用于气体流量控制的压电陶瓷阀的温度特性

采用PEV-1型压电陶瓷阀作为溅射气体Ar流量输出的驱动元件,用于真空磁控溅射镀膜中溅射气体恒压力控制.应用过程中发现压电陶瓷阀本身的迟滞特性和温度特性对气体输出流量有较大影响.试验分析得到压电陶瓷阀偏振电压变化过程中,气体输出流量的迟滞曲线.当压电陶瓷阀环境温度升高时,该迟滞特性会减弱,气体输出流量随偏振电压变化速率变大.     

压电陶瓷阀在真空磁控反应溅射中的特性

在制备不锈钢-氮化铝(SS-AlN)金属陶瓷集热管的真空磁控溅射镀膜线上,采用PCV25型压电陶瓷阀作为反应气体氮气N2流量输出的驱动元件,实现反应溅射AlN反馈控制.研究了不同环境温度下压电阀偏置电压Vo对N2输出流量Q的影响.实验研究表明,在Vo先增加再减少的过程中,Q相应变化呈现迟滞特性.同时,该迟滞特性受压电阀工作的环境温度影响,环境温度越低迟滞特性越明显.例如与40℃相比,当环境温度为25℃时,压电阀的阈值电压小,饱和电压大,有效工作范围宽,且在压电阀有效工作范围内,N2输出流量Q随偏置电压Vo变化速率小.结合压电陶瓷阀的特性,优化设置反应溅射反馈控制参数,在高于30 kW的溅射功率下,实现反应溅射AlN工艺稳定,制备厚度约为70nm的AlN薄膜在可见光和太阳光范围内吸收几乎为零.     

RZF型家用管道燃气停气自动关闭阀测试

RZF型家用管道燃气自动关闭阀（简称自动阀）是用于保障液化石油气、煤气和天然气等家用管道燃气类安全性的新型专利专用阀。自动阀是由拉杆、阀盖、橡皮碗、密封圈、衔铁片、环形磁铁等组成。燃气由进气口进入阀腔内,因磁力作用,出气口处于常闭状态,手动提取阀门开启拉杆,阀的出气口被打开,燃气经阀腔由出气口流火燃具燃烧c此时,气体压力大于磁力,阀门处于常开状态,自动阀正常工作。当气源停气,管道内及阀腔内气体压力下降至小于自动阀临界工作压力,阀门自动关闭。气源两次供气时,必须重新提取拉杆（打开阀门）,自动阀才能恢…     

气体快速注入实验

本文描述通过快速电磁阀门将气体注入到真空系统的实验。计算分析了气体进入系统时的流动状态。测定了B-A裸规和压电晶体阀门的响应特性。使用一简单供电电路,其脉宽为320微秒,就能使压电晶体阀门完成一次注气动作。     

有压管道水击波动过程及优化控制的解析研究

为了实现阀调节对有压管道水击过程的精确控制,获得水击波动过程的解析解很有意义。该文在详细分析水击基本微分方程组及初边值条件的基础上,将波动方程在有限区间内的行波解应用于线性水击波动问题中。通过给定阀门处速度变化规律,引入曲线积分与路径无关条件,得到了阀门关闭过程中管道内无因次水击压强的精确解析解。应用Ritz法求解泛函极值,得到了使管道阀门处峰值压强为最小值时所对应的速度变化及相应的关阀规律。以此构建程序控制,就可最大限度地削减水击压强,以求通过阀门来实施对水击过程的主动控制。     

一种压强稳定的多级真空差分系统

上海光源软X射线自由电子激光器光束线主要用于X射线的传输与诊断,为了减少光子吸收,其传输环境须为无窗洁净的超高真空系统。气体通量衰减器和气体探测器是光束线诊断区域的关键设备,二者均需要充入一定量的气体,且工作精度依赖于气体压强的稳定度。文中介绍了一种具有压强反馈调节功能的多级真空差分系统直接过渡至其他超高真空设备,可在2.5 m内实现7个量级以上的差分比。     

微悬臂梁动态特性表征用真空系统的仿真研究

本文研究了用于表征微悬臂梁动态特性的高真空系统,研究了用于夹持微悬臂器件的样品台和用于调节真空室内压力的精密可调漏气阀.该阀在不同压力区间下采取机械机构和压电陶瓷驱动器改变阀门开度,具有精度高、适用范围广等优点,利于实验研究和工程测试.模拟分析结果表明该阀能精确调节10-6Pa～103 Pa内压力.系统设置了减振支架和底座,用波纹管连接真空室和抽气系统,对系统振动信号的模拟计算表明所用减振支架和底座能够减小杂质振动信号对微悬臂梁动态特性测定的干扰.采用一般商用漏气阀控压,对微悬臂梁品质因数的测定实验结果表明了表征系统及精密阀的实用前景.     

