亚微米BiCMOS工艺技术

ＢｉＣＭＯＳ是双极的速度和驱动能力与ＣＭＯＳ的高密度和低功耗的结合。考虑到功耗原因，ＢｉＣＭＯＳ器件主要以ＣＭＯＳ为主。因此，双极器件通常并入ＣＭＯＳ核心工艺流程。当器件尺寸减小时，双极和ＣＭＯＳ技术显得愈发相似。本文例举了０．８μｍ和０．５μｍ的技术论点，ＢｉＣＭＯＳ电路与ＣＭＯＳ相比，成本稍有增加，但其性能提高一倍。     

高性能BiCMOS制造技术及I/O电路优化

本文报导一套先进的ＢｉＣＭＯＳ集成电路制造技术，建立在ＣＭＯＳ工艺基础上的ＢｉＣＭＯＳ制造工艺，增加了双埋层，２．５微米本征外延层，双阱，基区，多晶硅发射区，深集电区和平坦化双层金属布线等工艺技术。器件性能测试和扫描电镜检查结果表明，双极器件和ＭＯＳ器件性能优良，ＢｉＣＭＯＳ器件的抗锁定性能比ＣＭＯＳ器件提高了一个数量级。     

亚微米BiCMOS工艺技术

ＢｉＣＭＯＳ是双极速度和驱动能力与ＣＭＯＳ的高密度和低功耗的结合。考虑到功耗原因，ＢｉＣＭＯＳ器件主要以ＣＭＯＳ为主，因此，双极器件通常并入ＣＭＯＳ核心工艺流程。当器件尺寸减小时，双极和ＣＭＯＳ的技术显得愈发相似。本文列举了０．８μｍ和０．５μｍ的技术论点。ＢｉＣＯＳ电路与ＣＭＯＳ相比，成本稍高但其性能提高一倍。     

采用混合模式晶体管(BMHMT)构成低温BiCMOS集成电路

本文介绍采用与ＣＭＯＳ工艺完全相容的双极／ＭＯＳ混合模式晶体管（ＢＭＨＭＴ）构成新型的低温ＢｉＣＭＯＳ集成电路．理论分析表明该电路与ＣＭＯＳ相比，在电压摆幅相同，静态功耗相近的条件下，具有更大的驱动能力，尤其在较低的工作电压下，其特点更加突出．我们用统一的标准和相同芯片面积设计了３９级带负载的ＢｉＣＭＯＳ和ＣＭＯＳ环形振荡器．实验样品经室温和低温平均门延迟时间测试，表明在相同工作电压下ＢｉＣＭＯＳ优于ＣＭＯＳ．若两种电路都采用ＳＯＩ结构，预计ＢｉＣＭＯＳ可以获得更好的结果     

MCBiCMOS门阵列的母片设计

本文介绍ＭＣＢｉＣＭＯＳ门阵列的母片设计技术。由于采用了先进的ＭＣＢｉＣＭＯＳ工艺和设计技术，ＭＣＢｉＣＭＯＳ更适合地制作高性能，大规模的专用集成电路。在２μｍＣＭＯＳ和３μｍ双极相结合的设计规则基础上，我们设计了ＭＣＢｉＣＭＯＳ２０００门门阵列母片，并利用ＭＣＢｉＣＭＯＳ宏单元库，成功地完成了ＣＧＢ２００３     

BiCMOS例相器延迟特性的计算与分析

本文对ＢｉＣＭＯＳ倒相器延迟特性进行了系统研究，在分析比较ＭＯＳ与双极器件及其组成电路不同状态下的工作特点基础上，得到ＢｉＣＭＯＳ倒相电路在小注入、大注入和集电极寄生电阻等不同限制条件下的延迟时间的解析关系式，结果表明该模型具有近似于ＳＰＩＣＥ数值模拟精度，为各类高性能ＢｉＣＭＯＳ电路的优化设计与分析提供了理论依据．     

BiCMOS倒相器延迟特性的计算与分析

本对ＢｉＣＭＯＳ倒相器延迟特性进行了系统研究，在分析比较ＭＯＳ与双极器件及其组成电路不同状态下的工作特点基础上，得到ＢｉＣＭＯＳ倒相电路在小注入，大注入和集电极寄生电阻等不同限制条件下的延迟时间的解析关系式，结果表明该模型具有近似于ＳＰＩＣＥ数值模拟精度，为各类高性能ＢｉＣＭＯＳ电路的优化设计与分析提供了理论依据。     

高速BiCMOS工艺研究

研究开发一种准２μｍ高速ＢｉＣＭＯＳ工艺，该工艺采用乍对准双埋双阱及外延结构。外延层厚度２．０－２．５μｍ，器件间采用多晶硅缓冲层局部氧化隔离，双极器件采用多晶硅发射极晶体管。利用此工艺试制出ＢｉＣＭＯＳ２５级环振，在负载电容ＣＬ＝０．８ｐＦ条件下，平均门延迟时间ｔｑｄ＝０．８４ｎｓ，功耗为０．３５ｍＷ／门，驱动能力 ０．６２ｎｓ／ｐＦ，明显ＣＭＯＳ门。     

