变温超高真空扫描探针显微镜

扫描隧道显微镜（ＳＴＭ）是一种可以在实空间观察到原子级分辨率图像的实验仪器,且发展出许多衍生仪器,如原子力显微镜（ＡＦＭ）、扫描近场光学显微镜（ＳＮＯＭ）等,统称为扫描探针显微镜（ＳＰＭ）。但是以往人多数ＳＴＭ是在室温条件下工作的,不能实时观察样品随温度变化的情况。本文介绍德国Ｏｍｉｃｒｏｎ公司新开发的变温超高真空扫描探针显微镜（ＶＴ ＵＨＶ ＳＰＭ）,它包括ＳＴＭ和ＡＦＭ两部分,可以在２５Ｋ～１     

扫描探针显微镜

本文对近几年发展起来的扫描探针显微镜及其应用作了简要介绍。     

扫描力显微镜

本文在讨论ＳＦＭ基本原理和针尖－样品相互作用基础上,详细介绍了近期ＳＦＭ成像模式和技术的发展以及它们在表面研究中的应用。     

扫描探针显微镜在纳米科技中的应用

本文在介绍了扫描探针显微镜的发展和有关纳米科技知识的基础上，论述了扫描显微镜在纳米科技中的应用。     

国产CSPM-930型扫描探针显微镜介绍

国产CSPM－930型多功能扫描探针显微镜，是一种与光学显微镜结合的、具有STM、AFM、LFM等多模式和功能的实用型仪器。该仪器在设计上考虑国内科研的实际需要，在分辨率等主要性能指标上毫不逊色于国外同类SPM产品，在性能价格比、适用性、及售后服务等方面有着明显的优势。在纳米科技的各个研究领域亦有着上乘的表现。     

开放式多功能扫描探针显微镜系统

开放式多功能扫描探针显微镜、集成扫描隧道显微镜、原子力显微镜、横向力显微镜和静电力显微镜．具有接触、半接触和非接触工作模式，可进行作用力、电流、电位、光能量等参数的高度局域综合测量,具有极高的开放性和可扩展性，支持用户进行二次开发。     

模块化扫描探针显微镜的研究

介绍一种多功能、模块化扫描探针显微镜,它综合了ＳＴＭ、ＡＦＭ、ＭＦＭ、ＦＦＭ等的功能,不仅能检测物质表面微观形貌,还能检测微小静电力、磁力、原子力和摩擦力,具有较好的灵活性和较宽的应用范围。     

扫描探针显微镜在纳米材料表征中的应用

报道了扫描探针显微镜在纳米电子薄膜材料的形貌、晶界、晶粒形状与尺度、表面粗糙度和剖面分析中的具体应用实例,以及纳米磁性薄膜中的微磁畴、铁电材料的微电畴和半导体PN区像等电磁特殊性的可视分析应用。     

石英音叉扫描探针显微镜

石英音叉是一种谐振频率稳定、品质因数高的时基器件,其音叉臂的谐振参数(谐振振幅和谐振频率)对微力极其敏感。利用石英音叉对外力的敏感性,与钨探针结合,构成一种新型的表面形貌扫描测头。该测头与xyz压电工作台结合,利用测头音叉臂谐振频率对扫描微力的敏感性,研制基于相位反馈控制的扫描探针显微镜。首先介绍石英音叉测头的构成、工作原理和特性测试,以及由该测头构建的扫描探针显微镜的结构和测试、分析。通过对测头和系统的测试结果分析,系统达到1.2 nm的垂直分辨率,并通过对一维栅的测量,给出扫描获得的试样表面微观形貌图以及相位图,证明系统的有效性。另外,由于采用大长径比的钨探针,该系统具有测量大深宽比微器件表面轮廓的能力。     

Scanning Probe Microscope based Deep-Level Spectroscopy of semiconductor films

Deep-Level Spectroscopy, based on transformation and analysis of capacitance or charge transients, following the excitation of the sample by voltage pulses, yields information on electrically active defects in semiconductors, hardly obtainable by other methods. Our microscope performs Isothermal Charge-Transient Spectroscopy (IQTS). It samples the transients from 2 μs to tens of ms and beyond with a resolution of hundreds of electrons. By means of a small heated stage the temperature of the sample can be varied between room temperature and about 200 °C. From the shift of IQTS peak maxima with temperature, the activation energy and capture cross-section of defects can be obtained. We have shown that quantitative determination of concentration is possible but it requires careful analysis and simulation, since the analysed volume depends besides on the experimental conditions also on the properties of the analysed structure.     