波导阀门放气理论计算和改进措施

本文介绍了波导阀门放气量和波导阀附近真空系统的真空度的关系.波导阀门放气量对速调管陶瓷窗附近的真空度有极大的影响.在计算和实验研究的基础上,我们对波导阀门的放气量进行了理论计算,按照BEPCII对速调管陶瓷窗真空度的要求改进了真空系统.     

两种压电驱动自吸微泵的研制与性能比较

微泵是微全分析系统中的重要单元．为解决微泵加工工艺复杂、自吸困难和可靠性低等问题,研制了两种应用于微流控系统中的压电驱动微泵．一种是将聚二甲基硅氧烷（PDMS）泵膜、单主动阀片和弹性缓冲单元集于一体的微泵,另一种是主动阀片与被动阀相结合的微泵,这两种微泵都适用于气体和液体工作物质,实现自吸,具有结构简单、易于加工及操作方便的特点．讨论了微泵的工作原理、工艺流程、工作性能及结构参数对微泵工作性能的影响,解决了加工工艺复杂、自吸困难和可靠性低等问题．在电压100V（35 Hz条件下）和零背压的工作条件下,单主动阀微泵的最大液体泵速为5000μL／min,最大背压为5 kPa;主动阀与被动阀相结合微泵的最大液体泵速5410μL／min,最大背压15kPa．后者背压与流速明显比前者的性能要好很多,尤其是背压方面．     

第九讲：真空系统组成元件

（６）翻板阀（上接１９９９年第４期４４页）图９　气动高真空翻板阀图９、１０、１１是三种不同结构的真空翻板阀。它们都是用压缩空气为动力源。在阀门打开或关闭的过程中，阀板的运动有一个翻转过程，能翻转一个角度。在图１０的结构中，靠滚轮将阀盖挡翻，在这种结构的阀门中，阀盖不能翻转９０°。图９的结构，阀盖的翻转靠四连杆机构实现，阀盖能实现９０°翻转。图１１的翻板阀是蚌线机构。这种阀门结构简单，总高度低，阀板能翻转９０°，是我国１９７１年首创的。在翻板阀中，阀板翻转９０°时，流导较大。（７）电磁阀真空阀门的…     

大口径节流阀在京研制成功

由北京有色金属研究总院自行设计和研制的 ,J- 80 0型节流阀在京研制成功。J- 80 0型节流阀是北京机械工业自动化研究所 ,国家“九五”攻关项目 ( 96- A2 2 - 0 4 - 0 2 ) ,专用设备的配套产品。现已投入使用。该阀门安装在真空室与主阀 ( GFQ- S80 0型气动翻板高真空阀 )之间通道上。与K- 80 0 TD型高真空油扩散泵组合使用。该阀门 ,公称通径 80 0 mm,采用百叶窗式结构。阀门主要由阀体、阀杆、阀片、手柄、刻度盘等零件构成。驱动方式为手动。阀体、阀杆材料为 4 5号钢 ,阀片材料为 1 Cr1 8Ni9Ti。该阀门特点 :结构简单 ,使用方便 …     

创新低温阀门上市

<正>英国气体和液体压力控制设备供应商Boiswood推出了一系列来自STOHRARMATUREN(Stoehr)的新型低温阀。这些已获专利、用于真空隔热管道的FREES阀门,其中一个主要优点是它们可以被安排在任何位置,从而得以减少所需的管道长度。例如,将阀门安装在水平位置就可     

PV-10型真空压电阀门性能测定实验

压电晶体阀是真空充气系统中一种微流量充气阀门。它具有流量小、开启快、可以远程控制等优点．但压电阀门的进气量难以用函数的方式准确描述．而且随着使用时间的增长往往有改变。本文介绍了一种PV—l0型阀门的性能测定方法和结果，为HT-7托卡马克聚变装置中性束注入器系统离子源和中性化室充气量确定提供了参考数据。     