自对准外延CoSi_2源漏接触CMOS器件技术

ＣＯ／Ｔｉ／Ｓｉ或ＴｉＮ／Ｃｏ／Ｔｉ／Ｓｉ多层薄膜结构通过多步退火技术在Ｓｉ单晶衬底上外延生长ＣｏＳｉ２薄膜，ＡＥＳ、ＲＢＳ测试显示ＣｏＳｉ２薄膜具有良好均匀性和单晶性．这种硅化物新技术已用于ＣＭＯＳ器件工艺．采用等离子体增强化学汽相淀积（ＰＥＣＶＤ）技术淀积氮氧化硅薄膜，并用反应离子刻蚀（ＲＩＥ）技术形成多晶硅栅边墙．固相外延ＣｏＳｉ２薄膜技术和边墙工艺相结合，经过选择腐蚀，可以分别在源漏区和栅区形成单晶ＣｏＳｉ２和多晶ＣｏＳｉ２薄膜，构成新型自对准硅化物（ＳＡＬＩＣＩＤＥ）器件结构．在Ｎ阱ＣＭＯＳ工艺     

合并互补BiCMOS集成电路的研究

分析了几种常规ＢｉＣＭＯＳ门电路的特性，对合并互补（ＭＣ）ＢｉＣＭＯＳ集成电路的二输入与非门和１１级环形振荡器进行了实验研究，并与常规ＢｉＣＭＯＳ进行了比较。实验结果说明，ＭＣＢｉＣＭＯＳ具有电路结构简单，芯片面积小，工作速度高，负载能力强和低压工作特性好等优点。     

SA011瓦斯报警器集成电路的设计原理

本文介绍了一种用于矿井作业中瓦斯报警器集成电路的电路设计原理。着重阐述了电路设计过程中的设计思想、设计要点及计算方法，并给出了产品研制结果。采用该产品制作的报警器具有外围简单、使用方便、性能稳定、体积小、重量轻等特点。该产品可扩展应用于监控温度、压力、声光等仪表中。     

No.7信令系统TFP消息的有关问题

禁止传递消息（ＴＦＰ）是Ｎｏ．７信令系统路由管理功能中一个非常重要的消息。本文就ＴＦＰ的深入理解以及ＴＦＰ的局限性作了深入的讨论，并对完善ＴＦＰ的响应方法提出建议。     

基于PON网络的自助装维支撑系统的研究与开发

本文介绍如何让装维人员能够非常直观、简单地通过手机自助查找PON网络装维过程中的问题,很好地落实国家＂宽带中国＂、＂光网城市＂战略,让装维人员利用3G移动互联网技术解决FTTx装维过程中的问题就是我们研究的课题。     

GPS信标机系统的设计与实现

介绍一种利用GPS定位,实现对目标无线定位任务的GPS信标机系统。采用在待测目标上放置信号发送装置,在地面或者其他位置放置信号接收装置,接收装置接收发送装置发送的定位信息,实现定位的目的。经实验得出,信号发送装置的定位信息:经度111°44.72018',纬度39°04.18254',海拔高度1 412 m;信号接收装置的定位信息:经度111°44.73089',纬度39°04.16502',海拔高度1 333 m。结果表明,能准确定位待测目标和接收装置的定位信息(包括时间、经度、纬度和海拔高度等),是一种很好的无线定位信标机系统。     

基于配置管理的运维和设计融合架构探讨

对ITIL管理中配置管理的功能架构进行了分析,在基础配置资源及外部数据的基础上探讨运维和设计相融合的配置管理应用架构,为各运营商系统运维与规划设计的相结合提供了一种新思路。     

建筑物内电磁波传播的计算问题

本文用时域有限差分(FD-TD)法研究了建筑物内电磁波传播的计算问题.首先把计算结果与联合有限元法和边界元法的结果进行了对比,而后计算了不同频率电磁波从不同方向入射时建筑物内电磁场分布的特点.并计算了线源辐射的电磁波在建筑物内的传播及向外辐射的特性以及脉冲电磁波在建筑物内传播和反射的特点.     

喷气式发动机旋转叶片对电磁波的调制效应分析

喷气式飞机的Ｊ．Ｅ．Ｍ效应对飞机机身散射的用有信号是个大的干扰。本文首先分析研究发动机旋转叶片在其进气道内形成的实际孔径的财期性变化规律，然后用等效波导模型，采用模型匹配法分析皮导中旋转叶片对Ｙ极化传输电磁小波的调制效应，这种调制效应是用旋转叶片对波导模的反射系数的变化规律来表示的。     

提高新闻节目后期制作效率的措施及案例

从实际应用和管理的角度出发,对新闻节目后期制作中素材的上载、编辑软件的使用、模板的应用、媒体资产的运用、节目制作流程等环节进行探讨.并以贵州广播电视台采用的方案为例,讨论了如何采取措施提高节目制作效率、优化节目生产流程.     

Characterization of electroplated copper self-annealing with investigations focused on incorporated impurities

At room temperature electroplated copper exhibits changes in microstructure widely known as self-annealing. To investigate this phenomenon we simultaneously determined resistivity, residual stress, microstructure evolution, and behavior of organic impurities in three Cu layers of 600, 1000, and 2000 nm thickness. The examination of Cu layer impurities presupposed an extensive work of identification and elimination of contamination sources. After developing and applying several cleaning procedures it was possible to qualify and quantify incorporated C as indicator for organic impurities. The investigation of Cu self-annealing led to the conclusion that the microstructure evolution has to be divided into two periods. The first period of inhibited grain growth shows an impurity diffusion out of the metallization layer combined with a significant stress relaxation. In the following second period a forced grain growth evolution starts forming up a coarse grain microstructure.     

散射物体全息照片的显微结构与拍摄参数的选择

文章披露了全息光栅，散射物体的离轴全息和彩虹全息图片，在５０００倍电子显微镜下的照片，并从理论上解释了它们的显微结构。指出它们是散射物体在干板上的菲涅尔变换频谱与以考光相干涉的结果。指出这种显微结构是散射物体全息照片衍射效率低于全息光栅的根本原因，并提出了改进拍摄办法。以增加衍射效率和提高信噪比。