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通过求解经修正的二维泊松方程,并考虑了主要的短沟效应和高场效应,得到一个描述短沟道MOSFET器件I-V特性的统一物理模型。该模型适用于包括亚阈区在内的不同工作区域,对0.8μm和1.4μm器件的漏极电流特性能较好地描述,可应用于亚微米、深亚微米级MOSFET的电路模拟。 相似文献
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叙述了一个考虑包括速度过冲等短沟道效应的MOSFET渡越时间解析模型,计算结果与二维数值模拟符合较好,探讨了在线性工作区和饱和工作区渡越时间对栅偏压依赖关系的不同,并作了物理解释,模型 表明由速度过冲带来渡越时间的缩短对沟道长度大于0.25μm的MOSFET不超过10%。 相似文献
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用HF掺杂薄氧化物层的MOSFET和MOS电容具有优良的电学特性。在本文所研究的有效场范围内,这种器件的有效表面迁移率为一般器件的1.7-2.4倍,这表明用HF增强氧化能得到速度更快的MOS器件。 相似文献
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本文给出了用于高速逻辑电路的两次硼离子注入 n 沟增强型 MOS EFT 器件的阈值电压和电流一电压特性。衬底采用 P 型(100)15Ω cm 的高阻材料,以降低结电容和阈值衬底敏感度。用浅的硼注入来提高阈值电压,之后,再进行一次较深的离子注入,以提高源—漏之间的穿通电压。这种方案特别有利于制作短沟道器件。我们对两次离子注入的器件进行了一维分析,以估测离子注入的剂量和能量对器件阈值电压的影响,同时我们还根据器件的几何尺寸进行了准二维分析,来了解器件的短沟道效应。为了得出电流一电压特性,一维分析用于线性区,而以泊松方程解为基础的准二维分析用于夹断区,以估测空间电荷限制电流。计算结果与实验室试制器件的特性非常符合。 相似文献