真空阀门的改进

真空处理是电力电容器制造的关键工艺，在实际生产中常因真空阀门故障而受到影响，轻则延长处理时间，重则影响产品质量．本文介绍对在生产中大量使用的一种真空 阀进行改进的新结构．     

减振器节流阀片对阀门水击力的影响研究

针对车用减振器受地面瞬态冲击阀门容易失效的特点,提出了研究阻尼阀水击压强的重要性.建立了带有环形节流阀片的阻尼阀物理模型.通过有限元软件对节流阀片受瞬态冲击的变形时间进行了研究,得出了节流阀片受冲击的最大变形时间只与结构参数和材料特性相关,并随阀片厚度增加而减小的结论.与水击理论相结合,推导了阻尼阀水击的初始和边界条件,创建了阻尼阀水击数学模型.运用节流阀片等效厚度法则,编程分析了叠加节流阀片对水击力的影响规律,得出了在等效厚度相同的情况下,随着叠加阀片物理厚度的增加水击压强增大的结论,可以作为阻尼阀的设计参考.     

新型高灵敏度压电陶瓷多层膜结构加速度传感器

采用压电陶瓷粉体厚膜流延成型工艺和陶瓷内电极共烧技术制成了一种圆环状多层膜结构的压电陶瓷片,用它代替以往圆环状单片压电陶瓷片后,其压电加速度的灵敏度大幅度提高。本文对该加速度的性能进行了研究。这种体积小、重量轻、灵敏度高的新型加速度计可望在高新技术领域中获得应用。     

PEV压电晶体阀流量率标定试验

本文介绍了在核聚变装置中广泛应用的压电晶体阀的工作原理,并通过搭建试验平台模拟我国第一个全超导托卡马克核聚变装置EAST试验时的真空环境,来准确计算试验条件下的压电晶体阀的气体流量率,从而为核聚变试验及等离子体的仿真计算提供可靠的试验数据.     

超高真空

真空科学及工艺学的最新发展,促进了星际空间环境的模拟、表面物理化学的研究、以及在高能核物理与热核熔合方面的实验。这些发展使研究工作老获得了极高真空也就是极低压强。为什么呢?在回答这些问题并论述超高真空技术以前,让我们考虑一下真空的一般特性。 “真空”这一名词指在任何一容器中充满压强低于大气压的气体状态而言。因此,压力亦就正确的说明了真空的特性。大气压强就是当0℃时在980.665厘米秒-2的标准重力加速度下760毫米高水银柱所产生的压强。在真空研究中所使用的是普通的压强单位是毫米汞柱或乇;在某些研究中也使用毫巴。…     

加强日常管理延长真空排气系统的寿命

构成真空排气系统的部件主要是真空系、真空阀门、冷阱、真空计等。现暂且不谈它们的基本技术,而仅就排气系统的使用做一些说明。 真空泵的种类和日常管理 表1是现在广泛使用的真空泵的种类及其工作原理。表中记载了常用压强范围、日常在运转初期和运转中应该注意的地方、以及处于停止状态时所应有的压强状况。 真空排气系统和使用上需注意的地方 表2是具有代表性的真空装置和使用压强范围以及最近配用的真空排气系统。 即使是同样名称的装置,如果所使用的压强范围不同,那么其排气系统的组成也将发生变化,但是在此只表示出比较大型装置的排…     

环境温度对服役中真空玻璃真空度的影响

真空玻璃的总热流可以综合辐射传热、支撑物传热以及残余气体传热等来估算。其中残余气体传热是与真空度紧密相关的。在真空玻璃制备的过程中,残余气体溶入或吸附于真空玻璃内表面。当真空玻璃所处环境温度升高时,气体分子剧烈运动,真空玻璃的内部压强也随之增大(即真空度降低)。而真空玻璃的热传导与其内部压强成正比,故真空玻璃所处环境温度升高,真空玻璃的热传导也增强,使得其隔热保温性能变差。本文根据悉尼大学实验室的数据拟合函数,以此预测高温环境下真空玻璃的内部压强值。