铂薄膜化学气相沉积动力学规律探讨

以乙酰丙酮铂为沉积源物质，采用金属有机化合物化学气相沉积（MOCVD）法在Mo基体上制备了Pt薄膜，研究了Pt薄膜的沉积速率与基体温度、乙酰丙酮铂的加热温度和运载气体（氩气）流速等沉积参数的关系。Pt的沉积速率与沉积温度之间的关系不符合Arrhenius方程：沉积速率与绝对温度的倒数呈现抛物线关系，当温度为550℃时，Pt的沉积速率达到最大值，随着乙酰丙酮铂加热温度的升高，Pt的沉积速率直线增加，而氩气流速的增大则显著减少Pt的沉积速率，SEM波谱成分分析表明，Pt薄膜中含有少量的氧。     

氯盐溶液中铅置换银的动力学

应用旋转圆盘技术研究了饱和氯化钠溶液中铅置换银的动力学。置换速率明显受到温度、搅拌速率、初始银浓度及溶液ｐＨ值的影响。溶液ｐＨ值由中性降至弱酸性时，有利于置换反应的进行。适当条件下，每平方米铅板上银的沉积量在１．５ｈ内可达到０．２６ｋｇ以上。体系的置换反应机理符合扩散控制机理。动力学数据服从一级反应速率的规律。     

化学镀镍加速剂的研究

研究了酸性化学镀镍溶液中加速剂对沉积速度、氢的析出量、镀层含磷量和镀层耐腐蚀性能的影响。并用电化学方法测定了化学镀镍过程的阴极、阳极极化曲线，找到了一种较理想的加速剂。     

银的催化动力学分析法

早在本世纪30年代,桑德尔(Sandell)和柯尔蜀夫(Kolthoff)就预言到动力学方法用于物质分析测定的可能性.经过几十年的探索和实际应用,已发展为化学分析领域内的一个独立体系.并已广泛用于环境、医药(含化学试剂)、生物、岩石矿物、冶金等物料的分析测试中.     

NbF5前驱体化学气相沉积铌涂层的生长动力学

采用常压化学气相沉积方法在1150℃下成功制备了组织致密的金属铌涂层,沉积速率达到了250μm/h。通过对沉积后沿进气方向涂层厚度分析,确定了不同位置NbF_5、H_2、HF及Ar的摩尔分数,对数据进行拟合获得了与实验结果吻合较好的生长动力学方程。进一步分析动力学方程可知副产物HF对于沉积速率影响较大而Ar几乎没有影响。     

化学镀镍磷合金沉积速度的研究

较系统地研究了镀液温度、ｐＨ值、缓冲剂及稳定剂等因素对化学镀Ｎｉ－Ｐ合金沉积速度的影响规律,并给出了满意的实验结果。     

配体交换动力学法测定痕量银的研究

在酸性条件下痕量Ａｇ（Ｉ）对Ｋ４［Ｆｅ（ＣＮ）６０３６１－尿素间的配体交换反应具有显著的催化效应,催化反应的表观活化能为１８．１２ｋＪ·ｍｏｌ＾－１。本文据此建立了测定痕量银的配体交换动力学分析法,测定条件为Ｋ４［Ｆｅ（ＣＮ）６］：８．０×１０＾－４ｍｏｌ·Ｌ＾－１,［ＣＨ３ＣＯＯＨ］：０．１２ｍｏｌ·Ｌ＾－１,［ＣＯ（ＮＨ２）２］：６．０×１０＾－４ｍｏｌ·ｍｌ＾－１,８０℃。线性测定范围为１０     

化学气相沉积

化学气相沉积(Chemical Vapor Deposition,简称CVD)是利用化学反应由气相生长固体物质的方法。一般把反应物是气体而生成物之一是固体的反应称为CVD反应。通常CVD要利用高温或其它激活方法,依靠化学反应制取所需要的薄厚膜。     

稀土钕对真空沉积银纳米粒子细化作用的研究

稀土元素作为微米级晶粒细化剂在有色和黑色金属工业中已经得到广泛应用，试验采用TEM，EDX，HEED和XRD方法研究了稀土钕对真空沉积的纳米级银粒子的细化作用。结果表明，稀土钕对银纳米粒子有细化作用，与稀土钕相关的成分为非晶态，细化作用使银的XRD衍射峰消失。分析认为，细化作用源于稀土钕增强了基底表面徙动激活能和基底原子吸附能，并由Lewis-Campbell理论估算得到稀土钕的引入使基底表面徙动激活能增加约0．071eV，相应的基底原子吸附能增加约0．142eV—0．426eV。     

