值功率迄今远低于固体激光系统，但由于准分子激光短波长和气体介质光学畸变较少，被认为是产生高强度（Ｉ≥１０＾２０Ｗ／ｃｍ＾２）激光的最佳侯选者。当短波长聚焦光学系统经过改进，且提高准分子激光的提取效率后，以上目标更容易达到，本文介绍一些新技术，包括空间包络调制脉冲放大、非轴向放大和相干多角路放大，且报道一些获得桌面高亮度准分子系统的考虑。     

用于光刻的KrF准分子激光器

我们研制了一台用于光刻的ＫｒＦ准分子激光器（２４８ｎｍ），单脉冲能量２００ｍＪ平均功率５～９Ｗ，能量不稳定度＜土５％，脉宽３５ｎｓ，线宽０．５２ｎｍ，重复频率０．５～１００Ｈｚ，单次充气寿命＞５×１０５次脉冲数，储气寿命约一个月，近场光斑尺寸８ｍｍ×２０ｍｍ，性能指标和光束的均匀性满足了光刻的要求。