国产镀膜机实现多层膜自动化晶振控制

介绍了改造国产镀膜机的继电器控制线路的方法，从而实现其与INFICONIC／5晶振薄膜沉积监视器之间接口电路的转接。生产试验表明，采用此法改造后的装置可实现对多层光学薄膜的高精度、快速自动化监控。     

可编程序控制器改造镀膜机继电控制线路

介绍了用可编程序控制器改造进口老式卷绕镀膜机继电器控制线路的方法,着重简述了ＰＣ的选型及系统配置方法。所用方法同样适用于国产镀膜设备。     

新型等离子体束溅射镀膜机

本文介绍了新型的等离子体束溅射镀膜机的系统组成、特点、试验结果等内容.该镀膜机将等离子体发生和控制技术应用于溅射镀膜中,克服了磁控溅射的靶材利用率低及难以沉积铁磁性材料的缺点.使用该镀膜机成功地进行了溅射镀膜的试验,试验结果得到了刻蚀均匀性较高的靶材,其靶偏压与靶电流的关系与国外结果相吻合.     

化学气相沉积镀膜机控制研究

以RF-500型镀膜机为例介绍了化学气相沉积（CVD）镀膜机的结构以及工作原理;为克服RF-500型CVD镀膜机传统的电气控制缺点,开发了一套基于工业控制计算机的控制系统。描述了该镀膜机控制系统的硬件结构和软件功能。对基片温度、气体流量及开关量的控制效果进行了大量的实验研究。结果表明：基片温度控制精度达到±1℃、工作（反应）气体的流量控制精度达到10mL/min,可以进行精确的开关量控制。应用表明：该控制系统可以实时监控RF-500型CVD镀膜机的运行。     

基于实例推理的镀膜机快速设计研究

目的研究大规模定制模式下镀膜机的快速设计方法。方法阐述了基于实例推理技术的基本原理和关键技术,将基于实例推理的快速设计技术应用到镀膜机的设计过程中;研究了镀膜机的实例表示、检索和修正的具体实现方法,即采用数据库表的实例表示方法构建了镀膜机的实例库,运用最相邻策略法进行镀膜机实例的检索,采用基于框架的方案变换方法对检索的最相似实例进行修正。结果以Pro Engineer 5.0为开发平台,开发了基于实例推理的镀膜机快速设计系统,实现了资源的整合和重复利用。通过测试,该系统使设计效率提高了30%。结论将基于实例推理的快速设计技术引入到镀膜机的设计中,能够提高产品的设计效率和缩短产品的开发周期,从而解决客户个性化需求与大批量生产之间的矛盾,提高企业的市场竞争力。     

基于模块化设计思想的镀膜机快速设计研究

以大规模定制思想为背景,提出了一种镀膜机快速设计方法,阐述了镀膜机模块化设计的方法,研究了镀膜机的模块划分方法、知识工程的应用、实例的推理技术,通过镀膜机的设计流程分析,说明了模块化设计形成的特点。证明了运用模块化设计思想能很好地解决客户的个性化定制需求与产品开发周期较长的矛盾。     

TX1800磁控溅射镀膜机冷却系统的改进

本文以北京天瑞星公司生产的大型TX 1800商用磁控溅射镀膜机为例,简要分析了此磁控溅射镀膜机中靶的结构及配套冷却系统,引入航空航天领域应用较多的层板发汗冷却在此基础上,提出了一种全新的思路,对冷却系统进行了重新设计.     

双室旋转磁控溅射镀膜机的研制

本文叙述了双室旋转磁控溅射镀膜机的结构、工作原理和主要性能，并对磁场强度、充气压强、放电电压、电流等工作参数以及沉积速率的影响进行了一系列实验，从而选择了该机的最佳运动参数．     

基于基因工程的镀膜机快速设计研究

目的研究大批量定制模式下镀膜机快速设计的方法。方法提出基于基因工程理论的关键技术,并将这些技术应用到镀膜机的快速设计当中。研究镀膜机产品基因的提取、扩增、重组和表达的实现方法,即根据分解重构理论,从实体结构和功能结构开始模块划分,提取镀膜机的全部基因信息,采用数据库表的储存和检索构建基因文库对产品基因进行管理,运用事物特性表实现基因扩增,采用配置设计方法对目的基因和载体基因进行重组,运用基于功能表面理论方案对携带有遗传信息的重组基因表达在模型结构上。结果在Solid Wroks2012开发平台下,开发了基于基因工程的镀膜机快速设计平台,实现了结构设计、工艺设计和产品数据管理的一体化。通过测试,设计效率提高了31%。结论将基于基因工程的镀膜机快速设计平台引入到企业当中,可以降低设计人员的劳动强度及缩短开发周期,缓解了大批量设计与个性化定制之间的矛盾,从而提高了企业的实际效益和市场竞争力。     

镀膜机的微机控制

设计了磁控溅射-多弧镀膜机的微机控制系统．采用PLC可编程控制器与上位机进行数据传递和控制设备的控制方式。本微机控制系统中的真空镀膜机，设计了3套孪生磁控、10套多弧和8级工艺的过程控制，具有自动组合工艺和自控程序升级功能，从而实现多种工艺的镀膜要求。     

真空蒸发镀膜设备性能的改进

为提高镀膜设备的效率及可靠性,以适就应技术发展需要,对真空镀膜设备的设计制造(重点是箱式前开门型设备)方面,对镀膜审的布局,基片装载量及真空系统的配置和电气控制等方面进行了适当的改进,提高挡次.并尽可能留有增加可选配功能部件的装配位置,如光学膜厚测量控制装置和石英晶体膜厚测量控制仪,低能宽束离子源,氩离子射频轰击装置等改进膜层质量,扩大功能适应各种使用要求.     

可编程序控制器在卷绕式镀膜机中的应用

本文介绍了高真空卷绕式镀膜机真空系统、卷绕系统、蒸镀系统等各部分的构成、控制要求及工艺流程,同时介绍了欧姆龙CJ系列可编程序控制器（PLC）的特点,并对由该系列PLC组成的镀膜机自动控制系统及主要功能进行了说明。通过可编程终端（肼）承担监控和管理任务,通过PLC实现实时数据的采集和自动控制功能。对软件的设计也进行了简单阐述。     

浅析离子辅助光学薄膜镀膜机的特性

真空镀膜产品的质量问题，一直是应用镀膜技术人员探索的课题。人们经过长期探索，采用离子束辅助沉积镀膜技术，改善了镀膜层牢固性，提高了反射率。本技术在通讯技术、太阳能应用、汽车、装潢等领域应用十分广泛。本文介绍了真空离子束辅助沉积镀膜设备特性。     

卷绕式镀膜机张力控制的改进及Matlab仿真

卷绕式镀膜机传动系统有交流电机驱动方式和直流电机驱动方式两种,直流电动机由于转矩特性好、调速容易,在卷绕式镀膜机卷绕系统中应用广泛.在卷材张力值较小运行时,传动系统出现运行不稳定的现象.本文对引起不稳定的因素进行了分析,此原因为直流电动机电枢电流不连续.用Matlab对分析的结果进行了仿真.运行结果表明,串入续流电抗器后,卷绕系统运行稳定.