乙醇体系中铜基材浸镀银的动力学研究

以硝酸银为主盐,乙二胺为络合剂,乙醇为溶剂,在紫铜表面镀银。研究了浸镀银平均沉积速率随时间的变化规律,并对沉积速率与银离子浓度、乙二胺加入量、镀液温度、镀液pH值和乙醇加入量等工艺参数的关系曲线进行线性拟合,得到了各反应级数和表观活化能。最后得出动力学沉积速率方程,并进行了验证。     

用化学还原法从含银电镀废液中回收银的研究

研究了用化学还原法从电镀银废液中回收银时,Na2S2O4/Ag+摩尔比、温度等因素对银回收率的影响,得到的最佳回收工艺条件为:Na2S2O4/Ag+摩尔比为2.5,温度35℃,pH=7.5,搅拌速度300 r/min,用此工艺银的回收率可达99.98%。采用XRD、XRF、TEM、SAED对回收的银粉体进行了表征,银粉纯度较高,成球链状分布,平均粒径为175.8 nm。     

W18Cr4V高速钢基体的TiN化学气相沉积

研究了气体总流量、沉积温度、TiCl4蒸发温度、氮氢比等工艺参数对W18Cr4V高速钢基体TiN沉积速率的影响。确定了沉积过程分别为扩散控制区和表面过程控制区的试验条件。在表面过程控制区域,测定了本试验条件下W18Cr4V钢基体TiN化学气相沉积的表面过程表观活化能值为137．23kJ／mol。     

沉积温度对化学气相沉积铼涂层性能的影响

利用五氯化铼热分解反应,采用冷壁式现场氯化化学气相法在钼基体沉积铼涂层,分析不同沉积温度对铼涂层的物相组成、沉积规律、表面形貌、密度和硬度的影响。实验结果表明:沉积所得均为纯铼涂层,晶粒生长方向均以(002)晶面为主;随着沉积温度的上升,铼涂层的沉积速率和沉积效率大幅提升,表面形貌由复杂多面体态变为六棱锥状;涂层组织致密,相对密度最高可达99.9%,维氏硬度随沉积温度升高而升高,最高达6100 MPa。     

铝合金化学沉积镍磷合金表面强化的探讨

研究了在铝合金表面化学沉积镍磷合金的工艺条件，时效温度和时间对镀层晶态转变、硬度与基体结合力等方面的影响。结果表明：化学沉积镍磷合金后，铝合金的表面硬度、耐磨性、耐蚀性都大幅度提高。     

铸铁表面Ni—P化学复合镀

研究了以灰口铸铁为基体材料的Ni-P化学复合镀。首先探讨了铸铁镀前预处理工艺,其次通过调整镀液成分和镀覆条件,获得了一种比较理想的化学复合镀镀液配方和工艺,最后试验了各种添加粒子的复合镀。结果表明,可在铸铁表面获得高硬度Ni-P化学复合镀镀层。     

铜合金化学镀Ni—P表面强化的探讨

研究了铜合金化学镀Ｎｉ－Ｐ合金的工艺条件：时效温度、时效时间对镀层晶态转变、硬度与基体结合力的影响，比较了化学镀前后的耐磨性、耐蚀性。结果表明，化学镀Ｎｉ－Ｐ合金后，铜合金的表面硬度、耐磨性、耐蚀性都显著提高。     

石墨上化学气相沉积SiC组织特征与性能

利用压汞法、SEM和EDS等分析手段对石墨及化学气相沉积SiC组织结构进行了研究。石墨试样的比表面测试显示：经2200℃高温处理石墨试样的比表面积较未处理试样增大了近34％。石墨试样的孔径分布显示：高温处理石墨试样的孔径分布在〈10nm和〉200nm有所增加，而界于两者之间的中型孔径分布略有降低，从而证明了热处理中大量原子发生一定范围的重排。SEM和EDS分析表明，高温处理过的石墨沉积SiC具有CVI结构特征；经过高温处理的石墨SiC沉积呈CVI特征，而未经高温处理石墨沉积的SiC呈典型CVD特征。对CVDSiC／graphite再经1600℃处理，对强度影响不大。     

CVD温度对钽沉积层性能的影响

介绍了化学气相沉积(CVD)制备难熔金属钽涂层的原理及方法。采用冷壁式化学气相沉积法,在钼基体上沉积出难熔金属钽层。分析研究了CVD温度对沉积层的沉积速率、组织、结构和硬度等的影响。结果表明:在1000～1200℃温度范围,沉积速率随温度升高而增大;当温度超过1200℃时,沉积速率随温度的升高反而略有减小;沉积层组织呈柱状晶并随温度的升高逐渐增大;沉积层的硬度及密度随温度的升高而逐渐降低。化学气相沉积钽的最佳温度在1100℃左右。