扫描探针显微镜在粗糙度、纳米尺寸、表面形貌观测方面的应用

扫描探针显微镜是近十几年来在表面特征表面形貌观测方面最重大的进展之一，是纳米测量学的基本工具，本文叙述了扫描探针显微镜的工作原理、检测模式及在观察检测纳米级的粗糙度、微小尺寸、表面形貌方面的特点和方法，比较了原子力显微镜、常规的表面轮廓仪、干涉显微镜、扫描电子显微镜在表面特性、表面形貌观测方面的性能，着重介绍了扫描探针显微镜在这方面的应用和存在的问题。     

模糊及PID控制在变转速液压动力源流量控制中的应用研究

针对变转速液压系统存在动态响应慢、非线性、控制精度低等问题,特别是负载快速多变时,流量和压力之间产生强耦合,流量控制会出现时变性和不稳定性,采用常规PID控制无法取得理想控制效果。因此结合模糊控制原理,基于LabVIEW测控平台,提出以液压动力源输出流量为控制量的模糊控制策略,对不同典型工况下流量的精确控制进行实验研究,并将液压动力系统在两种控制方法下的动态响应特性、控制精度和稳定性等进行了对比分析评价。结果表明:所提模糊控制策略实际控制效果较好,两种控制方式下的动态响应特性相近,但模糊控制具有更好的鲁棒性。     

大型风电机组偏航和变桨距控制系统研究

简述了偏航和变桨距系统结构特点和动作要求。针对风速风向非线性变化的特点,采用一种变论域自适应模糊控制研究在风速变化下的兆瓦级风力发电机组偏航和变桨距系统联合互补工作的控制技术。利用MATLAB软件对系统进行了仿真,仿真结果证明了该方法的可行性。     

火电厂自动加药监控系统的开发及应用

根据火电厂化学车间的自动加药系统的要求，介绍采用基于PLC、变频器和上位监控组态软件等组成，采用变结构仿人智能控制算法的实用监控系统，具有可靠性高、适应性强、功能强大等优点。     

U轴刀具控制功能的开发及应用

通过对一种U轴刀具的机械结构和运动特点的分析,开发了相应的U轴控制功能,能够消除主轴运动对U轴的影响。该控制功能已成功应用于带U轴的立式加工中心上,实现复杂零件的高效精密加工。     

车间作业调度监控系统的研究与开发

介绍了车间作业调度监控系统的网络结构和功能模块组成，并对其实现的关键技术进行了分析。经过试运行，系统已基本达到了设计要求。     

综合监控系统的数据接口开发与应用

分析了综合监控系统与被集成和互联系统之间的数据接口的特点和分类,给出基于软件平台的驱动型数据接口和基于通信协议转换模块的接口开发方法,并就数据接口标准化提出建议。     

SPM用于超精加工领域的重要性及特殊性

讨论了扫描针显微镜作为一种显微工具的优势和不足,介绍了把ＳＰＭ应用于超精密加工检测领域所要注意的问题,指出纳米级加工机理的研究将依赖于ＳＰＭ的复合化及多功能化,只有实现了加工与检测的一体化才能正确评价加工方法及工艺参数的优化选择,从而引导超精密加工的发展。     

加工中心的刀具监控技术发展应用浅谈

高速加工是现代制造技术核心。加工过程表现出的安全要求更为迫切。刀具监控正在发展成为现代制造理论的支撑技术之一；正是高速加工安全问题对刀具实时监控技术的这种需求。促进了该顶技术的发展和成熟并走向实用化。